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电热&水洗Scrubber


Air Pollution Control Company

Micro Advanced Technology

电加热&水洗 Local Scrubber
MAT507BWA
`

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2014-10-12

Micro

Advanced Technology
规格 原理 尺寸 (W× D× H) 处理容量 电热 & 水洗

基本规格

720× 850× 1610mm 500slm

加热室

-.2套并行加热器 -.内建式水循环系统 -.防腐蚀材料 -.防堵塞设计 -.自动清洁的空气喷嘴设计 -.易于维护 CVD,Diffusion,Implantation
大约 400 Kg(Dry), 450 Kg(Wet)

应用
重量

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2

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Micro Advanced Technology
① ②
No 1 2

基本规格

名称
进气管 加热室 中间法兰 吸收体 水洗室 水位感应器 喷嘴 法兰 套管

规格
NW50 INCONEL600 + STS310 + STS304 STS304 STS310 STS304, Teflon coating STS 304, Teflon coating PVC STS 304, Teflon coating

③ ⑧ ④ ⑦ ⑤
3 4 5 6 7

8

排气管

STS 304, Teflon coating



2014-10-12

Micro Advanced Technology
废气进口
H2,, NF3, C2H2, C2H4 处理后气体排放

流程图
H2, C2H2, C2H4 >99% NF3 >90% 自来水

排气 加热室
燃烧空气
燃烧室内反应 H2+1/2O2?H2O 2C2H2+5O2?4CO2+2H2O

Air套管

C2H4+3O2?2CO2+2H2O
2NF3 ? N2 + 3F2

水洗室

水洗室内反应 F*, HF and by-products capturing

排水口 循环泵

排放泵

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Micro Advanced Technology 加热室分解图 4个进气口 2个涡流空气喷嘴
加热管 加热棒保护套

加热室

自动清洁空气喷嘴 -防止粉尘堆积 高防腐蚀材料 2套并行加热系统

加热棒

加热室

-.备用加热系统 -.SiC加热器 -.双热传感器 外部可换式加热器 -.不用打开气室 对热隔绝的双层防护

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Micro Advanced Technology

中间法兰

已气流屏障防止从水洗室来的湿气
-.防止粉尘在燃烧室内累积

延长P.M.频率

Sleeve N2 or Air

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Micro Advanced Technology 长气体通道提供良好的水溶性
1st Absorber Zone

水洗室

-.双吸收区域 -.高效率 -.有效清洁粉尘

2nd Absorber Zone

两个目标喷嘴含盖四个方向
水洗室

吸收箱

一个自动清洗喷嘴
-.可程序化
-.液位检查

不锈钢吸收器 电极式液位感知器

吸收器 www.mat.co.kr 7 2014-10-12

Micro Advanced Technology

第三吸收区
自来水

第三吸收区 供应自来水 ? 最后处理区

排放

循环

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Micro Advanced Technology

直式结构

防爆之安全设计 -.压力扩张将于水洗室内被缓冲 ?水洗室之容量三倍大于燃烧室 由上向下流向 ?防止粉尘堵塞

方型燃烧与水洗室
-.有效空间利用 -.减少占地面积

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Micro Advanced Technology

维护
简单容易的维修

自动的乾/湿舱体的分离拆卸设计

独特的水洗室与循环系统 ?减少维修点

简单 /快速维修循环泵与管路

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Micro Advanced Technology

设 备 拆 解

燃烧/水洗自动拆解设备
-.减少人力需求 -.快速清洁时间 <3小时 -.易于维修

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Micro Advanced Technology

设备拆卸

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- 关键问题 1:粉尘堆积
解决方案 1.进气口清洗系统
A C 马 达 Y型连接器 STS弹簧

进气口

去除附着在进气口的粉尘移除
机械方式 内部压力不会下降 简单弹簧更换

在触控面板上可更改时间/频率

?延长P.M.频率

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- 关键问题 1:粉尘堆积
解决方案 2.清洁空气喷嘴
高压 CDA
移除燃烧室内的粉尘 在触控面板上可更改时间/频率

?延长P.M.频率

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Micro Advanced Technology

- 关键问题 1:粉尘堆积
解决方案 3.中间法兰的N2套管

Sleeve N2 or Air

利用空气屏障将水洗室的湿气隔绝
防止粉尘在干湿交接处产生

?延长P.M.频率

Sleeve N2 or Air

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Micro Advanced Technology

- 关键问题 1:粉尘堆积
解决方案 4.清洁水喷头

粉尘会收集在水洗室的型V底层 高压水流把粉尘带出 在触控面板上可更改时间/频率

?延长P.M.频率

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Micro Advanced Technology

-关键问题 2:腐蚀
解决方案 1.防腐蚀材料
高防腐蚀材料应用于会发生腐蚀处
-. B/C加热管: Inconel 600 -. B/C T/C管:Inconel 600

-.中间法兰:STS310+铁氟龙涂层

所有湿区的表面
-.持续性的清洗

-.铁氟龙涂层

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Micro Advanced Technology
Supply Water

流程图
S P Burning Air S Gas Out Cleaning #1 Cleaning #2 Cleaning #3 Gas In Inlet Pressure Exhaust Pressure

Water

Air

R

Air
Sleeve Air

Cleaning Water Drain Filter Box S Re-cir.Pump1 Circulation Tank

Re-cir.Pump2

Power Drain Pump

P R Pressure regulator Flow meter

S Flow Switch Auto Valve Manual Valve Pressure Gauge Check Valve Pump

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Micro Advanced Technology

厂务

Item

Spec A/C 220V 1 Phase 4 ~ 7kg/cm2 3 ~ 5 kg/cm2 Acid Drain -50mmH2O ~ -100mmH2O

MAX 50Ampere Max: 10 KW 200 SLM 3 L/min 3 L/min 2 m3/min

AVE

Connection

Remark

Power

5 ~ 6KW

14?-4Wires Burning Air + Sleeve Air

CDA NW Drain Gas Exhaust Cabinet Exhaust

80 SLM 3 L/min 3 L/min 1 m3/min

3/8” Tube 1/2” Tube 40A PVC Pipe NW63 Flange

Drain Port : 300mm

-50mmH2O

5 m3/min

5 m3/min

?100mm

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气体处理效能规格(%)
Trade Name

Chemical Formula AsH3 BCl3 BF3 B2H6 Cl2 HBr HCl PH3 SiH4 SiH2Cl2 Si(OC2H5)4 Arsine

Gas Name

Gas Reaction 2AsH3 + 4O2 → As2O5 + 3H2O

DRE(%) >99

Boron Trichloride
Boron Trifluoride Diborane Chlorine Hydrogen Bromide Hydrogen Chloride Phosphine Silane

2BCl3 + 3/2O2 → B2O3 + 3Cl2
2BF3 + 3/2O2 →B2O3 + 3F2 B2H6 + 3O2 → B2O3 + 3H2O WET WET WET 2PH3 + 4O2 → P2O5 + 3H2O SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2H2O

>99
>99 >99 >99 >99 >99 >99 >99 >99 >99

Dichlorosilane

DCS SiH2Cl2 + 3/2O2 → SiO2 + H2O + Cl2

TetraEthylOrthoSilicate TEOS (C2H5O)4Si + 12O2 → 8CO2 + SiO2 + 10H2O

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厂务成本

Utility cost
No 1 2 3 4 厂务年运转成本US$ 2,506 厂务 电力 水 CDA 消耗 5 3 80 单位 KW LPM LPM 单价(US$) 50 220 10 单位 KW/H ? ? 年费用(US$)

1,856 294 356

厂务成本因各项目单价不同而有所变动

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消耗品费用

消耗品
No
1 2 3 4 5 6

品名
加热棒 O型圈 吸收器 循环泵

数量
6 2 8 2

单价(US$)
212 42 85 424

单位
EA EA Kg EA

使用寿命
2年 6个月 4年 2年

年消耗
4.5 4 2.5 1

年费用(US$)
953 169 212 424

每年消耗品费用总计US$

1,758

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非消耗品费用

非消耗品

No

品名

数量

单价(US$)

单位

使用寿命

总费用

年费用(US$)

1 2 3 4 5

燃烧室 水洗室 中间法兰 加热棒保护管

1 1 1 6

3,390 3,814 1,271 254

EA EA EA EA

3years 3years 3years 3years

3,390 3,814 1,271 1,525

1,130 1,271 424 508

每年非消耗品费用总计US$

3,333

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