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镀膜技术介绍


PVD Coating
Electronic Beam Vacuum Metallization Technology (EBVM)

-1-

PVD Coating
NCVM (Non-Conductive Vacuum Metallizer) )
NCVM material : SiO2; TiO2;

ZrO2; Al2O3; MgF2; CaF2; etc. Coating Mode: EBVM NCVM Coating Application Anti-fingerprinting/ Easy to Cleaning coating: prevent fingerprint, water, oil ect.

58° 58°

115° 115°

without anti-fingerprinting coating:θ<60 ° : -2-

with anti-fingerprinting coating θ>110° °

AF coating:Steel velvet test
Steel Velvet test can evaluate rub resistance

TABER 5750 LINEAR ABRASER

Friction test demonstrates

-3-

AF coating:Steel velvet test
AF Coating technology improvement
触 测试项 角 >95° 108.61° 术 112.43° 110.25° 116.43° 术 115.51° 118.91° 角 >95° 70.21° 75.56° 73.24° 105.21° 107.55° 107.23° 触 变 <20% 35.36% 32.79% 33.57% 9.64% 6.89% 9.82%

To Compare With The Early Process, The new pr ocess has higher contact angle and Friction resist ance

SPEC

钢丝绒型号 :0000# 负 载:500g 摩擦次数:1000次往复 摩擦宽度:20mm 往复速率:30次/min

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Anti-Fingerprinting(AF) Coating(EBVM)

AF Coating Process Parameter:
?Temperature:60° ?Vacuum: 5.0E-5Torr ?Evaporation Method: Electron Gun Evaporation ?Evaporation Speed: 1 nm/s ?Effect: Prevent fingerprint membrane layer have clean function. Namely smudgy can easily wiped clean

VACUUM PLATING COATER

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Anti-reflection (AR) Coating(EBVM)

AR Coating Process Parameter:
?Temperature:60° ?Vacuum: 8.0E-5Torr ?Evaporation Method: Electron Gun Evaporation ?Evaporation Speed: 0.3 (0.8) nm/s ?Evaporation Coating Material: TiO2 SiO2 ?Effect: Reduce the reflection and improve the transmission rate
AR Coating Sample

-6-

Anti-reflection (AR) Coating(EBVM)
Single and Double sides AR Coating Transmittance
? ? Function: reducing Reflection Single side transmittance at 550nm﹥94%,and the double sides can reach﹥98%
波长nm 双面镀制AR 单面镀制AR

AR Transmittance Chart
400 450 500 550 600 650 700 750 800 76.3 97.7 99.5 99.4 98.3 97.5 96.9 96.3 95.1 92.9 94.7
单面镀AR膜 双面镀AR膜

100
94.9

90
94.8

80
94.4

70
94.1

60
93.6

50
92.5 90.9

40 400 450 500 550 600 650 700 750 800
-7-

Magnetron Sputtering equipment

Sputtering material : Si; Ti; Cr; Cu etc. Coating Mode: Magnetron Sputtering

THANK YOU !

-9-


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