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材料安全数据表(MSDS)


绿菱气体

材料安全数据表(MSDS)
第 1 部分 产品概述

产品名称: 四氯化硅    Tetrachloride Silicon 化 学名称:四氯化硅                                    分子式: SiCl4 代名词: Tetrachlorosilane?A Silicon Chlorid

e 生产商:北京绿菱气体科技有限公司 北京市昌平区崔村香堂工业区 查询电话:(800)752-1597 MSDS 号码: 复查日期: 第 2 部分 含量: >99% CAS 号码: 10026-04-7 ?? 觉 0.067 ppm (as HCl) 第 3 部分 危害概述 主要组成与性状

修订次数: 修订日期:

3 1998 年 7 月

紧急情况综述 此物质为腐蚀性、毒性、非燃性液体,会伤害眼睛、皮肤与呼吸道。接触水或空气中湿气 会产生剌激性气体,与水产生剧烈反应。

紧急情况联系电话
0532-388 9090 健康危害效应: 吸入:对呼吸系统具有腐蚀性及强烈刺激性。其会立即水解形成盐酸与胶状的 Siloxane ,伤害吸呼道粘膜,会造成深度肺炎及肺积水,严重时会致命。 食入:灼伤口腔、喉咙及消化系统。 皮肤:剧烈的化学性灼伤造成红肿。 眼睛:刺激与腐蚀。暴露于高浓度下会造成灼伤,甚至失明。  环境影响:危害动植物生长,甚至死亡。 物理性及化学性危害:-  特殊危害:强腐蚀性。 主要症状:刺激感、咳嗽、呼吸困难、哽塞感、胸疼痛、呕吐、肺积水、皮肤发红及起 泡、失明、疼痛、灼伤、口渴、痉挛、恶心。
MSDS 四氯化硅 1/5

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危害物质分类: 8、6.1 第 4 部分 急救措施

对急救人员的要求:急救人员应穿戴自负式呼吸器具(SCBA)。 不同暴露途径的急救措施: 吸入:将患者移至新鲜空气处,保持患者温暖与安静,立即送医治疗。若呼吸停止由受 过训练之人员施以人工呼吸,但不可以口对口方式。在送医途中持续供给氧气给患者, 若呼吸困难给予氧气。延迟性的肺水肿可能发生。病患至少留院观察 24 小时。 食入:饮用大量水,不可催吐,不可给予碳酸盐,不可对昏迷者喂食,立刻送医急救。 皮肤接触: 尽速以大量水冲洗患部,并在冲水时脱去污染的衣物,包括污染鞋、袜。 眼睛接触:使用大量水缓慢冲洗 15 分钟以上,并不时撑开眼皮冲洗,立即送医。 最重要症状及危害效应:- 急救人员的防护:防护手套、不宜用口对口人工呼吸,可用单向活瓣口袋式面罩。 对医师的提示:大部份的曝露是由于氯化氢的释出引起,四氯化硅对粘膜有刺激性和腐蚀 性。吞入会导至上消化道溃烂、穿孔或腹膜炎。 第 5 部分 火 灾和爆炸

闪点: 自燃温度: 燃烧极限: 不适用 不适用 不适用 灭火剂:此物质不可燃且不支持燃烧,。使 用 适 应 其周围火情的 灭 火 材 料。 灭火时可能遭遇的特殊危害:避免与水接触有剧烈反应,产生氯化氢气体。曝露于高热或 火焰时,钢瓶内压力会上升,大部份的钢瓶皆被设计可由瓶阀之破裂片释放高压气体。如 果破裂片失效,可能导致爆炸。 特殊灭火程序:撤离所有人员,若无立即危害之前题下搬移火场中的钢瓶,洒水冷却钢瓶 直到火焰被扑灭。  消防人员的特殊防护设备:空气呼吸器 SCBA、防毒面具、A 级防护衣。 危害燃烧产物:氯化氢、oxides of silicon、氯化物。 第 6 部分 意外泄漏应急处理

个人应注意事项: 1.将所有人员、车辆隔离泄漏区。2.使用适当防护具。3.如果可行,关闭泄漏源。4.隔离泄 漏容器。5.若钢瓶泄漏通知供货商。6.若是制程设备发生泄漏,关钢瓶阀,安全地排放压 力,于维修前确定使用惰性气体进行管线冲吹。 环境注意事项:避免泄漏物流入下水道、水沟或其它密闭空间内。 清理方法:1.清理工作需由受训过的人员负责。2.勿碰触泄漏物。3.保持泄露区通风良好。 4.产生的废弃物依相关法规办理,但需先将其残留之气体导入洗涤塔。5.事后清洗灾区, 并用大量水冲洗,废水排入废水处理场。 第 7 部分 使用与储存

储存:钢瓶应存放于通风良好、安全且避免日晒雨淋之场所,储存区温度不能超过 400C,
MSDS 四氯化硅 2/5

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贮存区不可放置可燃物质、严禁烟火、并远离人员进出繁杂地区和紧急出口。钢瓶应直立 存放并适当锁紧阀出口盖及阀保护盖,且瓶身应予固定,残气、灌气瓶应分开贮放,使用 先进先出系统避免贮放过期,定时记录库存量。非使用时阀需紧闭。定期检查钢瓶有无缺 陷如破损或溢漏等。于适当处所张贴警示标志。储存处所应装设泄漏侦测与警报系统,并 备有止漏及除污设备。 使用:不要拖、拉、滚、踢钢瓶,应使用适当钢瓶专用手推车搬运钢瓶。禁止尝试利用瓶 盖来吊升钢瓶。钢瓶于使用中必须固定。使用逆止阀避免逆流进入钢瓶。严禁烟火。不可 对瓶身任何地方加热。高温可能会造成泄漏。所有管线与设备需测漏无误后方可使用。当 钢瓶连接到制程时慢慢小心地打开钢瓶阀。打开瓶阀若遇到任何困难,应停止操作并通知 供货商。不可用工具(如板手、螺丝起子等)插进瓶盖二边开孔内打开瓶盖,因如此会损坏 瓶阀造成泄漏,应使用可调式环状链式板手来打开过紧的瓶盖。确实使用灌气容器、使用 中、残气容器卷标以分辨钢瓶使用状况。为避免空气进入钢瓶内请勿完全用尽气体,用毕 后请使用扭力板手将阀出口盖锁回去。须置备随时可用于灭火及处理泄漏的紧急应变装 备。SCBA、紧急洗眼器及安全冲淋器需准备妥当。建立意外泄漏的紧急应变计划。

第 8 部分

暴露控制/个人防护措施

工程控制:通风,提供好的通风或局部排气设备以避免累积超过允许曝露浓度。 控制参数: 时量平均容许浓度(TWA):-短时间时量平均容许浓度(STEL):-最高容许浓度(Ceiling): 5ppm(for HCl) 生物指针(BEIs):-个人防护设备: 呼吸防护:在浓度未知或超过允许曝露浓度时,使用 SCBA 或正压式空气管面罩。 眼睛防护:安全眼镜、面具。 皮肤及身体防护:处理钢瓶时使用皮手套、安全鞋及安全眼镜。当连接、拆除或打开钢 瓶时需穿著抗酸手套及防护衣。紧急应变时:使用全身式 A 级防护衣。 其它防护:紧急冲淋器、紧急洗眼器。 其它注意事项:手套或防护衣接触到冷的挥发液体时,人体可能会造成超低温灼伤或冻伤。 低温液体会使 PPE 材质脆化造成损坏或曝露危险。 卫生措施: 1.工作后尽速脱掉污染之衣物,洗净后才可再穿戴或丢弃,且须告知洗衣人员污染物的危 害性。2.工作场所严禁抽烟或饮食。3.处理此物后,须彻底洗手。4.维持作业场所清洁。 第 9 部分 物理和化学特性 外观及嗅觉:无色液体,遇水气产生白色烟雾。 气味:刺鼻令人窒息的刺激味无色气体。 分子量:169.6 PH 值:-沸 点 :57.6℃ ( 135.68℉) 熔点: -68.8 ℃ (-93℉)
MSDS 四氯化硅 3/5

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闪点: 此物不燃 分解温度:- 比重:未知 气体密度: 0.124 lb/ft3 (210C, 1atm) 蒸汽压: (21.1℃): 3.89 psia(26KPa) 水中溶解度:剧烈反应 第 10 部分: 稳定性和反应活性 化学稳定性: 稳定 危害分解物:水解产生氯化氢。 需避免的情况:钢瓶不可曝露超过 400C。 应避免的物质:水、酒精、石碳酸、碳氢基氨、氧化物、strong bases。 特殊状况下可能的危害反应:-第 11 部分: 毒性学资料 急毒性:LC508000ppm/4H 鼠吸入 局部效应:对皮肤有腐蚀性。 致敏感性:- 慢毒性或长期毒性:- 特殊效应:- 第 12 部分 生态影响 可能的环境影响/环境流布: 水中毒性:-。 移动性:未知。 生物累积性:未知。 第 13 部分: 废弃处理 废弃处置方法: 将钢瓶回运供货商,回运前务必确认钢瓶已关紧,阀盖及瓶盖已重新装回并锁紧。一般是 以导入中和塔当作腐蚀性物质处理。 第 14 部分: 运输信息

DOT 运输名称: 四氯化矽 危险级别: 8 识别编号: UN1818 DOT 运输标签: 腐蚀性
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警示牌(如需要):不可燃气体 特殊的运输信息:运送人员接受”危险物品运送人员专业训练”。 特殊运送方法及注意事项:在通风良好的卡车上以直立固定的方式运送。不可用后行李箱 运送。确认钢瓶已关紧,阀盖及瓶盖已重新装回并锁紧。 注意: 压缩气体钢瓶只能由合格的压缩气体生产厂家进行重新充装。擅自运输未经压力气 瓶所有厂家充装或经其书面同意充装的气瓶为违法行为。 第 15 部分: 相关法规 1. 2. 3. 4. 5. 6. 道路交通安全规则。 危险物及有害物通识规则。 高压气体劳工安全规则。 空气污染防制法。 废弃物清理法。 水污染防治法。

第 16 部分: 其它信息 危害等级: NFPA 等级 健康: 3 可燃性: 0 反应性: 1 特殊说明: 禁水 HMIS 等级 健康: 0 可燃性: 0 反应性: 0

MSDS

四氯化硅

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