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地震勘探用三维MEMS加速度传感器的研究


7  O 传感器与微系统( r sue n   coytm T cnl i ) Ta d cr dMi ss   eh o g s  n a r e oe 21 02年 第 3 卷 第 4期  1 地 震 勘探 用 三维 ME MS加 速 度 传 感 器 的研 究  谌贵 辉 ,刘建 生 ,李 礼, 杨 帆  ( 南 石 油 大 学 电 子 信 息 工程 学 院 , 川 成

都 60 0 ) 西 四 1 50  摘 要 :以 ME MS加速度传感器为基础的新型数字地震检波器是地震勘探所用仪器 的发展方 向之一 。介  绍 了一种三维 ME 加 速度检波器结构 , MS 这有别于传统三分量 ME MS传感器通过用 3只 ME MS加速 度传  感器按正交直角组装 。并通过 P pc 软件对其进行 了整体仿 真 , Si e 仿真 结果表 明其 阶跃 响应和正 弦响应基  本和理论分析的结果吻合 。   关键词 :微机 电系统 ;加速度传感器 ; 真  仿 中图 分 类 号 :T 2 2 P 3 .  P 1 ; 6 14 文 献 标 识 码 :A   文章 编 号 :10 -7 7 2 1 )4- 7-2 0 09 8 ( 02 0 -0 00  - 0 - Re e r h o     M EM S a c lr to s ns r f r s a c   n 3D    c ee a i n  e o   o   s im i  x l r to es c e p o a in  C HE   ih i I  in s e g IL ,YAN F n N Gu— u ,L U Ja —h n ,L  i G  a   ( co l f l toisIfr t nE gn eig S uh s P to u Unvri , h n d  15 0 C ia  S h o o  e rnc nomai   n ier ,o twet erl m  i es y C eg u6 00 , hn )   E c o n   e t Ab t a t B s d o   h   s r c : a e   n t e MEMS a c lr t n s n o ,   e  y e o  ii lg o h n   q i me t u e   n s i c   c ee ai   e sr a n w tp   f dg t   e p o e e up n  s d i  e s   o a mi e p oa in i  neo  h   e eo n   rc in . x l rto  so   ft e d v lpig die to s Thesr cur  fa3D  EM S a c l rto   e s r, i h i  ifr n     tu t e o     M   c ee ain s n o wh c  sdfee t r m h  r dt n l h e — o o e tME   e s rt a  s c mp s d o   e   MS a c lr mee s a c r i g t  fo t eta i o a tr e c mp n n  MS s n o  h ti  o o e   ft re ME   c e eo t r  c o d n  o i   h t e o h g n l n l  s e l s e c ie . h   v r ls lt n i c rid

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