当前位置:首页 >> 机械/仪表 >>

2.扩散原理与设备结构


扩散的原理及设备

2

? ? ? ?

PN结的构造 POCl3 简介 POCl3磷扩散原理 扩散炉的设备结构

3

PN结 PN结——太阳电池的心脏 太阳电池的心脏
? 扩散的目的:形成PN结

4

POCl3 简介


POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质 源。 ? 无色透明液体,具有刺激性气味。如果 纯度不高则呈红黄色。 ? 比重为1.67,熔点2℃,沸点107℃,在 潮湿空气中发烟。 ? POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发。

5

POCl3磷扩散原理
? POCl3在高温下(>600℃)分解生成五 氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5), 其反应式如下:

5POCl

3

? ? ? → 3PCl

> 600 ° C

5

+PO
2

5

6

? 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应,生成 二氧化硅(SiO2)和磷原子,其反应式如 下:

2P2O5 + 5Si = 5SiO2 + 4P ↓

7

? 由上面反应式可以看出,POCl3热分解时, 如果没有外来的氧(O2)参与其分解是 不充分的,生成的PCl5是不易分解的,并 且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状 态。但在有外来O2存在的情况下,PCl5 会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2) P Cl 其反应式如下:

4PCl + 5O ???→2P O +10Cl ↑ ?
5 2 2 5 2

过量O 2

8

生成的P2O5又进一步与硅作用,生成SiO2和 磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促 使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面 的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一 定流量的氧气 。

9

设备的结构
控制 区

推舟净 化区

电阻 加热 区

气源 区

10

电源开关 :

11

冷却水系统:
压力计 进水管 出水管

12

扩散炉炉口:

13

恒温箱控制器:

恒温箱操作 界面

14

过滤 瓶 冷却 瓶

15

氮气阀

氧 气 阀

16

源 瓶

恒 温 箱

17


相关文章:
扩散泵的结构示意图和工作原理
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏, 现将...喷射泵的结构特点及工作... 7页 免费喜欢此文档的还喜欢 扩散泵的原理 2页 ...
热质交换设备的分类a按工作原理
低压分类及工作原理 10页 免费 第五章 热质交换设备2 73页 5财富值 第五章...主体流动通量 传质过程相当于此薄膜上的扩散作 影响 4 设备结构特性, 层。c...
真空系统组成及各种真空泵的工作原理_图文
抽气设备:例如各种真空泵; 2.真空阀门; 3.连接管道; 4.真空测量装置:例如...结构和工作原理扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器...
KTY84温度传感器芯片结构基于扩散电阻原理
KTY84温度传感器芯片结构基于扩散电阻原理_计算机硬件及网络_IT/计算机_专业资料。...1.9 适用于各种介质工业管道和狭小空间设备测温 2:应用范围 2.1 热水器温度...
原理与设备
原理与设备_医药卫生_专业资料。制药工程与原理设备 ...(2)超临界流体扩散系数界于气体与液体之间,粘度接近...可采用助滤剂改变滤饼结构,以提高滤饼的刚性和 空隙...
生产实习报告
2 西安邮电学院实习报告 图 2 对硅片进行烘干处理 2、第二天: (1) 、光刻...4、扩散:掌握了扩散的基本原理,掌握了高温扩散炉的基本原理和设备结构,通过对 ...
制氢系统工作原理及主设备电解槽的结构和检修工序工艺
制氢系统工作原理及主设备电解槽的结构和检修工序工艺_能源/化工_工程科技_专业资料...导热系数最高,化学活性、渗透和扩散性强(扩散系数为0.63cm2/s,约为甲烷的...
热质交换原理与设备复习重点
热质交换设备的用途主要就是能量传递。 2、传热及传质基本方式?P10 答:传热的...混合室和扩散管等部件组成,它的工作原理是靠高压工作流体经喷嘴后产 生的高速...
真空系统组成及各种真空泵的工作原理
抽气设备:例如各种真空泵; 2.真空阀门; 3.连接管道; 4.真空测量装置:例如...结构和工作原理扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器...
热质交换原理与设备习题
2. 热质交换设备基本分类,相应的特点怎样? 3. 分别列举一种间壁式混合式热质交换设备,简述其热质交换原理? 4. 简述斐克定律(组分 A 在 B 中扩散)及...
更多相关标签:
电子设备结构设计原理 | 钢结构设计原理习题2 | 扩散原理 | 油扩散泵的工作原理 | 扩散泵工作原理 | 扩散硅压力传感器原理 | 各向异性扩散滤波原理 | 扩散泵原理 |