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欧姆龙光纤传感器E32资料


光纤单元

相关信息 技术指南 (技术篇)……… 1290
放大器单元 E3X-DA-S/MDA …………… E3X-NA ……………………… 68 86

E32系列
满足多样化需求的光纤单元
标准型
■ 丰富的形态变化 ■ 满足需求的光纤电缆和加工服务

耐环境型

能够满足各种环境用途

特殊光束/特殊应用型
■ 发挥出众的检测性能
请参见第65页的 「请正确使用」

特长 标准型
首先从这里开始 →18页

可用于工件有无检测和定位等多种用途的光纤单元。

可根据安装位置的不同选择各种形态
能够根据安装位置的不同,选择各种形态。 (7型,标准型、小型两种尺寸) 省空间,安装方便 平面型 使用螺钉即可简单安装,而且 还添加有能够牢固布线的平面 型。 可不必担心电缆被挂住等。 从狭窄的空间内抓出工件 套管加工 仅需一周

这种套管型能够在狭窄的空间内 进行检测。 根据空间大小加工生产套管的长 度和弯曲加工。 (极细的套管型除外)
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

像电线一样易于操作、不易折断的柔软光纤
备有能满足各种需求的光纤变型。多内芯 (柔软)型中,不必 担心弯曲半径,和电线操作一样,是一种新标准光纤。另外还 备有工作部不易折断、耐油的光纤。 可以指定1m为单位长度 纤维长度加工 仅需一周 (节能、省工时) 一周时间就能够以1m为单位长度加工生产光纤,也可以指定 适用于大型设备的最大长度为20m的光纤。 (可指定0.3m、 0.5m)

16

E32系列
特殊光束型
提高检测的可靠性 →22页

探头变型中使用了光学技术,能够解决检测课题,提高可靠性。

E32-C42+ E39-F3A

E32-T16J

E32-L24L

E32-T17L

耐环境型
备有能够满足各种环境用途的变型。 可以实现在高温下或真空状态下的检测。

只有光纤才能做到的环境对应 →26页

特殊应用型

面向食品、包装、半导体、 FPD行业 →28页

该类型是面向特殊用途而开发的光纤单元,可以发挥出众的检测性能。

E32-G14

E32-L16

E32-D36T

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

17

E32系列
特长/应用
标准型

柔软 (新标准)
◆布线时可以任意弯曲而不必考虑弯曲半径 ◆可根据空间不同,选择各种形态 柔软光纤 传统光纤 在多数内芯外部包层的结构。 即使弯曲也不会发生光量损耗,能减少设置时的麻烦。 ■额定值/性能
最小检测物体 容许弯曲半径 环境温度范围 光纤材料 φ0.005mm R1mm -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

■ 「多内芯 (柔软)光纤」特长

减少麻烦

布线引起的光量变动 固定造成的光纤的折断

标准型
◆可根据空间不同,选择各种形态 ◆备有省空间、安装方便的 『平面型』!! ■ 「平面型」特长 备有能够牢固安装、布线的平面型。根据空间不同备有 三个可选择的检测方向和标准型、小型两种尺寸。

■额定值/性能
最小检测物体 容许弯曲半径 环境温度范围 光纤材料 φ0.005mm R10或25mm * -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

*因光纤直径不同而有所差异

耐曲折型
◆能够在工作部使用的 『手柄』型 ◆可以反复曲折100万次以上 (代表例)
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

■ 「手柄型光纤」特长 由于多数细光纤各自独立,可以发挥高度的耐曲折性。

■额定值/性能
最小检测物体 容许弯曲半径 环境温度范围 光纤材料 φ0.005mm R4mm (可以反复曲折) -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

18

E32系列
氟涂层
◆通过氟素树脂包层,能够防止油污导致的光纤老化 ◆可以用附带的刀具自由切割 ■ 「氟涂层」特长

由于外部材料为氟素树脂,能够防止附着油污导致的光纤 老化
注.光纤的头部没有耐药品性。

■额定值/性能
最小检测物体 容许弯曲半径 环境温度范围 光纤材料 φ0.005mm R4mm -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

加工服务 (光纤长度/套管长度、弯曲度)
以标准型为对象的装运服务。为减少工业废弃物和减少设置工时作出贡献。 光纤长度
■对象机型 标准型 ■订购型号 (标准型号)+ (光纤长度) 0.3m、 0.5m、 1~20m均以1m为单位 ■交货期 20套之内:1个星期 超过20套敬请垂询。 2m (标准长度)为标准的在库品。 ■检测光纤长度的距离特性 对射型 (以光纤长度2m为100%)
100

反射型 (以光纤长度2m为100%)
100

% 80

% 80

60

60

40

40

20

20

0

2

5

10

15

20

0

2

5

10

15

20

套管长度/弯曲度
■对象机型 E32-TC200B/E32-TC200F E32-DC200B/E32-DC200F 但是, E32-DC200F不可弯曲。 ■交货期 20套之内:1个星期 20套以上敬请垂询。 ■根据光纤长度不同
长度 0.3/0.5/1/2m 3~5m 6~10m 11~15m 16~20m 种类

m

m

标准型

柔软型/耐曲折型

■仅变更套管长度的型号
L

型号:E32- *1 C200 *2 -S *3

■变更套管长度、弯曲度的型号
L1 R L2 R

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

弯曲半径及L 1、 L2尺寸型号一览表 <仅指定L1时> (单位:mm) <仅指定L2时>
弯曲半径 L1(±1) 10 R5 15 12.5 R7.5 17.5 15 R10 20 17.5 R12.5 22.5 型号 E32- *1 C200 *2 -S *3 A1 E32- *1 C200 *2 -S *3 A2 E32- *1 C200 *2 -S *3 B1 E32- *1 C200 *2 -S *3 B2 E32- *1 C200 *2 -S *3 C1 E32- *1 C200 *2 -S *3 C2 E32- *1 C200 *2 -S *3 D1 E32- *1 C200 *2 -S *3 D2 弯曲半径 L2(±1) 5 R5 10 7.5 R7.5 17.5 10 R10 20 12.5 R12.5 22.5

E3X-NA
(单位:mm)

E3X-ZA E3X-DRT21-S

型号 E32- *1 C200 *2 -S *3 A3 E32- *1 C200 *2 -S *3 A4 E32- *1 C200 *2 -S *3 B3 E32- *1 C200 *2 -S *3 B4 E32- *1 C200 *2 -S *3 C3 E32- *1 C200 *2 -S *3 C4 E32- *1 C200 *2 -S *3 D3 E32- *1 C200 *2 -S *3 D4

*1.对射型带 「T」 、反射型带 「D」 。 *2.E32-TC200B的末尾加 「B」 「F」 、 。 *3.全长为50mm时加 「50」 。全长≦120mm

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E32系列
种类 (摘要) 对射型
种类 *2 柔软 (新标准) 标准 耐曲折 检测距离(mm) *1 型号 氟涂层

探头形状 螺钉
(俯视)

柔软、不易折断 M4 E32-T11R E32-TC200

可以反复曲折

保护电缆不受油污侵蚀

E32-T11

E32-T11U

M3 E32-T21R
(带套管)

E32-TC200E

E32-T21

M4
(φ1.2套 管)

E32-TC200BR

E32-TC200B

M3
(φ0.9套 管)

E32-TC200FR

E32-TC200F

圆柱
(俯视) φ3

E32-T12R
φ1.5

E32-T12

E32-T12B

E32-T222R
(侧视) φ3

E32-T222

E32-T22B

E32-T14LR
φ1

E32-T14L

E32-T24R 平面
(俯视)

E32-T24

15×8×3 E32-T15XR E32-T15X E32-T15XB

12×7×2 E32-T25XR
(侧视)

E32-T25X

E32-T25XB

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

15×8×3 E32-T15YR E32-T15Y

12×7×2 E32-T25YR
(平视)

E32-T25Y

15×8×3 E32-T15ZR E32-T15Z

12×7×2 E32-T25ZR E32-T25Z
:氟涂层光纤。 *1. 检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。 *2. 表情使用 :柔软光纤、 :耐曲折光纤、

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E32系列
检测距离(mm) *1 型号 种类 *2 柔软 (新标准) 标准 耐曲折 氟涂层

反射型

探头形状 螺钉
(俯视)

柔软、不易折断 M6 E32-D11R E32-DC200

可以反复曲折

保护电缆不受油污侵蚀

E32-D11

E32-D11U

M3 E32-D21R
(带套管)

E32-DC200E

E32-D21

M6
(φ2.5套 管)

E32-DC200BR

E32-DC200B

M3
(φ1.2套 管)

E32-DC200FR

E32-DC200F

圆柱
(俯视) φ3

E32-D12R
φ3 (φ1.5)

E32-D12

E32-D221B

E32-D22R

E32-D22

E32-D22B

(侧视)

φ6

E32-D14LR
φ2

E32-D14L

E32-D24R 平面
(俯视)

E32-D24

15×10×3 E32-D15XR E32-D15X E32-D15XB

12×7×2 E32-D25XR
(侧视)

E32-D25X

E32-D25XB

15×10×3 E32-D15YR E32-D15Y

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

12×8×2 E32-D25YR
(平视)

E32-D25Y

E3X-ZA E3X-DRT21-S

15×10×3 E32-D15ZR E32-D15Z

12×8×2 E32-D25ZR E32-D25Z
:氟涂层光纤。 *1. 检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。 *2. 表示使用 :柔软光纤、 :耐曲折光纤、

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E32系列
特殊光束型

长距离/高功能
◆强大的光束,防灰尘和污垢 ◆适用于大型设备的长距离检测 ■应用
容器(半透明)内的零件检测 涂敷工序中的工件检测

E32-T11L

E32-T17L

■额定值/性能
环境温度范围 -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

E32-T14

光纤材料

■种类 (摘要) 种类 内置大型透镜 对 射 型 侧视、安装螺钉 M4螺钉 反 射 型 内置大型透镜 M6螺钉 特长 形状/检测距离 (mm)* 20,000 3,400 1,330 700 400 型号 E32-T17L E32-T14 E32-T11L E32-D16 E32-D11L

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

超小型/极细套管
◆可以安装在狭窄空间内的超小型探头 ◆能够牢固抓住电子零件等的极细的套管 ■应用
整列检查 端子检查

E32-D33
φ1 φ3 φ0.22
E32-T223R

E32-T33-S5
■额定值/性能
φ3
E32-T334-S5

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

最小检测物体 环境温度范围 光纤材料

φ0.005mm -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

φ0.5

E32-D33

■种类 (摘要) 种类 对 射 型 反 射 型 特长 φ1圆柱 φ0.5 (开口φ0.25)套管 φ0.22 (开口φ0.1)套管 φ0.8套管 φ0.5套管 形状/检测距离 (mm)* 130 44 5 16 3 型号 E32-T223R E32-T33-S5 E32-T334-S5 E32-D33 E32-D331

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

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E32系列
同轴/小光点
◆以微小光点 ( φ0.1mm~)牢固抓住小工件 ◆可以通过红色光点确认,对位简单 ■应用
CD检测

E32-C31+ E39-F3C
■额定值/性能

E32-C42+ E39-F3A

最小检测物体 环境温度范围 光纤材料

φ0.005mm -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

■种类 (摘要) 种类 特长 同轴、 M6螺钉 同轴、 φ3圆柱 同 轴 反 射 型 小光点 小光点可变 长距离小光点 长距离平行光 7mm、光点直径φ 0.1mm 6mm~15mm 光点直径 φ0.1mm~0.6可变 17mm光点直径φ0.5mm 0~20mm 光点直径φ4mm以下 形状/检测距离 (mm)* 300 150 型号 E32-CC200 E32-D32L E32-C41+ E39-F3A-5 E32-C42+ E39-F3A E32-C31+ E39-F3B E32-C31+ E39-F3C

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

7mm φ0.1

6mm

11mm 15mm 17mm 20mm
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

E32-C41+ E39-F3A-5

φ0.1

φ0.6mm

E32-C42+ E39-F3A

φ0.5mm

φ4mm

E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

E32-C31+ E39-F3B

E32-C31+ E39-F3C

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E32系列
细径光束(狭视野)
◆用细光束切割周围的蔓延光 ◆强大的光束对应长距离设置 ■应用
定向平面的倾斜检查

60°



E32-T22S
■额定值/性能
容许弯曲半径 R10mm -40~+70℃ (不结冰、结露) 塑料

1300mm

环境温度范围

E32-T24S
■种类 (摘要) 种类 对 射 型 俯视 侧视 特长

光纤材料

形状/检测距离 (mm)* 1,900 1,300

型号 E32-T22S E32-T24S

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

区域检测
◆提高检测通过位置分散和打孔工件的可靠性 ◆用11mm和30mm广区域 (对射型)能够对应大范围的 位置分散 ■应用
检测糖果的通过 检测胶片上的片屑

11mm

E32-T16WR

E32-T16PR

30mm
■额定值/性能
环境温度范围 -40~70℃ (不结冰、结露) 仅E32-T16W□:-25~55℃ 塑料

E32-T16WR
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

E32-D36P1

光纤材料

■种类 (摘要) 种类 特长 检测宽度11mm 对 射 型 检测宽度11mm、 平视 检测宽度30mm 反 射 型 形状/检测距离 (mm)* 840 750 1,300 型号 E32-T16PR E32-T16JR E32-T16WR

光束宽度11mm

150

E32-D36P1

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

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E32系列
回归反射
◆通过往复光路,和对射型相比,提高透明工件遮光量 ◆内置MSR功能,可切割来自工件的直接反射光 ■应用
半透明药片的检测

E32-R21

■额定值/性能
环境温度范围 E32-R21:-40~+70℃ E32-R16:-25~+55℃ (不结冰、结露) 塑料

E32-R16
光纤材料

■种类 (摘要) 种类 回 归 反 射 型 特长 MSR功能、 M6螺钉 MSR功能、螺钉安装 长距离 形状/检测距离 (mm)* 250 1,500 型号 E32-R21 E32-R16

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

限定反射
◆限定反射光学型切割来自远处的反射光 ◆能够确切抓住极小的段差 ◆光轴方向可根据安装空间进行选择 ■应用
检测接插件插针 检测晶圆片 (玻璃基板)

E32-L25L
■额定值/性能
最小检测物体 φ0.005mm 塑料 仅+200℃型:玻璃

E32-L24L

E32-L24L
■种类 (摘要) 种类 特长 超小型、平视 最适合确认玻璃基板的物品 限 定 反 射 型 耐热:105℃ 俯视 宽检测范围、 平视 耐热:200℃ 平视

光纤材料

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

形状/检测距离 (mm)* 0~4 5.4~9 (中心7.2) 0~15 4~10

型号 E32-L24S E32-L25L E32-L16 E32-L86

E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

25

E32系列
耐环境型

耐热
◆高达400℃的温度,可满足各种用途 ■应用
高温下检测晶圆片

E32-T61-S
■额定值/性能
150℃型 容许弯曲半径 R35mm 200℃以上型 E32-T81R 其他 E32-D81R R10mm R25mm 玻璃 (SUS螺线管包 层)

E32-T84S-S

光纤材料

玻璃 塑料 (氟素树脂包 (氟素树脂包层) 层)

■种类 (摘要) 种类 环境温度范围 -40~+150℃ 对 射 型 -40~+200℃ -60~+350℃ 反 射 型 -60~+350℃ -40~+400℃ 形状 M4螺钉 L字形状、 长距离 M4螺钉 M6螺钉 M6螺钉 带套管 形状/检测距离 (mm)* 760 1,300 450 90 60 型号 E32-T51 E32-T84S-S E32-T61-S E32-D61-S E32-D73-S

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

耐药品
◆由于内置透镜,功能较高,耐水滴和污物 ◆由于探头为球状,因此难以附着水滴。 (E32-T11F) ■应用
清洗工程中的工件检测

E32-T12F
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

■额定值/性能
其他 环境温度范围 -40~+70℃ 塑料 (氟素树脂包层) E32-T51F -40~+150℃ E32-T81F-S -40~+200℃ 玻璃 (氟素树脂包 层)

E32-T14F
■种类 (摘要) 种类 对 射 型 反 射 型 特长 难以附着水滴的球形探头 由于内置透镜,功能较高 耐热:200℃ 由于内置透镜,功能较高

光纤材料

形状/检测距离 (mm)* 2,000 3,000 700 95

型号 E32-T11F E32-T12F E32-T81F-S E32-D12F

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

26

E32系列
耐真空
◆可以在0.1~10-5Pa的高真空环境下使用 ◆用漏泄量低于1×10-10Pa?m3/S的4ch多法兰,实现省空 间。 ■应用 (结构示例)
E39-F1V

E32-T51V E32-T54V E32-T84SV

E32-VF4(4CH) E32-VF1(1CH)

E32-T10V

E3X-DA-S E3X-NA

■额定值/性能
容许弯曲半径 光纤材料 120℃型 R30mm 玻璃 (氟素树脂包 层) 200℃型 R25mm 玻璃 (SUS螺线管包 层) 塑料 大气侧

■种类 (摘要) 种类 特长 M4螺钉、俯视、 耐热:120℃,长距离 L字形状、 耐热:120℃ L字形状、长距离、 耐热:200℃
*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

形状/检测距离 (mm)* 1,000 130

型号 E32-T51V+ E39-F1V E32-T54V 1M

对 射 型

480

E32-T84SV 1M

大气侧光纤 形状 种类 共通 型号 E32-T10V 2M

法兰 形状 种类 型号

4CH法兰

E32-VF4

1CH法兰

E32-VF1

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

■额定值/性能 项目 漏泄量 环境温度范围 材料 法兰密封材料 质量 (捆包状态) 通道数 型号
-10

4CH E32-VF4 1×10 Pa?m /s以下 开动时?保存时:各-25~+55℃ 铝合金(A5056) 氟橡胶 (氟化橡胶) 约280g
3

1CH E32-VF1

E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

不锈钢(SUS304) 铝合金(A5056) 约240g

27

E32系列
特殊应用型

标签检测
◆通过透镜内置的高功能透过衬纸(断开部分), 确切检测 标签 ◆可以用双氧水清洗,最适用于食品行业 ■应用
检测标签

E32-G14
■额定值/性能
环境温度范围 -40℃~ +70℃ (不结冰、结露) 塑料 IP67

10mm

E32-G14
■种类 (摘要) 种类 对 射 型 特长 凹槽型,无需调整光轴

光纤材料 保护结构

形状/检测距离 (mm)* 10

型号 E32-G14

安装螺钉,侧视

3,400

E32-T14

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

液位检测
◆检测不易受气泡、水滴影响的区域(E32-A01/A02/D36T) ◆考虑到断线时的安全,备有有液体和无液体状态下的 入光两种类型 (E32-A01/A02) 导管安装型 接液型 ■工作原理

相对于前端、导管和液体的折射率,空气的折射率的差较 大。因此利用光的折射特性检测液体的有无。
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

E32-D36T

E32-D82F1
■种类 (摘要) 种类 特长 有液体时的入光型 (最适合确认下限) 无液体时的入光型 (最适合确认溢出) 导管直径没有限制,不易受气 泡、水滴的影响 耐热:200℃ 防止液体积存的形状 形状/检测距离 (mm)* 适用导管:φ3.2mm/ φ6.4mm/ φ9.5mm的透明导管,推荐管壁厚 度1mm 适用导管, φ6~13mm的透明导 管、推荐管壁厚度1mm 适用导管:透明导管 (无直径限 制) 接液型 型号 E32-A01 E32-A02 E32-D36T E32-D82F1

导 管 安 装

接 液

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

28

E32系列
玻璃基板定位
◆检测范围内的检测位置分散较小 (±0.1mm以下) ◆各种检测距离和耐热温度的种类 可适用于各种工序 ■特性数据 (E32-A07/A08/L16)

E32-A07
25

t=0.7mm R
X Y

20

15

E32-L16

Y
mm
10

E32-A08
5

0

2.5

3.0

3.5

4.5

5.0

6.0

E32-L16
■种类 (概要) 种类 0~15mm 宽区域检测 限 定 反 射 长距离检测 特长

X mm

形状/检测距离 (mm)* 0~15 10~20 15~25

型号 E32-L16 E32-A08 E32-A07E1 E32-A07E2 E32-L66

耐热:300℃
*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

5~18

玻璃基板映射
◆确切检测较薄的玻璃基板端面 (t=0.5mm/R面) ◆由于采用了大口径透镜,可以应对玻璃基板的倾斜 ■特性数据 (E32-A09)
300 250 200 150 100 50 0 0 10 20 30 40
Xmm

t=0.5mm

/R
Xmm

R

50

60

70

%

100 75 50

t=0.5mm

/R
25mm +

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

E32-A09
25 0 -10

-

E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

-8

-6

-4

-2

0

2

4

6

8

10

■种类 (概要) 种类 限 定 反 射 特长 大口径透镜耐倾斜 耐热:150℃ 耐热:300℃ 15~38 (中心25) 20~30 (中心25) 形状/检测距离 (mm)* 型号 E32-A09 E32-A09H E32-A09H2

*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

29

E32系列
晶圆片映射
◆以极细的光束确切抓住晶圆片 ◆调整光轴后出厂,因此设置简单 ■特长
出厂时将光轴偏移调整 到±0.1oTyp之内。

E32-A03

E32-A03-1

■特性数据
8
180 160

%
140 120 100 80
170mm

60 40 20
2 (t=0.75mm) X

2

1
6.35mm

0 -10

-9

-8

-7

-6

-5

-4

-3 -2 X mm

-1

0

1

2

3

4

■种类 (概要) 种类 特长 开口角:1.5° 890 对 射 型 带缘 开口角:3°、超薄型 340 带缘
*检测距离是使用放大器单元E3X-DA-S (通用型/标准模式)时的值。

形状/检测距离 (mm)*

型号 E32-A03 E32-A03-1 E32-A04 E32-A04-1

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

30

E32系列
种类
对射型
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*2

检测距离(mm)

标准检测物体 (最小检测物体) (mm) *1

弯曲 半径 (mm)

特长

型号

M4螺钉
M4

E32-T11R

φ3圆柱
φ3

E32-T12R

700 530 350(140)

平面形状

E32-T15XR

15×8×3 90(40) M4 R5 φ3

B4 φ1.2

φ1(φ0.005)

M4螺钉 带套管

E32-TC200BR E32-TC200B4R

φ3圆柱 侧视
270 210 130(50)

E32-T14LR

15×8×3

平面形状 侧视 平面形状 平视 M3螺钉 (小型) φ2圆柱 (小型)

E32-T15YR

E32-T15ZR

15×8×3

E32-T21R

M3

R1

E32-T22R

φ2

φ1.5

160 130 75(30)

φ1.5圆柱 (小型) 平面形状 (小型) φ0.5(φ0.005) M3螺钉 (小型) 带套管 φ1圆柱 (小型) 侧视

E32-T222R

E32-T25XR

12×7×2

90(40) M3 R5 φ1 φ0.9

F4

E32-TC200FR E32-TC200F4R

E32

E32-T24R

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

12×7×2

60 50 25(10)

平面形状 (小型) 侧视 平面形状 (小型) 平视

E32-T25YR

E3X-ZA E3X-DRT21-S

E32-T25ZR

12×7×2

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。

31

E32系列
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*2

检测距离(mm)

标准检测物体 弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) (mm) *1

特长

型号

M4螺钉
M4

E32-TC200

φ3圆柱
φ3

E32-T12

1,000 760 500(200)

平面形状

E32-T15X

15×8×3

90(40) M4 R5 φ3

B4 φ1.2

M4螺钉 带套管 φ1(φ0.005) R25 φ3圆柱 侧视
600

E32-TC200B E32-TC200B4

E32-T14L

15×8×3

460 300(120)

平面形状 侧视 平面形状 平视
900

E32-T15Y

E32-T15Z

15×8×3

M3

680 450(180)

E32-TC200A M3螺钉 (小型) E32-TC200E

M3

φ2

φ2圆柱 (小型)
270 220 125(50)

E32-T22

φ1.5

φ1.5圆柱 (小型) 平面形状 (小型) φ0.5(φ0.005) R10 M3螺钉 (小型) 带套管 φ1圆柱 (小型) 侧视

E32-T222

E32-T25X

12×7×2

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

90(40) M3 R5 φ0.9

F4

E32-TC200F E32-TC200F4

φ1

E32-T24

E3X-ZA E3X-DRT21-S
12×7×2

160 130 75(30)

平面形状 (小型) 侧视 平面形状 (小型) 平视

E32-T25Y

E32-T25Z

12×7×2

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。

32

E32系列
标准检测物体 弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) (mm) *1

种类

形状 (mm)*2

检测距离(mm)

特长

型号

M4螺钉
M4

E32-T11

900
φ3

680 450(180)

φ1(φ0.005)

φ3圆柱

E32-T12B

平面形状
15×8×3

E32-T15XB

M3

R4
240 200 110(45)

M3螺钉 (小型) φ2圆柱 (小型)

E32-T21

E32-T221B

φ2

φ0.5(φ0.005) φ1.5圆柱 (小型) E32-T22B

φ1.5

12×7×2

180 150 85(35) 900

平面形状 (小型)

E32-T25XB

M4

680 450(180)
20,000 20,000 10,000 (4,000) 3 3

φ1(φ0.005) R4 φ10
4 4

M4螺钉 氟涂层 内置大型透镜 M14螺钉

E32-T11U

E32-T17L E32-TC200 + E39-F1 E32-T11R + E39-F1 E32-T11 + E39-F1 E32-T14
E32

M14

4,000 4,000 2,600 (1,500)
4,000 3,700 2,400 (970)

R25 M4螺钉

4

M4

4,000 3,600 2,300 (930)
4,000 3,400 2,250 (900) 1,700 1,330 870 (350)

4

φ4(φ0.1)

R1

M4螺钉 柔软光纤 M4螺钉 耐曲折 螺钉安装 侧视

R4
4

R25 φ1.4(φ0.01)

M4

M4螺钉

E32-T11L

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

φ3圆柱

E32-T12L

E3X-ZA E3X-DRT21-S

φ3

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。 *3. 光纤长度单侧为10m,因此总长20,000mm。 *4. 光纤长度单侧为2m,因此总长4,000mm。

33

E32系列
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*2

检测距离(mm)
910 800 500(180) 520 400 250(100) 820 660 430(160)

标准检测物体 (最小检测物体) (mm) *1

弯曲 半径 (mm) R25

特长

型号 E32-T11L + E39-F2 E32-T11R + E39-F2 E32-T11 + E39-F2 E32-T21L

M4螺钉 侧视 M4螺钉 侧视 柔软光纤 M4螺钉 侧视 耐曲折 M3螺钉 (小型)

M4

φ3(φ0.1) R1

R4

M3

540 440 250(100)

φ0.9(φ0.005)

R10 φ2圆柱 (小型) E32-T22L

φ2

φ1 φ3 φ0.5

160 130 75(30) 53 44 25(10) 12 10 6(4) 6 5 3(2) 2,500 1,900 1,250 (500) 1,750 1,300 870 (350) 1,100 840 560(220)
11

φ0.5(φ0.005) R1 φ0.25 (φ0.005) φ0.125 (φ0.005)

φ1圆柱 柔软光纤 φ0.5套管 开口径:φ0.25 φ0.25套管 开口径:φ0.125 φ0.22套管 开口径:φ0.1

E32-T223R

E32-T33-S5

套管部不能弯曲
φ3 φ0.25

R10

E32-T333-S5

套管部不能弯曲
φ3 φ0.22

φ0.1(φ0.005)

E32-T334-S5

套管部不能弯曲

φ1.7(φ0.1) R10 φ2(φ0.1)

φ3圆柱

E32-T22S

φ3

φ3.5

φ3.5圆柱 侧视

E32-T24S

E32-T16PR R1 R10 (φ0.2)*3 E32-T16JR R1 R10 区域宽度: 11mm 侧视 区域宽度: 11mm E32-T16P

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA
11

1,500 1,100 750 (300) 980 750 480(190) 1,300 1,000 650(260)

E3X-DRT21-S

E32-T16J

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。 *3. 检测距离设置为300mm时,检测区域内可检测的值 (检测物体为静止状态) 。

34

E32系列
标准检测物体 (最小检测物体) (mm) *1 弯曲 半径 (mm)

种类

形状 (mm)*2

检测距离(mm)
1,700 1,300 850 (340)

特长

型号

E32-T16WR (φ0.3)*3 R1 R10 区域宽度: 10mm 长距离 R25 多点检测 (4探头) 区域宽度: 30mm E32-T16W

30

2,300 1,800 1,150 (450)

10

3,700 2,800 1,850 (740)

(φ0.6)*4

E32-T16

750
M3

610 350(140) 1,000 760 500(200) 300 230 150(60) 360 280 180(70) 600
M4

φ2(φ0.1)

E32-M21

耐热:150℃ φ1.5(φ0.1) R35 耐热:150℃ 侧视 φ1(φ0.005)

E32-T51

150℃ *5

M4

φ2

E32-T54

M4

R10

耐热:200℃

E32-T81R-S E32-T61-S + E39-F2 E32-T61-S + E39-F1 E32-T84S-S

200℃ *6
M4

450 300(120)
4,000 3,400 2,200 (900) 7

φ3(φ0.1)

耐热:200℃ 侧视 耐热:200℃ 长距离 R25 耐热:200℃ L字形状 长距离 耐热:350℃

φ4(φ0.1)

φ3

1,750 1,300 870 (350)

φ1.7(φ0.1)

350℃ *6

600
M4

450 300(120)

φ1(φ0.005)

E32-T61-S

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。 *3. 检测距离设置为300mm时,检测区域内可检测的值。 (检测物体为静止状态) *4. 检测距离设置在数字显示值1000的状态下,检测区域内可检测的值。 (检测物体为静止状态) *5. 连续使用时,温度请控制在-40~+130℃的范围内。 *6. 耐热温度因场所不同而有所差异,详细情况请通过外形尺寸图确认。 *7. 光纤长度单侧为2m,因此总长4000mm。

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

35

E32系列
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*2

检测距离(mm)
2,500 2,000 1,300 (520)
4,000 3,000 2,000 (800) 5

标准检测物体 (最小检测物体) (mm) *1

弯曲 半径 (mm) R4

特长 特氟龙涂层 球状探头 *6 特氟龙涂层 长距离 *6 特氟龙涂层 侧视 *6 特氟龙涂层 耐热:150℃ *3

型号

E32-T11F

φ7.2

φ4(φ0.1)

E32-T12F

φ5

φ5

500 400 250(100) 1,800 1,400 900 (350) 920 700 460(190)

φ3(φ0.1)

R40

E32-T14F

φ4(φ0.1)

E32-T51F

φ5

φ6

φ1(φ0.005)

R10

特氟龙涂层 耐热:200℃ *4

E32-T81F-S

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。 *3. 连续使用时,温度请控制在-40~+130℃的范围内。 *4. 耐热温度因场所不同而有所差异,详细情况请通过外形尺寸图确认。 *5. 光纤长度单侧为2m,因此总长4000mm。 *6. 特氟龙为杜邦和Du Pont-Mitsui Fluorochemicals (株)的氟化树脂的注册商标。

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

36

E32系列
标准检测物体 弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) (mm) * φ1.2(φ0.01)
1,350 1,000 680(260) 210 130 100(35) 660 500 330(180) 630 480 320(130)

种类

形状 (mm)

检测距离(mm)
260 200 130(50)

特长

型号

M4螺钉 耐热:200℃ M4螺钉 耐热:200℃ 长距离 L字形状 耐热:200℃ L字形状 耐热:200℃ 长距离 R25 L字形状 耐热:200℃ 长距离

E32-T51V 1M E32-T51V 1M + E39-F1V E32-T54V 1M E32-T54V 1M + E39-F1V E32-T84SV 1M

φ4(φ0.1) R30 φ1.2(φ0.01)

φ4(φ0.1)

φ2(φ0.1)

*最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。

法兰
形状 (mm) 种类 型号

透镜单元
形状 (mm) 型号 E39-F1V 数量 2个 备注 <长距离透镜单元> 可用于 E32-T51V、 E32-T54V

4CH法兰

E32-VF4

安装配件
1CH法兰 E32-VF1 形状 (mm) 型号 E39-L54V 数量 2个 备注 可用于E32-T54V

大气侧光纤
形状 (mm)* 种类 放大器法兰 连接光纤
* 是可自由切割的单位。

型号 E32-T10V 2M

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

37

E32系列
反射型
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*3

检测距离(mm)*1

弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) *2 (mm)

特长

型号

M6螺钉
M6

E32-D11R

φ3

300 170 120(50)

φ3圆柱

E32-D12R

平面形状
15×10×3

E32-D15XR E32-DC200BR E32-DC200B4R

套管部不可 M6 弯曲

φ2.5

M6螺钉 带套管
80 45 30(14)

φ6

φ6圆柱 侧视 平面形状 侧视 平面形状 平视 (φ0.005) M4螺钉 (小型) M3螺钉 (小型)

E32-D14LR

15×10×3

E32-D15YR

70 40 26(12)

15×10×3

E32-D15ZR

M4

R1

E32-D211R

E32-D21R

M3

φ3

50 30 20(8)

φ3圆柱 (小型) 平面形状 (小型) M3螺钉 (小型) 带套管

E32-D22R

12×8×3

E32-D25XR E32-DC200FR E32-DC200F4R

套管部不 M3 可弯曲R5

φ1.2

φ2

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA
12×8×2 12×8×2

26 15 10(4)

φ2圆柱 (小型) 侧视 平面形状 (小型) 侧视 平面形状 (小型) 平视

E32-D24R

E32-D25YR

14 8 5(2)

E32-D25ZR

E3X-DRT21-S
*1. 检测距离是使用白画纸时的值。 *2. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *3. 是可自由切割的单元。

38

E32系列
弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) *2 (mm)

种类

形状 (mm)*3

检测距离(mm)*1
500

特长

型号

M6

300 200(90) 400

M6螺钉

E32-DC200

φ3

230 160(70)

φ3圆柱

E32-D12

平面形状
15×10×3

E32-D15X

500
90(40)

B4

300 200(90)

R25
套管部不可弯曲
φ6 M6 φ2.5

M6螺钉 带套管

E32-DC200B E32-DC200B4

200 110 80(36)

φ6圆柱 侧视 平面形状 侧视 平面形状 平视 (φ0.005) M4螺钉 (小型) M3螺钉 (小型)

E32-D14L

15×10×3

E32-D15Y

170 100 65(30)

15×10×3

E32-D15Z

E32-D211

M4

E32-DC200E

M3

φ3

130 80 50(22)

φ3圆柱 (小型) 平面形状 (小型) R10 M3螺钉 (小型) 带套管 φ2圆柱 (小型) 侧视 平面形状 (小型) 侧视 平面形状 (小型) 平视

E32-D22

12×8×2

E32-D25X

F4
套管部不可弯曲R5

90(40) M3 φ2 φ1.2

E32-DC200F E32-DC200F4

50 30 20(8)

E32-D24
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

12×8×2

E32-D25Y

35 20 12(6)

12×8×2

E32-D25Z

E3X-ZA E3X-DRT21-S

*1. 检测距离是使用白画纸时的值。 *2. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *3. 是可自由切割的单元。

39

E32系列
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*3

检测距离(mm)*1

(最小检测物体) (mm) *2

弯曲 半径 (mm)

特长

型号

M6螺钉
M6

E32-D11

300 170 120(50)

平面形状

E32-D15XB

15×10×3

M4

110 70 45(20)

M4螺钉 (小型) φ3圆柱 (小型) M3螺钉 (小型) φ1.5圆柱 (小型) 平面形状 (小型)

E32-D21B

(φ0.005)
φ3

E32-D221B

R4

E32-D21

M3

50 30 20(8)

φ1.5

E32-D22B

12×8×2

85 50 30(15) 300 170 120(50) 40 1,000 40 700 40 450(40 240)

E32-D25XB

(φ0.005) R4

M6

M6螺钉 氟涂层

E32-D11U

—— R4 R25

内置大型透镜 螺钉安装

E32-D16

17.5

650
M6

400 260(110)

M6螺钉

E32-D11L

M4

210 130 80(35)

M4螺钉 R10 (φ0.005) φ3圆柱

E32-D21L

E32-D22L

φ3

E32
套管部不可弯曲

φ3 φ0.8

25 16 10(4) 5 3 2(0.8)

φ0.8套管 R4 φ0.5套管

E32-D33

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA
套管部不可弯曲
φ2 φ0.5

E32-D331

E3X-ZA E3X-DRT21-S

*1. 检测距离是使用白画纸时的值。 *2. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *3. 是可自由切割的单元。

40

E32系列
弯曲 半径 (mm)

种类

形状 (mm)*3

检测距离(mm)*1
250 150 100(45)

(最小检测物体) (mm) *2

特长

型号

E32-CC200R R4 M6螺钉
500

M6

300 200(90) 250 150 100(45)

E32-CC200

φ3圆柱

E32-D32L

φ3

M3

120 75 50(22)

M3螺钉 (小型) φ2圆柱 (小型)

E32-C31

E32-D32 E32-C42 + E39-F3A E32-D32 + E39-F3A E32-C41 + E39-F3A-5 E32-C31 + E39-F3A-5 E32-C41 + E39-F3B E32-C31 + E39-F3B E32-C31 + E39-F3C

φ2

6~15mm、 光点直径φ0.1~0.6mm (φ0.005) 6~15mm、 光点直径φ0.5~1mm 7mm、 光点直径φ0.1mm R25

微小光点 (可变)

微小光点 7mm、 光点直径φ0.5mm 17mm、 光点直径φ0.2mm 17mm、 光点直径φ0.5mm 0~20mm、 光点直径φ4mm以下
250 150 100(45) 10 250 10 250 10 250(10

长距离 微小光点

长距离平行光

φ4光点

(φ0.005) R4 (φ0.1)
250) 150 150 150 (150 1,500 1,500 1,500 1,500)

光束宽:11mm

E32-D36P1

M6 E39-R3

R10

M6螺钉

E32-R21 + E39-R3 (附带) E32-R16 + E39-R1 (附带)

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

(φ0.2)

R25

螺钉安装 长距离

E39-R1

*1. 检测距离是使用白画纸时的值。 *2. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *3. 是可自由切割的单元。

41

E32系列
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*3

检测距离(mm)*1

(最小检测物体) (mm) *2

弯曲 半径 (mm)

特长 微小段差 高功能 侧视 微小段差 高功能 俯视 超小型 平视

型号

E32-L25

3.3 3.3 3.3(3.3)

R25

E32-L25A

0 4 0 4 0 4(0 2 6 2 6 2 6(2

E32-L24S

4) 4 4 6) 7.2 7.2 9) 4

(φ0.005)

R10

耐热:105℃*4 平视 耐热:105℃*4 俯视 耐热:200℃ 平视

E32-L24L

5.4 9 5.4 9 5.4 9(5.4 4 10 4 10 4 10(4 0 15 0 15 0 12(0

E32-L25L

7.2

E32-L86

10)

R25
12) 400
M6

宽区域检测 平视

E32-L16

150℃ *5 200℃ *6 350℃ *6 400℃ *6

230 160(72)

R35

耐热:150℃

E32-D51

M6

R10
150 90 60(27)

耐热:200℃

E32-D81R-S E32-D81R E32-D61-S E32-D61 E32-D73-S E32-D73

(φ0.005) 耐热:350℃ R25

M6

套管部弯 M4 曲R10

φ1.25

100 60 40(18) 160 95 65(30)

耐热:400℃ 带套管 特氟龙包装 长距离 *7 (φ0.005) R40 特氟龙包装 侧视 *7

E32-D12F

φ6

φ6

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

70 40 30(10)

E32-D14F

*1. 检测距离是使用白画纸时的值。 *2. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *3. 是可自由切割的单元。 *4. 连续使用时,请将温度控制在-40~+90℃的范围内。 *5. 连续使用时,请将温度控制在-40~+130℃的范围内。 *6. 耐热温度因场所不同而有所差异,详细情况请通过外形尺寸图确认。 *7. 特氟龙为杜邦和Du Pont-Mitsui Fluorochemicals (株)的氟化树脂的注册商标。

42

E32系列
特殊用途
种类 形状 (mm)*2
10 10 10(10)
4,500 3,400 2,250 (900)

检测距离(mm)

标准检测物体 弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) (mm) *1

特长

型号

凹槽型 (无需调整光轴) φ4(φ0.1) R25 螺钉安装 侧视

E32-G14

E32-T14

适用导管:φ8~10mm的透明导管 推荐管壁厚度1mm

R10

小型

E32-L25T

适用导管:透明导管 (直径无限制)

导管直径无限制, 不易受气泡?水 滴的影响 R4 有液体时入光, 不易受气泡?水 滴的影响 有液体时入光, 不易受气泡?水 滴的影响

E32-D36T

适用导管:φ3.2mm/ φ6.4mm/φ 9.5mm 的透明导管、推荐管壁厚度1mm 适用导管: φ6~13mm的透明导管 推荐管壁厚度1mm

E32-A01

E32-A02

接液型

R40

耐热200℃ 特氟龙包装 *5

E32-D82F1 E32-D82F2

0 15 0 15 0 12(0 10 20 10 20 10 20 15 25 15 25 10 20 5 18 5 18 5 15(5

E32-L16
12)

R25 反射率7% 苏打玻璃

检测范围内的检 测位置分散低于 0.2mm

E32-A08 E32-A07E1 E32-A07E2

R25
15)

耐热300℃ *4、*6 抗倾斜

E32-L66

R25
15 38 15 38 15 38 25 25 25

E32-A09

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

反射率7% 苏打玻璃 端面 (t=0.5mm /R面)

R35

耐热150℃ *3

E32-A09H

E3X-NA E3X-ZA

20 30 20 30 20 30

25 25 25

R25

耐热300℃ *4、*6

E32-A09H2

E3X-DRT21-S

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。 *3. 连续使用时,请将温度控制在-40~+130℃的范围内。 *4. 耐热温度因场所不同而有所差异,详细情况请通过外形尺寸图确认。 *5. 特氟龙为杜邦和Du Pont-Mitsui Fluorochemicals (株)的氟化树脂的注册商标。 *6. 请勿重复急剧的温度变化。

43

E32系列
E3X-DA-S

种类

形状 (mm)*2
φ3

检测距离(mm)

标准检测物体 弯曲 (最小检测物体) 半径 (mm) (mm) *1

特长

型号

φ3

1,150 890 600(250)

R1 φ2(φ0.1)

开口角1.5° 调整光轴后出厂 开口角1.5° 带安装缘 调整光轴后出厂 长距离 开口角6°

E32-A03

E32-A03-1

φ3.5

1,750 1,300 870 (350)

E32-T24S

R10
φ2

φ2

460 340 225(100)

φ1.2(φ0.1)

超薄型(t=2mm) 开口角3° 调整光轴后出厂 超薄型(t=2mm) 开口角3° 调整光轴后出厂

E32-A04

E32-A04-1

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 是可自由切割的单元。

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

44

E32系列
附件
透镜单元
检测距离(mm) 种类 形状 适用光纤 高精度 模式 *2 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 4,000 *2 4,000 2,650 *2 4,000 910 840 520 820 820 360 600 标准 模式 3,200 *2 4,000 3,700 3,600 3,600 2,100 3,400 800 700 400 660 660 280 450 高速 模式 2,100 2,600 2,400 2,300 2,300 1,300 2,200 500 450 250 430 430 180 300 标准检测物体 超高速 (最小检测物体) (mm) *1 模式 840 1,500 970 930 930 520 900 180 160 100 160 160 70 120 φ3(φ0.1) 侧视 省空间 (耐热200℃) φ4(φ0.1) 长距离检测 开口角5~40° (耐热200℃) E39-F1 特长
E3X-DA-S

型号

E32-T11L E32-TC200 E32-T11R E32-T11 E32-T11U E32-T81R-S E32-T61-S E32-T11L E32-TC200 E32-T11R E32-T11 E32-T11U E32-T81R-S E32-T61-S E32-T11L E32-TC200 E32-T11R E32-T11 E32-T11U E32-T81R-S E32-T61-S E32-C42 E32-D32 E32-C41 E32-C31 E32-C41 E32-C31 E32-C31 E32-C41

E39-F2

——

——

长距离反射 (耐热200℃)

E39-F3

6~15mm,光点直径在φ0.1~0.6mm之间可变 6~15mm,光点直径在φ0.5~1mm之间可变 7mm,光点直径为φ0.1mm 7mm,光点直径为φ0.5mm 17mm,光点直径为φ0.2mm 17mm,光点直径为φ0.5mm 0~20mm,光点直径小于φ4mm

微小光点 (可变) 微小光点 长距离 微小光点

E39-F3A

E39-F3A-5

E39-F3B
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

长距离平行光

E39-F3C

*1. 最小检测物体是在标准模式下将检测距离和灵敏度设定到最佳状态下得到的值 (代表例) 。 *2. 光纤长度单侧为2m,因此总长4000mm。

45

E32系列
防护螺线管
形状 用途 M3螺钉型 E32-D21□ E32-DC200E E32-DC200F□ E32-C31 M3螺钉型 E32-T21□ (E32-T21R除外) E32-TC200E E32-TC200F□ M4螺钉型 E32-T11□ E32-TC200 E32-TC200B□ E32-T51 M6螺钉型 E32-D11□ E32-DC200 E32-DC200B E32-CC200□ E32-D51
※为保护探头部和光纤部,防护螺线管带有保护套,使用时请取下保护套。

适用光纤

管长 500mm 1m 500mm 1m 500mm 1m 500mm

型号 E39-F32A5 E39-F32A E39-F32B5 E39-F32B E39-F32C5 E39-F32C E39-F32D5

用于保护光纤

1m

E39-F32D

其他
形状 用途 名称 适用光纤 备注 型号

用于切割光纤

光纤切割器

可自由切割的光纤单元

附属于适用光纤上

E39-F4

放大器插入时细径光 纤用的附件

细径光纤使用 配件

可自由切割的外被φ1.0的光纤单 元

?2个1组 E39-F9 ?附属于适用光纤上

光纤接缝不足时使用

可自由切割的外被φ2.2的光纤单 元 光纤接插件

——

E39-F10

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

方便的单触式中转接 插件

可自由切割的光纤单元

E39-F13 外被φ2.2适用 E39-F14 外被φ1.0适用 E39-F15 外被φ2.2→φ1.0适用

E39-F13 E39-F14 E39-F15

在套管弯曲加工时使 用

套管弯曲器

E32-TC200B(4) E32-TC200F(4) E32-DC200F(4)

——

E39-F11

46

E32系列
额定值/性能
光纤单元
种类 项目 E32-T1□R E32-D1□R 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围*1 光纤材料 保护构造 种类 项目 其他 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造 种类 项目 其他 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造 种类 项目 其他 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造 -40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (聚乙烯包层) IEC规格 IP50 (E32-L24S /ES32-L16 /E32-L86为IP40) 玻璃 (SUS螺线管包层) -40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (聚乙烯包层) 塑料 聚乙烯包层) 塑料 (聚氯乙稀包层) 塑料 (聚乙烯包层) IEC规格 IP67 特殊光束型 限定反射 E32-L25L E32-L24L -40~+105℃ *2 E32-L86 -40~+200℃ *3
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

标准型 柔软 E32-T2□R E32-D2□R 标准 耐曲折 氟涂层

-40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (聚氯乙稀包层) IEC规格 IP67 特殊光束型 长距离/高功能 超小型/极细套管 E32-D16 -40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (聚乙烯包层) IEC规格 IP67 塑料 (聚乙烯包层) IEC规格 IP40 塑料 (聚氯乙稀、聚乙烯和多烯的复合材料包 层) IEC规格 IP67 特殊光束型 区域检测 E32-D36P1 E32-T16 E32-T16W(R) -25~+55℃ E32-R21 -40~+70℃ 回归反射 E32-R16 -25~+55℃ 塑料 (聚氯乙稀包层) 同轴/小光点 细径光束 (狭视野) 塑料 (聚乙烯包层) 塑料 (聚氯乙稀包层) 塑料 (氟素树脂包层)

IEC规格 IP50 (E32-T16为IP67)

IEC规格 IP66

*1. 即使在使用环境温度和湿度内,也不结冰、结露。 *2. 连续使用时,请将温度控制在-40~+90℃的范围内。 *3. 耐热温度因场所不同而有所差异,详细情况请通过外形尺寸图确认。

47

E32系列
光纤单元
种类 项目 E32-T5□ E32-D5□ 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造 种类 项目 其他 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造 种类 项目 标签检测 其他 使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造 其他 种类 项目 其他
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

耐环境型 耐热 E32-T8□R-S E32-D8□R-S -40~+200℃*3 E32-T84S-S E32-T6□-S E32-D6□-S -60~+350℃ *3 E32-D73-S -40~+400℃ *3

-40~+150℃ *4 35~85%RH 塑料 (氟素树脂包层) IEC规格 IP67

塑料 (氟素树脂包层)

玻璃 (SUS螺线管包层)

耐环境型 耐药品 E32-T51F -40~+150℃ *4 E32-T81F-S -40~+200℃ *3 其他 -25~+120℃ 耐真空 E32-T84SV -25~+200℃

-40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (特氟龙包装)*5 IEC规格 IP67

玻璃 (特氟龙包装)*5

玻璃 (氟素树脂包层)

玻璃 (SUS螺线管包层) ——

特殊应用型 液位检测 E32-A01 E32-A02 晶圆片映射 E32-D82F -40~+200℃ *3 -40~+70℃

-40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (用聚乙烯包裹) IEC规格 IP67 IEC规格 IP50 反复精度:1mm以下 特殊应用型 玻璃基板定位 E32-L66 0~+300℃*3、*6 E32-A09 -40~+70℃ 塑料 (氟素树脂包层)

特氟龙包装 *5 IEC规格 IP68 重复精度: 0.5mm以下

塑料 (聚乙烯包层) IEC规格 IP50

玻璃基板映射 E32-A09H -40~+150℃ *4 E32-A09H2 -40~+300℃ *3

使用环境温度范围 *1 使用环境湿度范围 *1 光纤材料 保护构造

-40~+70℃ 35~85%RH 塑料 (聚乙烯包层) IEC规格 IP40

玻璃 (SUS螺线管包层)

塑料 (聚乙烯包层)

塑料 (氟素树脂包层)

玻璃 (SUS螺线管包层)

*1. 即使在使用环境温度和湿度内,也不结冰、结露。 *2. 连续使用时,请将温度控制在-40~+90℃的范围内。 *3. 耐热温度因场所不同而有所差异,详细情况请通过外形尺寸图确认。 *4. 连续使用时,请将湿度控制在-40~+130℃的范围内。 *5. 特氟龙为杜邦和Du Pont-Mitsui Fluorochemicals (株)的氟化树脂的注册商标 *6. 请勿重复急剧的温度变化。

48

E32系列
外形尺寸
对射型
标准/柔软 E32-TC200 E32-T11R
φ1 M2.6 0.45

(单位:mm)

是可自由切割的单元。 E32-TC200E
22M4 0.7 φ2.2 22φ0.5 M3 0.5 φ1 10 25

3.2 7

3 14

2.4 2,000

2.5 5.5

1.8 11 2,000

E39-F9

CAD

CAD

E32-TC200A E32-T21R
φ1 1

22M3 0.5 2 φ2.2

E32-T22 E32-T22R
φ0.5 φ2 φ1.4 φ1 10

25

1.8 5.5 9.5 13.5

φ3 2,000 1. E32-T21R 2. φ0.5

17 22

12 2,000

E39-F9 (SUS303)

CAD

CAD

E32-T12 E32-T12R
φ1 φ2.4 φ3 φ2.2

E32-T222 E32-T222R
25 φ0.5 φ1 10

3

11 (14) 2,000

φ1.5 10 2,000

E39-F9

CAD

CAD

E32-T15X E32-T15XR
15
φ1

E32-T25X E32-T25XR
2,000
φ2.2 φ0.5 2

12

2,000
φ1

3

25

8 1.5

2.5 7.5 5

7 1

2.5 5 4.5
E39-F9

2-φ2.2 2-φ4.4

2-φ2.2 2-φ4.4

CAD

CAD

E32-TC200B(B4) E32-TC200BR(B4R)
22φ1 φ1.2 (SUS304) M4 0.7 2 φ2.2

E32-TC200F(F4) E32-TC200FR(F4R)
φ0.5 φ0.9 (SUS304) 22M3 0.5 2 φ1 10 25

E32
3.2 7 90 (40) 11 1 1. 2. 2.4 2,000 B4 2.5 5.5 90 (40) 1.8 11 1 2,000 1. 2. 4 E39-F9

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

CAD

CAD

E32-T14L E32-T14LR
45° 2.8 φ3 1.5 1

φ3

φ2.2

E32-T24 E32-T24R
φ1 45° φ2 φ1.4 φ1 10 25

E3X-ZA
E39-F9

E3X-DRT21-S

1.5 30 35 12 2,000 1 0.5 1.5 15 35 (SUS304) 15 12 2,000 (SUS304)

CAD

CAD

49

E32系列
E32-T15Y E32-T15YR
4 2 3 12 15 1.5 8 2.5 7.5 5
φ2.2

E32-T25Y E32-T25YR
3

2,000
φ1

2,000 1 7 2.5 5 4.5

25

E39-F9

2-φ2.2 2-φ4.4

CAD

2-φ2.2 2-φ4.4

CAD

E32-T15Z E32-T15ZR
15 3 8 2.5 7.5 5
φ2.2

E32-T25Z E32-T25ZR
2,000 2 7 2.5 2-φ2.2 2-φ4.4 5 4.5 E39-F9 1 3 12 2,000
φ1

1.5 4

25

2-φ2.2 2-φ4.4

CAD

CAD

耐曲折/涂层 E32-T11 E32-T11U
M4 0.7 16-φ0.265 M2.6 0.45

E32-T21
22φ2.2 M3 4-φ0.25 0.5 2225 φ1 10

3.2 7

3.3

2.4 (14)

15 2,000

2.5 5.5

1.8 11

15 2,000

E39-F9

CAD

CAD

E32-T12B
16-φ0.265 φ2.4 φ3 φ2.2

E32-T221B
25 4-φ0.25 φ2 φ1.4 φ1 10

3

11 (14) 2,000

17 22

12 2,000

E39-F9 SUS303

CAD

CAD

E32-T22B
25 4-φ0.25 φ1 10

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

φ1.5 10 2,000

E39-F9

CAD

E32-T15XB
16-φ0.265 3 8 1.5 15 2,000
φ2.2

E32-T25XB
4-φ0.25 2 12 2,000
φ1

25

2.5 7.5 5

7 1

2.5 5 4.5 E39-F9

2-φ2.2 2-φ4.4

2-φ2.2 2-φ4.4

CAD

CAD

50

E32系列
长距离/高功能 E32-T17L
(PMMA) M14 φ10 1 2-

是可自由切割的单元。 E32-T14
φ4.4 φ2.2 8 R3.5 7.6 (PMMA) 8.2 ABS

2-φ3.2 8 7

φ2.2

19

5 23 42 10,000 ABS

10.5

2.5 9.2

10±0.2 16 11.2 2,000

CAD

CAD

E32-T11L
22φ1.4 M2.6 0.45 M4 0.7 φ2.2

E32-T12L
φ1.4 φ2.4 φ3 φ2.2

3 3.2 7 3 11 (14) 2,000

11 (14) 2,000

CAD

CAD

E32-T21L
φ0.9 22M3 0.5 φ1 10 25

E32-T22L
φ2 φ0.9 φ1.8 φ1 10 25

2.5 5.5

(1.7) 11

1.8 2,000

E39-F9

(2) 17 22 12 2,000 E39-F9

CAD

CAD

超小型/细径套管 E32-T223R
10 2,000 25
φ0.5 φ1

E32-T33-S5
20 (0.5)
φ0.25 φ0.5 E39-F9

1,000 25 12
φ1

5

10

10

φ1

φ3 E39-F9

CAD

CAD

E32-T333-S5
20
φ0.125 φ0.25

E32-T334-S5
1,000 25 12
φ1

20 10
φ0.1 φ0.22 E39-F9

1,000 25 12
φ1

5

10

5

10

10

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA
E39-F9

φ3

φ3

E3X-NA E3X-ZA

注. 因为接装着光纤附件,所以无法将其取出。

注. 因为接装着光纤附件,所以无法将其取出。

CAD

CAD
E3X-DRT21-S

51

E32系列
细径光束 (狭视野) E32-T22S
φ1.7 φ3 15 2,000 3 3.2 10 20.5 2,000 φ2 23 18 (3 18.5 30) 12 φ2.2 17.6 φ3.5 11 3.2

E32-T24S
0.4 1.8 φ2.2

CAD

区域检测 E32-T16W E32-T16WR

5

2

CAD

E32-M21
M3 0.35 2 221 4-φ1 2. SUS303 1. 1 1

45

65

69

13 28

2-φ3.2 φ6 φ2.2 2,000

1.8 11 2,000 23

CAD
ABS

CAD

E32-T16P E32-T16PR

E32-T16J E32-T16JR
(2 11)

E32-T16

2-φ3.2 14.5 10.7 φ6 4 14.5 10.7 2 3.3 (2 11) 4

15.5 8.85

3 1

8.4

19

27 20 (2 11) (PMMA)

19 20 4 2-φ3.2 φ6

27

27

25

20

4

φ6

(2 10) (PMMA)

2,000
2,000 φ2.2 2,000

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

φ2.2 1 2 ABS 0.5mm/1mm 2 ABS PMMA

φ2.2 1 2 ABS 0.5mm/1mm 2

CAD

CAD

CAD

52

E32系列
耐热 E32-T51
φ1.5 22M4 0.7 φ2.2 φ2 7 φ2.85 1 45° 2.4 15 17 2,000 1.7 25 45 20 2,000 SUS303 1 2.5

是可自由切割的光纤单元。 E32-T54
φ3 φ2.2

注. 耐热温度为150℃。但是连续使用时为130℃。

CAD

注. 耐热温度为150℃。但是连续使用时为130℃。

CAD

E32-T81R-S
M2.6 0.45

22M4 0.7 1

φ3.6

φ2

φ4

φ2.2 1. SUS303

φ0.7

(75) 7 3 2.4 20 φ4 10 A 2,000

5 25 B

13

2

注. 耐热温度A部为200℃, B部为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请 在放大器的使用温度范围内使用。

CAD

E32-T84S-S
A (14.2) 12 2,000 B 5 25 13 2

E32-T61-S
φ1 22M2.6 0.45 M4 0.7 1 φ2.8 φ4 φ2.2

R5 max.30 6 φ3.5

φ3 90°

φ4

φ2.9

φ4

φ2.2 7 3 20 2.4

φ4 10

3 2,000 A 1. 3.

5 25 B 10m

13

2

1.

SUS303

12

SUS303 φ6

1 φ3

注. 耐热温度A部为200℃, B部为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请 在放大器的使用温度范围内使用。

φ2

注. 耐热温度A部为200℃, B部为110℃。 但是本体插入部(*2表示的部分)请 在放大器的使用温度范围内使用。

CAD

CAD

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

53

E32系列
耐药品 E32-T11F
φ3.7 1 1 φ2.2 2 φ4 φ5 φ4 φ2.2

E32-T12F

10

φ7.2 19.8 (35) 10 2,000 1. 2. PFA 20 2,000 100

(10

.7)

R3.6

3

CAD

CAD

E32-T14F
φ5 φ4 φ2.2

E32-T51F
2,000 (20)
φ3.7

100

4.5 (21) 2,000 100 φ5

φ2.2

CAD

CAD

E32-T81F-S
φ6 (R6) PFA φ2 PFA φ4 φ2.2

φ3.7

(0.8) 30 A

(70) 2,000 5 25 B

13

2

注. 耐热温度A部为200℃, B部为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器 的使用温度范围内使用。

CAD

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

54

E32系列
耐真空 E32-T51V
M4 φ1.15 M2.6 0.7 22φ4 φ3 0.45 φ4 φ2.2

E32-T54V
φ1.15 4

8

3 20 (30) 1,000 26

M2.6 3 4.5 18

0.45 12 φ3 R9 4 φ5 φ4 φ3 φ4 φ2.2 (15) 1,000

(3)

26 SUS304

CAD

CAD

E32-T84SV
φ2

E39-F1V

φ3 (14.2) 12 1,000 8.9 φ3.5 R5 90° φ4 φ4 φ4 φ2.9 φ2.2 6

12 max.30 6

φ3

26 SUS304

CAD

CAD

E32-VF4
φ36 24 49 8

4-φ10

80 φ70 φ44 45°

E32-VF1
(96) (63) 22 5 10 (23) 22 30 19 φ20

80 6 (33.53)

O

V40

φ90

11-

注1. 请将O型环V15安装在接近大气侧的真空槽壁面。 2. 安装孔加工尺寸:φ14.5±0.2mm

M14 2 O

2V15

CAD

注1. 请将O型环V15安装在接近大气侧的真空槽壁面。 2. 安装孔加工尺寸:φ14.5±0.2mm

CAD

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

55

E32系列
反射型
标准/柔软 E32-DC200 E32-D11R
2-φ1 φ4 22M6 0.75 2-φ2.2

是可自由切割的光纤单元。 E32-D211 E32-D211R
2-φ0.5 22M4 0.7 2-φ1 10 25

4.8 10

3 17

2.4 2,000 ADC

3.2 7

3 15

2.4

22,000

E39-F9 SUS303

CAD

CAD

E32-DC200E E32-D21R
2-φ0.5

22M3 0.5 2-φ1

25 10

2.5 5.5 11

1.8

22,000

E39-F9 SUS304

CAD

E32-D12 E32-D12R
2,000 φ3 2-φ1 15 135

E32-D22 E32-D22R
2-φ0.5 φ2.7 φ3 10 2-φ1

25

3 2-φ2.2 SUS304 15

22,000

E39-F9

CAD

CAD

E32-D15X E32-D15XR
15 2-φ1 3 2,000 2φ2.2

E32-D25X E32-D25XR
12 22 2.5 2E39-F9 2,000
φ1

25

10 2.5

2.5 2-φ2.2 7.5 5

8 1.5 2-φ0.5

2-φ4.4

CAD

2-φ4.4

2-φ2.2

5 4.5

CAD

E32-DC200B(B4) E32-DC200BR(B4R)
2-φ1 φ2.5 (SUS304)

22M6 0.75 2 2-φ2.2

E32-DC200F(F4) E32-DC200FR(F4R)
2-φ0.5 φ1.2 (SUS304)

22M3 0.5 2 2-φ1 10

25

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S
5.2 10 2.4 90 (40) 17 1 1. 2. 2,000 B4 2.5 5.5 90 (40) 11 1 1.8 22,000 1. 2. F4 SUS304 E39-F9

CAD

CAD

E32-D14L E32-D14LR
45° 5.7 φ6 1 1.5 2 30 35 12 2,000

2-φ2.2

E32-D24 E32-D24R
45°

φ2 φ3

25 2-φ1 10

1 0.5

1.5 15 35 15 12

22,000

E39-F9

SUS304

CAD

SUS304

CAD

56

E32系列
E32-D15Y E32-D15YR
3 2 15 2.5 10 2.5 2-φ2.2 2-φ4.4 7.5 5 2φ2.2

2.8

2.4

E32-D25Y E32-D25YR
2.3 1.4

2,000 12 2-φ4.4 2-φ2.2 1.5 8 2.5 5 4.5 2E39-F9 22,000
φ1

25

CAD

CAD

E32-D15Z E32-D15ZR
15 2,000 23 2.2 1.4 10 2.5 2-φ4.4 2-φ2.2 7.5 5 4
φ2.2

E32-D25Z E32-D25ZR
12 22 1.2 0.9 8 2.5 3 2E39-F9 2,000
φ1

25

CAD

2-φ4.4

2-φ2.2

5 4.5

CAD

耐曲折/涂层 E32-D11 E32-D11U
2-16-φ0.265 M6 0.75

222-φ2.2

5.2 10

2.4 17

15 2,000

CAD

E32-D21B
22-4-φ0.25 2M4 0.7 2-φ1 10 25

E32-D21
4-φ0.25 M3 0.5 222-φ1 25 10

3.2 7

3 15

2.4

22,000

E39-F9 SUS303

2.5 5.5

1.8 11

15

22,000

E39-F9

CAD

CAD

E32-D221B
25 2-4-φ0.25 φ2.7 φ3 2-φ1 10

E32-D22B
25 4-φ0.25 1 φ1 ABS φ3 10

E32
φ1.5 3 15 22,000 E39-F9 15 2,000 1. 15 100 SUS304

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

CAD

CAD

E3X-ZA E3X-DRT21-S

E32-D15XB
15 2-16-φ0.265 3 2,000 2φ2.2

E32-D25XB
12 22 22.5

2,000
φ1

25

10 2.5

2.5 2-φ2.2 7.5 5

8 1.5 2.4-φ0.25 2-φ4.4

E39-F9

2-φ4.4

2-φ2.2

5 4.5

CAD

CAD

57

E32系列
长距离/高功能 E32-D16
22 2φ5.8 9 11 6.5 2,000

是可自由切割的光纤单元。 E32-D11L
222-φ1.4 φ4 M6 0.75 2-φ2.2

8.5

17.5

2-φ2.2 2-φ3.2 φ6

5.2 10

3 20

2.4 2,000

CAD

CAD

E32-D21L
22-φ0.9 2M4 0.7 2-φ1 10 25

E32-D22L
25 2-φ0.9 φ2.7 φ3 2-φ1 10

3.2 7

3 15

2.4

22,000

E39-F9

3 15

22,000

E39-F9

CAD

CAD

超小型/细径套管 E32-D33
25 φ0.8 2-φ0.25 10 φ3 2-φ1
2-φ0.125

E32-D331
φ0.5 φ2 1 φ1.2 φ3.5 10 25

15 35

15

12

22,000

E39-F9 SUS303

15 15 15 2,000 1. . 100 SUS303

CAD

CAD

同轴/小光点 E32-CC200 E32-CC200R
216-φ0.25 φ1 φ2.5 2M6 0.75 2-φ2.2

E32-D32L
2,000 φ1 15 400 15 1,570

φ3 16-φ0.265
5.2 10 3 2.4 23 2,000

2-φ2.2 φ6 ABS SUS304

注. 插入投光器侧的光纤上标有白线。

CAD

注. 插入投光器侧的光纤上标有黄色点线。

CAD

E32-C31
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S
2.5 φ0.5 22M3 0.5 2-φ1 25 10

E32-D32
25 φ2 φ0.5 φ3 2-φ1 10

15 20 4-φ0.25 25 12 22,000 E39-F9 4-φ0.25 22

2

12

22,000

E39-F9 SUS303

注1. 插入投光器侧的光纤上标有白线。 2. 检测探头的谷径为2.44~2..49 。

CAD

注. 插入投光器侧的光纤上标有白线。

CAD
2-

E32-C41
1 φ0.175 22φ2.6 ABS φ3.5 2-φ1.2

E32-C42
1 φ0.175 φ2 φ3 φ2.6 ABS 2-φ1.2

6

φ0.175 1.8 17 M3 0.5 22 15 (100) 1,000 SUS303 (5) 10 25

6

φ0.175 15 22 2

15 (100) 1,000

(5)

10 25 SUS303

注. 由于接装着光纤配件,所以无法将其取出。

注. 由于接装着光纤配件,所以无法将其取出。

CAD

CAD

58

E32系列
区域检测 E32-D36P1
25 5 10 2-φ2.2 15 2,000

2-φ3.2 2 10.85 32 φ0.265

5

CAD

回归反射 E32-R21 (E39-R3反射板附带1个)
2(PMMA) 22M6 φ5 2.2 10 2.8 3 11 17.8 27.8 14 2,000 ABS
2-φ2.2 2m (PMMA) 2-M3 1. ABS 21.5 15.2 8

E32-R16 (E39-R1反射板附带1个)
27 15

25 0.75 10 2-φ1
10 7.2 (6) 16 4 1 7

CAD

CAD

限定反射 E32-L24S
φ2-3.2 φ6 3.5 11 2 2.5 2 2.5 1 ABS
3.8 1.7

E32-L16
4.5

22.5 11 4

2,000

2-φ2.2

3.5

14 7

2,000 25 2-φ1 φ3.6 φ2.2 2E39-F9
0.75 2-φ3.2 17.5 9
12.3

φ6

CAD

ABS

CAD

E32-L24L
4 3.6 3.3 3.3 20 6.5 2-φ3.2 1.5 4 6 2-φ1 10 18 PC 225 E39-F9

E32-L25L
2-φ3.2 4 6 16 6.5 2-φ1 10 18 225 E39-F9

E32
2-φ3.2 φ6

2,000

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

2-φ3.2 φ6

2,000

CAD

CAD

E3X-ZA E3X-DRT21-S

E32-L25
5 6.5 20 6.5 4.8 2-φ2.2 20 10 4

E32-L25A
5 4

20 10 4.8 6.5 6.5

20

2-φ3.2 φ6

2-φ3.2

φ6

2,000 ABS

2,000

注. 插入投光器侧的光纤上 标有白线。

注. 插入投光器侧的光纤上标有白线。

CAD

2-φ2.2 ABS

CAD

59

E32系列
是可自由切割的光纤单元。 E32-L86
33.5 19 11 7 A 2,000 5 B 25 13

注. 耐热温度A部为200℃, B部为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器 的使用温度范围内使用。

φ2-4 8.9 18

27

2-φ3.2 φ6

φ4

5.5

φ2.8

CAD

耐热 E32-D51
2-φ1.5 22 M6 0.75 2-φ2.2

4.9

3.1 10 3

2.4 13 17 2,000

注. 耐热温度为150℃。 使用时为130℃。

CAD
<E32-D81R-S的场合>
2 2-

E32-D81R-S E32-D81R
φ1.2

<E32-D81R的场合>
SUS303 φ2.2

(SUS) (SUS) M6 0.75 1 SUS (φ4.2)
φ5

注. 耐热温度A部为200℃, B部为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器 的使用温度范围内使用。

M4

0.7

φ2.2 4.5 8.5

φ5

8 15 3 5 6.5 16.5 13 B 1. 2 6.4 SUS303

3

2 20 5 (70) A 2,000
5

11.5 15 10 B

2

5

CAD
注. 耐热温度A部为350℃, B部为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器 的使用温度范围内使用。

E32-D61-S E32-D61
φ1.4 M4 0.7

22-

<E32-D61-S的场合>
SUS M6 0.75 1 φ5 3 φ3.5 φ5 φ2.2 4.5 8.5 φ5

<E32-D61的场合>
SUS316L

8 15 6.5 5 16.5 B 2 13

10

3

2 2.4 20

3 5 4 2,000 A

5

11.5 10 15 B

2

5

6.4

1. 3. 4.

10m 10m

SUS303 φ φ10

CAD
注. 耐热温度A部为400℃, B部为300℃, C部 (本 体插入部)为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器 的使用温度范围内使用。
8 15

E32-D73-S E32-D73
φ1 φ1.25 φ1.65 φ2.5

<E32-D73-S的场合>
22M4 0.7 φ4 1 SUS φ2.8 φ5

<E32-D73的场合>

SUS316L φ2.2 4.5 8.5 φ5

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S
7 5 60 A 5 20 2.4 10 2,000 B 5 11.5 15 C 10 2 5

5

6.5 16.5 C

2 13

6.4

1.

SUS303

CAD

耐药品 E32-D12F
φ6 φ5 2-φ2.2

E32-D14F
2,000 (26) 4.5 100

16 2,000 100

φ7

φ2.2

CAD

CAD

60

E32系列
特殊应用
标签检测 E32-G14
36.3 25.2 20 9.2 R1.6 R1.6 2,000

R3.5 24 (PMMA) 10 3.2 9

液位检测 E32-D36T
R10 15 23.45 11.4 2,000 (100)

23.5 8.4 8 7.6

9.4

4 2 5 5 20.4 13.25

4

1.6

1.6

2-φ2.2

8-R0.5

2φ2.2 φ16-0.265

ABS

5

φ32-0.265

CAD

4.4

φ16-0.265

CAD

E32-L25T

2.8 1.2

2-φ3.2(PC) 225 10 2-φ1 E39-F9

16

(13) 15.2

4

6 PC

6 18 2,000

CAD

E32-A01

E32-A02

14.5 4.5 3.3 1.7 7 2 11 20 4.2 27 5,000 2 11 3 4.5 12 27 5,000

19.9

ABS PMMA PBT

21 5

ABS PMMA PBT

CAD

CAD
φ9 φ8 2-φ2.2 2

E32-D82F1 E32-D82F2

φ6

27 7.2 150(350) 1 1. 2. 2,000 E32-D82F2 2m 42 2,000

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA

CAD

E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

61

E32系列
玻璃基板定位/映射 E32-A08 E32-A07E1 (E2)
3.8 24.5 10.7 6.5 2,000 φ2.2

是可自由切割的光纤单元。 E32-L66
21.7 1 7 11 A 2,000 5 13 2 B 25

14

12 1.1 4-φ6 2-φ3.2 φ2.2

18

φ2.2

φ6 5

2-φ3.2 1 1.

φ4

SUS303

5.5 36 2-φ2.8

CAD

注. 耐热温度A部为300℃, B部 (本体插入部)为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器的使用温度范围内 使用。 CAD

E32-A09 E32-A09H
9 23 2,000

E32-A09H2
9 30 12 7

A 2,000 5 2-φ3.2 4-φ6
φ2.8

B 28 13

2

8.9 20
φ5.8

2-φ2.2

8.9 24 1

φ2.2

12

7

2-φ3.2 φ6

φ5.8

φ5 φ4

1.

CAD

注. 耐热温度A部为300℃, B部 (本体插入部)为110℃。 但是本体插入部 (*2表示的部分)请在放大器的使用温度范围内 使用。 CAD

晶圆片映射 E32-A03
0.4 2-R1.6 20.5 1.8 3.2 4.3 17.6 11 φ3 E39-F9 3.4 R1.6 2 3.2 10 E39-L83(SUS) φ1 2,000 25

E32-A03-1
24.5 φ3
10

18.5

2,000 φ1

25 10

4.5 3

10

3.5 6.5 3 12.5 13 φ2

φ1 2-φ3.4 E39-F9

φ2

注. 请将刻印面的反面作为安装面 (基准面)使用。

注. 请将刻印面的反面作为安装面 (基准面)使用。

CAD

CAD

E32-A04
E32
4-R1.35 4 φ2 2 2 2 φ2 φ1.2 φ1
SUS303

E32-A04-1
21
20.5 2,000 φ1 10 25

2,000 25 φ1 10

2 φ2 2 9 1.2 2.5

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

4

E39-F9

3.5 10 17 φ1.2 2

2-M2 39-F9
SUS303

注. 请将刻印面的反面作为安装面 (基准面)使用。

CAD

CAD

62

E32系列
附件
透镜单元 透镜单元 E39-F1
M2.6 0.45 3.8 0.9

侧视单元 E39-F2
M2.6 φ2.8 3.2 0.9

材料: <镜筒部>黄铜 <透镜部>光学玻璃 注. 2个1组。

φ4 8.9

材料: <镜筒部>黄铜 <透镜部>光学玻璃

φ4 5.7 9.2

CAD

注. 2个1组。

CAD

透光附反射单元 E39-F3
2-φ4 M3 2-φ3.2

2-M3

3

18

6.4

12

3 3.6 8.5

6.4 8±0.2 6.5 M3 6

材料: <镜筒部>黄铜 <基座>铝合金

20.7

*请使用专用固定螺钉固定光纤的探头部。 请勿插入透镜 (E39-F1) 。

CAD

反射用透镜单元 E39-F3A
M2 φ6 φ4 3 φ2.1 2

反射用透镜单元 E39-F3A-5
φ2.1 φ4 6.5 φ5 M3 0.5 3

材料: <镜筒部>铝合金 <光透镜部>光学玻璃

φ3.7 23

13

材料: <镜筒部>铝合金 <光透镜部>光学玻璃

16.5 φ3.7

注. 这是E32-D32、 E32-C42用透镜单元。

CAD

注. 这是E32-C31、 E32-C41用透镜单元。

CAD

反射用透镜单元 E39-F3B
φ6 φ5.5 24.1 φ4.8 25.2 M3 0.5 4.4

反射用透镜单元 E39-F3C
φ4.3 5.8 10.9 φ3.7 φ5 M3 0.5 3

材料: <镜筒部>铝合金 <光透镜部>光学玻璃 注. 这是E32-C31、 E32-C41用透镜单元。

材料: <镜筒部>铝合金 <光透镜部>光学玻璃

E32

CAD

注. 这是E32-C31、 E32-C41用透镜单元。

CAD

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

63

E32系列
防护螺线管 E39-F32A/F32A5 E39-F32B/F32B5
M3 0.5 4 φ6 12 L 2 12 1. 2. 1 (φ4.6) 1 φ3

SUS304

注1. 长度 (L) E39-F32A/-F32B:1,000, E39-F32A5/-F32B5:500。 2. E39-F32B (5)由2根E39-F32A (5)组成。

E39-F32C/F32C5

M4

0.7

4 φ7 12

1

(φ5.6)

1

φ4

2 L

12

1. 2.

SUS304

注. 长度 (L) E39-F32C:1,000, E39-F32C5:500。

E39-F32D/F32D5

M6

0.75

4 φ8.5 12

1

(φ7)

1

φ5

2 L

12

1. 2.

SUS304

注. 长度 (L) E39-F32D:1,000, E39-F32D5:500。

其他 光纤切割器 E39-F4
8 45

细径光纤用配件 E39-F9
φ1.1
24.5

(φ2.2)

材料:ABS 注. 2个为1组。 ※附有细径光纤单元

φ3.6

10 25

11.7

CAD
2 φ2.2

光纤接插件 E39-F10

φ2.2

2 φ3.8 26

1 φ3 12.8 1. 2.

66

光纤接插件 E39-F13 E39-F14 E39-F15
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA
4-φ6

(48.6) 32.6 29.6 2

9.2 7.6 3.2

注. 尺寸 A 在各型号中的具体值 请参见下表。 型号 E39-F13 E39-F14 E39-F15 尺寸A 2.4 1.2 2.4/1.2

8

33.8 22.4 20.4

27.4

E3X-ZA E3X-DRT21-S

4-A 4-0.8 4-R0.8

CAD

套管弯曲器 E39-F11

10.8

R12.5 R7.5

42.5 10 10 R5 R10

27

64

E32系列
请正确使用
详情请参见共通注意事项 (→1310页)及订购时的承诺事项 (→F-4页) 。

警告
本产品不能作为保护人体用的检测装置使用。 关于光纤的切割步骤 请按照以下步骤切割细径光纤。
按照右图进行 设置后出厂。 ① (暂时紧固状 态) 按箭头方向调 ② 整长度,实际 紧固。

使用注意事项
请勿在超出额定值的环境中使用。

(E39-F9)

光纤单元
●安装时 关于紧固 安装光纤单元时请使用以下紧固力矩: <螺钉安装型> <圆柱型>

M3

将光纤放入 ③ E39-F4内切 割。
φ2.2mm 0.5 3

E39-F4

2

完毕。 (正常的 ④ 切割状态) 光纤单元 M6螺钉型 φ6mm圆柱型 M3螺钉型 M4螺钉型 φ2mm圆柱型 φ3mm圆柱型 φ1.5mm圆柱型 φ1mm圆柱型 E32-L25A E32-M21 E32-T16 E32-R21 E32-T16W(R) E32-T16P(R) E32-T16J(R) E32-L24S E32-L24L E32-T25L 紧固力矩 0.98N?m以下 0.78N?m以下 0.29N?m以下 0.2N?m以下 0.78N?m以下 离前端5mm处……0.49N?m以下 离前端5mm以上……0.78N?m以下 0.49N?m以下 0.39N?m以下

关于连接 ?请勿向光纤单元施加拉伸、压缩等蛮力。 (9.8N?m及29.4N? m以内) 。 ?光纤单元的弯曲半径请在 「种类」和 「额定值 / 性能」的容 许弯曲半径以上。 ?请勿将光纤大幅度弯折至底部。 (E32-T□R和E32-D□R除 外) 。
20

0.29N?m以下

20

?请勿压缩,施加负载。
E32

<耐药品型> 为了不使特氟龙涂层出现裂纹,推荐使用以下固定方法。用固 定螺钉安装时,注意不使外壳出现裂纹。

E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA

?对于振动引起的光纤端头弯折,可采用以下方法。

E3X-ZA E3X-DRT21-S

1

65

E32系列
关于套管弯曲器 (E39-F11) ?不锈钢管的弯曲半径应尽量取较大的值。如果弯曲半径过 小,检测距离将会缩短。 φ1.2mm ?将不锈钢管的前端插入套 φ1.3mm 管弯曲器的凹槽内,请沿 R10mm R12.5mm 着角的曲率缓缓弯曲。
R5mm R7.5mm

关于液位传感器 (E32-D82F) ?光纤单元的固定请使用不可弯曲部位。如果不使用不可弯曲 部位固定,液面水平的检测位置将可能错位。 ?在危险的环境中使用时,请将光纤单元设置在危险的地方, 将放大器单元设置在安全的地方。 关于液位传感器 (导管安装型) ?用捆绑型带子固定时,请注意不要使导管变形。 ?如果导管内产生水滴、气泡、模糊等情况,将可能导致误动 作。 ●调整时 关于E32-G14 由于检测距离短, 因此入光量过大, 无法进行「无工件示教」 。 请使用工件有/无的示教。 关于液位 (E32-D82F)检测位置 液位检测位置在离特氟龙涂层 前端5.2±2mm的地方。 (请参见右图) 液位检测位置根据液体的表面 张力及光纤单元的检测位置的 浸湿状况,会有所差异。

90°

10mm

10mm

关于耐热光纤 (E32-D51、 E32-T51) ?不能通过光纤接插件E39-F10进行延长。 ?高温下连续使用时,请将温度控制在+130℃以下。 短时间使用温度的允许上限为+150℃。 关于E32-T14和E32-G14 如果透镜的前端部分存在反射物体, 将 可能转变为入光状态。 这时请将附带的 黑色密封条粘贴在透镜的前端。 关于晶圆片感应器 (E32-L25 (A) ) 为了充分发挥其性能,请将标有白线的光纤插入放大器的投光 侧。 关于E32-T16和E32-T16P (例)使用附带狭缝时,请揭下衬 <例> E32-T16 纸,沿着检测面的外形线粘贴。在 近 距 离 设 置 饱 和 (得 不 到 光 量 变 化)的情况下,请不要揭下附带狭 缝。

5.2±2 mm

●其他 关于液位 (E32-D82F) ?出现下列情况时,动作可能会不稳定。 ①检测探头部的圆锥部附着气泡。 ②检测探头部的圆锥部附着有溶质析出。 ③粘度高的液体。 ?有时无法检测乳白色等一部分液体。 ?请勿撞击前端。 由于检测探头部受伤变形,动作有时会不稳定。 关于耐热光纤 (E32-D81R/E32-D61/E32-D73) 根据放大器单元不同,光纤插入部的投光侧和受光侧的间距不 同,所以请选择适当的光纤单元。
放大器单元 E3X-DA□-S E3X-MDA□ E3X-DA□-N E3X-NA□ 光纤单元 E32-D□-S E32-D□

关于E32-M21 请将4根光纤设置在不相互干扰的位置。
E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

关于真空光纤 (E32-V) 法兰、真空侧光纤、透镜单元都是清洗干净的,但是高真空下 使用时,为防万一,请用酒精清洗,达到脱脂的目的。

66

E32系列
附件
关于使用反射板(E39-R3)时 ①使用背面粘贴胶带时,请用洗涤剂洗净粘贴处的油污、灰尘 后再进行粘贴,残留油污时,无法进行安装。 ②不能在沾油、药物的地方使用。 防护螺线管的安装方法 ①将光纤从防护螺线管探头部接 插件一侧 (去掉螺钉)插入。 ②将光纤的前端插入防护螺线管 (插入前将螺旋防护管拉长,注 意不要使光纤扭转,同时旋转 防护螺线管) 。 ?安装时,尽量将光纤单元的各个部分紧密连接。 另外,用接插件延长时,请注意检测距离大约缩短25%。 ?光纤直径φ2.2mm以上不能使用。 光纤接插件 (E39 -F10)的安装方法 请按照以下步骤进行安装。
① ②

③用附带的螺母固定到安装板 上。

④固定终端帽时,请务必使用附 带的支架固定。 (如果固定在 其他地方,用带缠绕,加大外 径,进行固定) 。

E32 E3X-DA-S /E3X-MDA E3X-NA E3X-ZA E3X-DRT21-S

67


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