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维护及使用说明


Rena 维护及使用说明
注:在进行维护之前应将槽内液体排干,并用 DL 水进行清洗。 关电之前先把窗门打开,不然关电后打不开。 进入设备之前要穿戴好防护服及头盔。 维护计划 1:将槽内碎片吸干净后,用 DL 水枪对槽进行喷洗,将上下滚轮 也进行喷洗。 (每周) 2:检查各个供液,排液管道连接是否有泄漏。 (每周) 3:检查各个槽上下方风刀管道是否有漏气。 (每周) 4

:检查各个泵是否工作正常,运转时声音是否正常。 (每周) 5:检查放置酸碱的 tank 和容器是否有泄漏。 (每周) 6:检查各传感器(液位,感应泄漏)是否有损坏,功能是否正 常。 (每月) 7:检查热鼓风机功能是否正常, (背刻蚀)(每周) 。 8:重新校准 HF 传感器。 (每月) 9:更换滤芯。 (每月) 10:检查调整有机排风阀门,控制风量大小在一定范围内。 (每 半年) 11: 检查压缩空气和有机排风外部供给是否正常。 (每年) 12:检查电柜内线头连接是否良好,将松动的线头拧紧。 (每月) 13:检查设备是否有机械损伤。 (每月) 14:更换 PLC 蓄电池。 (每年)

15:检查滚轮轴承连接是否正常,是否有机械损伤,运转是否正 常。 (每月) 16:清理滤网和碎片。 (每周) 17:检查上下滚轮有无磨损,运转是否流畅。 (每月) 18:检查气管喷气是否流畅。 (每月) 19:检查补液管是否装紧了。 (每月) 20:检查液位仪并把它们拧紧。 (每月) 21:检查热电偶功能是否正常。 (每月) 22:检查 tank 连接,看是否有泄漏。 (每月) 23:检查槽是否固定良好,各自位置是否正常。 (每半年)

使用操作说明
注:切换模式时必须停止所有功能,包括滚轮 操作状态: 第一排:显示操作模式 第二排:错误指示 第三排:模式状态 滚轮传动系统: 传送轮变频器必须没有故障 所有模块必须没有错误 若显示 Not Ready,则说明以上条件未全部满足 若显示 Error,则说明传送轮发生了错误或有一个错误影响了传 送轮 若显示 In process 则说明模块正在运行中或正在准备一项手动 功能 刻蚀槽: 显示 Ready 必须满足一下条件 1:槽内必须注满药液 2:槽内温度必须在设定范围内 3:循环流量必须在设定范围内 4:药箱必须注满药液 5:冷却系统必须准备好 6:所有模块必须没有错误

若显示 Not Ready,则说明以上条件未全部满足 当模块处于手动模式时,可以使用以下几个功能: 1:Filling DL 2:Filling Chem 3:Draining 4:Cleaning 操作界面:

显示当前模式 跟 PLC 连接状态 登陆用户名

关闭模式 手动模式 SERVICE 模式(用于调试) 自动模式

切换视图按钮 打开 service 菜单(仅在 service 模式下适用) 打开手动菜单选项 打开工艺菜单 添加药液菜单 显示温度曲线 工艺参数

消除报警 消音 确认错误

切换到药液供给主页面 从药液供给页面返回主页面 从任意页面返回主页面

Start 按钮:当设备处于自动模式,start 按钮没起作用。点这个按 钮,会弹出一个窗口并显示设备停产的原因。然后机器自动运行,即 所有的传送轮和泵都启动。 Stop 按钮:机器停止,所有的滚轮都停止。 Test lamps 按钮:点这个按钮,信号塔所有的灯都亮起,蜂鸣器也发 声。 Enter a Note 按钮:如果点这个按钮,写入的程序就会被执行,这 为写和存储测试数据提供了可能 主要功能模块: Etch bath:刻蚀槽 Dryer etch bath:刻蚀烘干槽 Rinse 1:清洗 1 Alkaline Rinse:碱槽清洗 Rinse 2:清洗 2 HF bath:HF 酸洗槽 Rinse 3:清洗 3 Dryer 2:烘干 2

点 service 后出现以下画面

此画面主要用于控制功能模块的一些传感器,参数以及阀门等等。必 须在权限足够的条件下使用, 点击画面右下侧不同的功能模块显示不 同的功能元件及参数。

点 manual 后出现以下画面

点击画面右下侧不同的功能模块可以在画面中央显示不同的模块区 域,并且在画面左侧会显示各功能模块可以执行的操作 例:mode man:从自动模式打到手动模式 Mode Auto:从手动模式打到自动模式 PT Filling Chemie:为储液槽添加药液 Rinse bath start:槽冲洗开始 Rinse bath stop:槽冲洗停止 PT Filling DL:为储液槽添加 DL 水 System Rinsing:系统排放药液后冲洗

System Draining:系统排放药液 Fill bath:从储液槽向工艺槽内添加药液 Drain bath:从工艺槽向储液槽排放药液 Bath change:系统排完药液后再重新配补新的药液 Start main function:开启主要功能(使药液开始循环) Stop:停止主要功能(使药液停止循环) Reset remain vol:重置剩余药液含量


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