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旧版埚杆实验2次方案


实验方案
晶鑫科技单晶实字 2015 第(05)号

一、 实验名称:旧版埚杆 2 次实验方案 二、 实验目的:
将旧版埚杆投入使用的同时保证炉台原有功率;

三、 实验阐述:
经过《旧版埚杆实验方案》后,可以验证: 1、 旧版埚杆的结构不影响生产; 2、 因使用去掉了下保温托盘,引起功率的上升。

四、 实验依据:
在炉底加入软毡,增加下保温,起到原下保温托盘的作用。

五、 工艺条件:
1、 增加新热场部件(图纸见附页) ,增加下保温软毡厚度; 2、 每次清炉时必须清理加热器脚下方空隙。

六、 实验负责人:李君先 七、 实验监督: 品管部 八、 方案实施:
1、实验炉台:51#。 2、实验人员: 51#炉的炉台负责人,实验负责人现场跟踪。 3、实验时间:投料 3 炉,约 8 天。

九、 表格填写:

1 2 3

晶棒编号

引晶功率 等径长度 埚杆表面情况

备注

起草人:李君先

审批:



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