当前位置:首页 >> 机械/仪表 >>

扩散工艺培训-初次


扩散工艺培训

1、扩散的目的

1.1.在硅片表面产生具体掺杂原子的数量(浓度) 1.2.在硅片表面下的特定位置处形成PN结 1.3.在硅片表面层形成特定的掺杂原子(浓度)分布

2

2.PN结的制造

PN结是太阳能电池的心脏。需要强调指出,PN结是不能简单 地用两块不同类型(p型和n型)的半导体接触在一起就能形成 的。要制造一个PN结,必须使一块完整的半导体晶体的一部 分是P型区域,另一部分是N型区域。也就是在晶体内部实现P 型和N型半导体的接触。

3.太阳电池磷扩散方法
3.1.三氯氧磷(POCl3)液态源扩散

3.2.喷涂磷酸水溶液后链式扩散
3.3.丝网印刷磷浆料后链式扩散

本公司目前采用的是第一种方法。

POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高,得到PN结均匀、平整 和扩散层表面良好等优点,这对于制作具有大面积结的太阳能 电池是非常重要的。
潮湿空气中发烟,有毒性。

POCl3无色透明液体,具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色,在

4. 扩散原理

POCl3在高温下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5 ),其反应式如下: 5POCl3 = 3PCl5 + P2O5 有O2存在的情况下,PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2)其反应式如 下: 4PCl5 + 5O2 = 2P2O5 + 10Cl2 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应,生成二氧化硅(SiO2)和磷原子,其反应 式如下:

2P2O5 + 5Si = 5SiO2 + 4P

5. 扩散装置示意图

扩散炉管

1. 2. 3.

大量的杂质气体进入密闭空间(扩散炉) 杂质气体在扩散炉内扩散(气相扩散) 因为进入的杂质气体为N型杂质原子,硅材料内部为P型杂质原子,因为浓度的关系,发 生扩散过程

4.
5. 6.

因为扩散到晶圆内部的N型杂质原子数量高于第一层中P型原子数量,形成N型导电层
发生从第一层向第二层的扩散 同样,第二层中的N型杂质的数量高于P型,使第二层转变为N型

7.

向深处继续扩散

扩散工艺步骤
操作步骤 进炉 恒温 磷扩散 恒温推进 出炉 冷却

运行时间(min)

气体

N2 /O2

N2/ O2

N2 /O2/小N2

N2/ O2

N2/O2

N2/ O2

流量 slm

三、方块电阻的测量

在太阳电池扩散工艺中,扩散层薄层电阻(方块电阻)是反映扩散层质量是否符合设计要 求的重要工艺指标之一。

考虑一块长为l、宽为a、厚为t的薄层如右图。如果该薄层材料的电阻率为ρ,则该整个薄 层的电阻为

R??

l ? l ? ( )( ) t ?a t a

I

V
S 1
?当l=a(即为一个方块)时,R= ρ/t。可见, (ρ/t)代表一个方块的电阻,故称为方块电 阻,特记为R□= ρ/t (Ω/□)

S 2 3

S 4

t

四、扩散工艺控制点

1、方块电阻:大小

不均匀度

2、少子寿命:扩散后少子寿命

五、影响扩散工艺控制点的因素
管内气体中杂质源的浓度与分布

扩散温度

扩散时间


相关文章:
扩散培训资料
扩散培训资料_电子/电路_工程科技_专业资料。CT 扩散工艺培训一、 工艺介绍: 1.1 扩散炉气流平面图 图一为 CT 扩散炉简易平面图 图二为通过扩散炉气体流动方向...
扩散工艺
工艺-扩散 28页 免费 扩散工艺介绍 75页 1下载券 扩散工艺培训 8页 1下载券...扩散工艺扩散技术目的在于控制半导体中特定区域内杂质的类型、浓度、深度和 PN 结...
扩散培训测试
扩散工艺培训测试 1. 简述扩散工艺段要有哪些准备工作: 1、穿好净化服,戴帽子,换好净化鞋; 2、对水、电、气、源等条件检查,满足要求方可进行生产; 3、通过...
扩散培训教材
扩散炉培训 53页 免费 PECVD详尽资料整理 23页 免费 德国centrotherm CMI 中文... 94页 2财富值 扩散工艺介绍 21页 免费如要投诉违规内容,请到百度文库投诉中心...
扩散工艺文件
扩散工艺介绍 75页 2财富值 扩散工艺培训 8页 2财富值喜欢此文档的还喜欢 ...6.5.2 手动装舟 使用手动操作将悬桨从炉管退出(第一次使用) ,戴好隔热...
太阳能扩散培训
CSMCHJ 扩散工艺培训 ---主 --- 主要设备、热氧化、扩散、合金 扩散部 2002 年 7 月 Thermal process training EDIT BY YUML 前言: 前言: 扩散部按车间...
晶体硅扩散工艺研究
晶体硅扩散工艺研究_能源/化工_工程科技_专业资料。晶体硅扩散工艺研究摘要:本文主要介绍利用 POCl3 液态源法对单晶体硅片进行扩散,扩散后测 其方块电阻以及结深。...
工艺部培训焦炉的测量
扩散工艺培训 14页 2财富值 制造部新员工工艺培训 3页 免费 5.5米焦炉工艺 10页 10财富值 焦炉柱工艺 9页 免费 焦炉结焦工艺 7页 2财富值喜欢此文档的还...
扩散设备工艺处理规范(学习)
图说历史 清末民初的社会 慈禧太后的保养秘方 晚清...5.2 扩散返工工艺规定 5.2.1 此返工工艺仅限...必须经过实验,对员工进行培训,具有确定的工艺表格。 ...
扩散工艺知识
第三章 扩散工艺 在前面“材料工艺”一章,我们就曾经讲过一种叫“三重扩散”...通常采用的方法是每天第一次扩散前将石 英舟和石英管在源蒸气中饱和一定的时间...
更多相关标签: