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电沉积技术在制备纳米薄膜方面的应用


?  6 ? 6  材料 导报  21 0 2年 5月第 2 卷 专辑 1  6 9 电沉 积 技 术在 制备 纳 米 薄 膜 方面 的应 用  郭燕妮  黄  丽  季常青  叶 志勇 林 志坚。 , , ,  ,   ( 厦 门紫金矿冶技术 有限公司 , 1 厦门 3 1 0 ; 厦 门出入境检验检 疫局 , 门 3 1 2 ; 珲 春紫金矿业有限公 司, 6 1 1

2 厦 6063 珲春 13 0 ) 3 3 0  摘 要  综述 了电沉积技 术制备 纳米薄膜 的研 究, 介绍 了 电沉积技 术制备 纳米 膜的基 本工 艺, 论 了电沉积技  讨 术制备 纳米薄膜的原理 、 分类 、 用情 况 , 应 阐述 了目前存在的 问题 , 并对今后 采用 电沉积技 术制备 纳 米薄膜 的研 究方  向提 出 了一 些 建 议 。   关键 词  电沉积 制备 纳米薄膜  中图分类号 : TQ1 3 1 T 5 .  5 . ; Q1 3 2 文献标识码 :  A App i a i n 0   e t 0 e s t0   c no o y o   e a i   no e e   l   lc to   f El c r d p0 ii n Te h l g   n Pr p r ng Na m t r Fim G UO Ya n    n i,HUANG L  J  h n qn   YE Z io g ,L N Z ia 。   i,  C a g ig ,   hy n   I   hj n I     i (  X a n Zj   nn & Mea u g   e h oo yC .L d X a n3 1 0 ;  Xi n E tye i I s e t n a d 1 i me   in Miig i tl r yT c n lg   o t , i l me   6 1 1 2 a   n r -xt n p c i   n   me   o Qu rn ieB ra , a n 3 1 2 ;3 Hu c u   in M iig CO.,L d,Hu c u   3 3 0  a a t   u e u Xime   6 0 6   n n h n Zj   nn   i t nh n13 0 ) Ab t a t sr c  Th   r cp e l s iia i n a d a p ia i n o   1c r d p st n t c n lg   n p e a i g n n me e   e p i i l ,c a sfc t   n   p l t   f e e t o e o i   e h o o y o   r p r   a o t r n o c o o n f m  r  i l n r d c d a d t e e it g p o lms a e d s rb d Th   a i  r p r to   t o so   l c r d p s t n i a e man y i to u e   n   h   x s i   r b e   r   e c i e . l n e b s cp e a a in me h d   fee t0 e o i   o t c o o o y a e as   is u e   n   h   e e r h d r c i n   fee to e o i n t c n l g   n p e a ig n n

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