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PVD涂层


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2. LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) APCVD , 27~270Pa, , , , ,

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3. PHCVD (Photo Chemical Vapor Deposition) , , , (

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4. PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) CVD , (RF Power) (Microwave), PECVD , , , . CVD . PECVD (

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1.http://www.techbank.com.tw/c-tbc.htm

2.http://www.taiwan.amat.com/index.asp 3.http://ndl.gov.tw 4.http://www.stic.gov.tw/apcst/project/98/report 98/980416.htm 5.http://www.narc.com.tw 6.http://ww.erso.tri.org.tw/ersoweb/b400/pvd-cvd.htm


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