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太阳电池硅锭生产技术


维普资讯 http://www.cqvip.com 曩I ■■圈.州日嘲   蚵 l I =   i薹    聪   专题文章之 四   太 阳 电池 硅 锭 生产 技 术  中国光 电技术发展 中心 摘  要 关键 词 吴建荣 杨佳 荣  昌金铭  本文简要介绍了 目前世界上几种主要的太阳电池单 / 多晶硅锭生产技术, 并分析 了它们的优缺点。   太阳电池

单晶硅 多晶硅 硅锭生产  0 引言  熔化 , 待温 度 合 适后 , 过 将 籽 晶浸 入 、 接 、 经 熔 引晶 、 肩 、 肩  放 转 目前世界 太阳电池产业高速发展 ,在所有安装的太阳电  等径 、 收尾等步骤 , 完成一根单晶硅锭的拉制。炉内的传热、  f 池中, 超过 9 %以上的是 晶体 硅太阳电池 , 0 因此位于产业链前  质 、 流体力学、 化学反应等过程都直接影0 f  ̄ 单晶的生长 及  1J 端的硅锭 / 片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。 长成 的单晶的质量 ,拉 晶过程 中可直接控制的参数有温度场    太 阳 电池 硅 锭 主 要 有 单 晶硅 锭 和 多晶 硅 锭 ,这 两 种硅 锭 各 有  籽 晶 的 晶 向、 埚 和 生 长 成 的 单 晶 的旋 转 及 提 升 速 率 , r l 坩 炉 ai   优缺点 , 晶硅 做成 的电池效率 高 , 单 但硅 锭生产效率 低 , 能耗  护气体的种类、 流向、 流速 、 力等。 压   大 ; 晶硅 电池效 率 比单 晶 硅低 一 些 , 硅 锭 生产 效 率 高 , 规  1 多 但 在   区熔 法 ( Z法 ) 2 F   模化生产上较 有优势。 目前国际上 以多晶硅硅锭生产为主 , 而  C Z法是将硅料全部熔化后 , 由一点开始结晶 , 通常这样 自   部份进行熔化  国内由于人工成本低 , 国产单 晶炉价格低 , 因此国内单晶硅硅  提纯只能进行一次。区域熔化则是对锭条的 锭 的产 能 比 多 晶硅 大 得 多。   熔 化 的部 分 称 为熔 区 , 当熔 区 从 头 到 尾 移 动 一 次 后 , 杂质 随  1 太阳电池单 晶硅锭生产技术    11 切 克 劳 斯 基 法 ( Z法 ) . C   区移到尾部。利用这种 方法可以进行 多次提纯 , 一次一次移i   熔 区 以达 到 最 好 的 提 纯 效 果 , 由于 液 固相 转 变 温 度 高 , 但 能  C Z法是利用旋转着的籽晶从坩埚 中的熔体中提拉制备出  大, 多次区熔提纯成本高。 区熔法有水平区熔和悬浮区熔 ,   前i 单晶的方法, 又称直拉法。 目前 国内太阳电池单晶硅硅片生产  主要用于锗提纯及生长锗单晶 ,硅单 晶的生长 则主 妻采用  厂 家大 多 采用 这 种 技 术 。   浮 区熔 法 , 生长 过 程 中不 使 用 坩 埚 , 区 悬 浮于 多 晶硅 棒 和 一 熔   其 基 本 原 理 如 图 1所 示 。 多 晶硅 硅 料 置于 坩 埚 中经 加热   方生 长 出 的单 晶之 间 , 图 2 见 。由于 悬 浮 区熔 时 , 区呈 悬浮  熔 籽晶 轴转动   '  L _u   I9 Fan ZnP c s ltg oere   oi—  o s 《;  》  -    』 一  日 厂   厂 鲁  咖 ,   l   l a Jf   i n _ l co1 c on   _   jⅡ 一   i l     将晶  

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