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CTLA陶瓷微波介电性能及烧结特性研究


第3 卷第2 4 期  2 1年 O 月 02 4   压 电 与 声 光  Vo1 4 N o   .3   .2 A p . 2O1   r 2 P EZ(ELEC I ) TRI CS & AC( US ) T00P CS TI   文 章 编 号 : 0 42 7 ( 0 2 0 — 2 80   1 0 — 4 4 2 1 ) 20 8   5 C L 陶 瓷 微 波 介 电 性 能 及 烧 结 特 性 研 究  T A 方 有 维 ,   林  庄 文 东 , 刘 , 唐  斌 , 树 人  张 ( .电 子科 技 大 学 电子 薄 膜 与集 成 器 件 国家 重 点 实 验 室 , 1 四川 成 都 6 0 5 ;.成 都 泰 格 微 波技 术股 份 有 限公 司 , 川 成 都 6 1 3 ) 1042 四 1 7 1  摘 要 : 用 固相 反 应 法 制 备 了 0 6 C T O 一. 5 a 0 ( T   陶 瓷 , 究 了 C I 陶 瓷 的 物 相 组 成 、 结  采 .5 a i 。0 3 L A1。 C I A) 研 T  A 烧 特 性 及 微 波 介 电 特 性 。结 果 表 明 , T A 陶 瓷 只 含 有 c 。 I   A1 Ti O C L a r   a   。 。主 晶 相 , 存 在 第 二 相 。 烧 结 温 度    不 在 13 o 14 0℃ 问 , 瓷 的 微 波 介 电 性 能 最 佳 , 电 常 数 £一 4 . , 率 温 度 系数 r ≈ 0 品质 因 数 与 频 率 之 积   8~  5 陶 介 r 4 5频 , , Q×厂 4 4  ≈ 39 8GHz 当 w( z ) 0 时 能 使 陶 瓷致 密 化 烧 结 温 度 降 到 13 0℃ , 微 波 性 能 变 差  一 3 . , 。 NbOs 一1   0 但 8 3  r 一 2 8× 1   / ,Q× , 一 1  6   f一 . 0 ℃ 3 2 0GHz  。 关 键 词 : 波 介 质 陶瓷 ; a. L   A1。T。 O。介 电 常数 ; 微 C 。s a s 。  i   ; 品质 因数 ; 率 温 度 系 数  频 中 图分 类号 : M  3   T 54 文献 标 识 码 :   A S u y o   he M i r wa e Di l c r c a   n e i   o e te   fCTLA  r m i s t d   n t   c o v   e e t i  nd Si t r ng Pr p r i s o   Ce a c   FAN G  uwe , U  n ZHU ANG  e o g TANG  n ZH ANG  hu e Yo i LI Li  , W nd n 2, Bi  , S r n  ( .St t   y La . o   e t o i  i   l sa d I t g a e   v c s Uni e s t   fElc r i S i n e a d Te h o o y o   i , 1 a e Ke   b fEl c r n c Th n Fi   n   n e r t d De ie , m v r i o   e ton c ce c   n   c n l g   fCh na  y   Ch n u 6 0 5 e gd   1 0 4,Ch n ; . Ch n d   g r M


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