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电池片返工处理流程


海润光伏科技股份有限公司 江阴海润太阳能电力有限公司

电池片返工处理流程
编 号:Q/HRHT-005 版 本:A/0

编制人/日期: 审核人/日期: 批准人/日期:

2010-05-14 发布

2010-05-XX 实施

海润光伏科技股份有限公司 江阴海润太阳

能电力有限公司
发布

文 件 制 修/ 订 记 录 表

修订日期

修订后版 本号 A/0 初次制定

修订内容

修订人 史小江

审核人

14/05/2010

XXX

需要培训部门: 会签部门 生 生 产 部 产 计 划 部 工 艺 部 质 量 部 动 力 部 设 备 部 研 发 部 采 购 部 物 流 部 安 环 部 财 务 部 行 政 部 销 售 部 人 力 资 源 部 信 息 技 术 部 企 管 部

文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

1

目的 明确各段返工片和跨段处理返工片的作业流程,确保返工片及时快速的处理,把对效率和碎片的 影响降到最低; 范围 本标准适用于工艺、生产及质量各部门涉及人员; 职责 为了确保返工片清洗顺利进行,明确返工片处理过程中的职责划分和处理规范。 3.1 返工片处理规定:处理返工片采取当段返工当班处理,星期五集中下传;跨段返工每周五集中返 前段; 返前段处理硅片时需要质量确认是否达到返前端标准,对于质量偏轻无法返前段硅片,有质 量确认后方可下传,返工片命名必须按命名规则命名,不得与其他硅片混片。 3.2 返工片处理流程
出现失败片(超出工艺范 围通知工艺)

2

3

返工片集中 当班处理

返工异常,通知工艺并 暂存,周五集中返前段 处理或报废

返工正常,按命名规则 命名,并附实验单下传

前段按照 返工处理

返工异常,通知工艺并 暂存,周五集中返前段 处理或报废

返工正常,按命名规则 命名,并附实验单下传
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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

3.3 工艺职责:提供当段和前段返工片处理工艺,对无法返工硅片进行确认报废(报废流程详见质量 部硅片报废流程) ;接到返工片异常后,工艺进行异常分析和提供异常处理的办法; 3.4 生产职责:对当段返工片进行监控,如有异常及时反馈给工艺和相关部门(异常反馈标以各段工 艺提供数据为准);接到前段返工处理片,按照返工流程进行返工并及时通知当段工程师; 3.5 质量职责 :对无法返工的硅片进行确认,确认返是否符合返前端标准,是否达到报废标准和报 废数量; 各段返工流程

4

4.1 制绒返工片流程 4.1.1 制绒返工片处理流程及职责划分 责任部门:生产部/工艺部/质量部 确认返工片 责任部门:生产部 将返工片分类装入蓝中

责任部门:生产部

根据不同花斑类型确定不同的返工工艺

责任部门:生产部 4.1.2 制绒返工片处理规范

扩散

4. 1. 2. 1 制绒返工片标准:针对不同的异常片进行分类,质量大于等于 5.2g 的花斑片均可以返工, 质量小于 5.2g 大于等于 4.48g,直接下传,质量小于 4.48g,申请报废。 4. 1. 2. 2 类型及处理措施: 第一大类:库存时间小于 24h,按照以下流程进行返工: 1. 2. 发白和发亮返工: 酸洗—水洗—酒精润洗—制绒槽返工工艺减重比较小且返工效果最好; 白斑返工: H2O2 润洗—制绒槽返工工艺以氧化和蚀刻来底切和去除表面颗粒、有机污 染物及部分金属化污染物. 第二大类:库存时间大于 24h 的制绒库存后的花斑异常片: 1. 为预防制绒槽的污染,在处理这些异常片时使用单槽制绒机。
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文件名
2.

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

实行 H2O2 润洗—水洗 —酒精润洗流程进行返工。

4.1.2.2 制绒返工片处理规定: 1. 2. 3. 返工片按照分类处理; 产生后及时处理处理; 在做返工之前,按照正常生产的流程,每组测试 6 片前重,对应的 6 片后重, 将相应的减重填写在返工片的流程单上,并附上返工单; 4. 第二大类返工完后溶液不允许做正常生产的硅片。

4.1.2.3 制绒处理片确认:由质量和工艺共同确认返工片返工前是否达到返工标准和返工数量及类型; 返工后的硅片,质量无异常正常下传,质量偏轻,质检盖偏轻章下传。 4.1.2.4 制绒各类返工处理流程图

4.2 扩散返工片流程 4.2.1 制绒后清洗不干净硅片 4.2.1.1 异常表现: 接制绒传过来的硅片清洗不干净, 即清洗后的硅片有大片液滴黏附, 见下图 (图一) 。

图1
3/4

文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

4.2.1.2 评审报告流程: 出现制绒后清洗不干净硅片时, 操作人员应及时通知班组长和当班工艺工程师。 4.2.1.3 制绒后清洗不干净硅片流程图:

扩散前清 洗不净片

氧化15 分钟

进行正常扩 散前清洗

检查是 否清洗 干净


正常扩散


转异常片下 传或报废

6.2 4.2.2.2 扩散工艺完成后硅片的方块电阻异常 4.2.2.1 方阻异常表现:OOS:一点或多于一点阻值超出 SPEC 范围;OOC:单组、单片或单点超 出 CL 范围,但单点在 SPEC 范围内; 方阻规格定义:

硅片类型 单晶 R2 工艺

SPEC

CL

37Ω≤单点 Rs≤57Ω 42Ω≤单片 Rs≤52Ω 44Ω≤单组 Rs≤50Ω

39Ω≤单点 Rs≤55Ω 44Ω≤单片 Rs≤50Ω 45Ω≤单组 Rs≤49Ω

4.2.2.2 方阻异常评审报告流程:出现方块电阻 OOS 时,质检人员应及时通知班组长或当班工艺 工程师进行处理和调节,将电阻异常超出下限 3Ω /□或超出上限 1Ω /□的超标时附实验单下传,追踪 效率,将超出该范围的超标片转为处理片,集中处理; 出现方块电阻 OOC 时,质检人员应及时通知 当班组长和工艺工程师,及时进行调整,无需转处理片。 方阻异常片处理流程(非偏轻片) :
Rs 异常

超出下限

超出上限

超出下限3Ω /□、 超出上限1Ω / □ 以内

低出下限3Ω /□、 高出上限11Ω / □

工艺工程师附 实验单下传, 追踪效率

返回制绒,重新 做小绒面制绒

制绒后返超净正 常清洗、扩散



Rs是否正常



下传

转异常片下传 或报废

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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

方阻异常片处理流程(偏轻片) :
Rs 异常

超出下限

超出上限

工艺工程师附 实验单下传, 追踪效率

进行正常扩散 前清洗

根据Rs值按照作业指导 书里规定工艺进行补扩 散,测量Rs



Rs是否正常


下传

转异常片下传 或报废

4.2.2.3 补扩散规则:当清洗干净后,再每 50 片抽测 3 片测试电阻, 单晶 V01 工艺:当电阻在 58-70 欧姆之间时,第四步为 10 分钟,第五步为 10 分钟,在 71-80 欧姆之间第四步为 20 分钟,第五 步同上,在 81-100 欧姆之间时,第四步为 30 分钟,第五步同上。当电阻大于 100 欧姆时,重新扩散, 扩散完后,进行电阻测试,电阻异常时通知工艺工程师,方阻异常片经过一次处理后,结果无论正常 与否,不再转处理片,进行二次处理。 4.2.3 扩散后的硅片上出现残余磷源或烧焦 4.2.3.1 异常表现:见下图(图 2)首先判断烧焦片的严重程度,如果烧焦程度严重,无论是正面还 是背面一律不得下传,主要分为一下几类: 1. 2. 面积较小的烧焦片, 观察烧焦部位的颜色, 如果颜色为浅黑色, 则可以颜色为深黑色则不得下传。 当烧焦片颜色较深的部分距硅片边缘不到 1mm 时,则可以直接下传,若大于 1mm 时则不得直接 下传。 3. 轻微烧焦片:当烧焦片烧焦片颜色较深的部分距边缘大于 1mm 小于 3mm,或烧焦片麻点数量不 超过 10 个的烧焦片可暂存车间,集中整组附实验单下传。

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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

4.2.3.2 评审报告流程: 如果出现烧焦 10 片以下/组时,操作人员应详细记录异常记录单,如果出 现烧焦 10 片以上/组或滴源片时,操作人员应详细记录异常记录单,并及时通知当班工艺工程师; 出现 烧焦片,由卸舟员工分为严重烧焦和轻微烧焦片,暂存车间;严重烧焦片需转处理片,集中处理;轻 微烧焦片可暂存车间,集中附实验单下传, 滴源或烧焦片制绒后返回超净车间,若扩散后再次出现严重 烧焦,需做报废处理. 滴源和烧焦片处理流程

4.2.4 扩散反片处理流程 4.2.4.1 评审报告流程:卸舟时发现扩散反片时, 操作人员应将扩散反片挑出, 转处理片后集中处理. 扩散片处理流程
扩散反片 制绒后正常绒 面一正一反装 篮 进手工5# 酸槽清洗 2min 水洗 2min 检查是 否清洗 干净



正常工艺 扩散

测电阻正常 后,附实验单 下传


氧化工艺氧 化15min 进手工5# 酸槽清洗 2min 正常 工艺 扩散

水洗 2min

测电阻正常 后,附实验单 下传

4.2. 5 变形及裂痕片处理流程 4.2. 5.1 评审报告流程:出现变形及裂痕片时,操作人员应详细记录异常记录单,并及时通知班组 长和当班工艺工程师。 4.2.6 扩散各类返工处理流程图
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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

4.3 镀膜返工片 4.3.1 返工片处理流程及职责划分
责任部门:生产部/质量

生产按照返工片进行分类和确认并附返工 单

责任部门:生产部

将返工片分类装入清洗篮分别用不同工艺清洗

责任部门:生产部

清洗返工片确认清洗效果

责任部门:生产部 PECVD 镀膜

4.3.2 清洗镀膜失败片处理规范: 1. 返工片按照分类处理和产生后及时处理的原则进行处理, 根据返工片膜厚和原因分为彩虹 片,发白片,色差片和花斑片分成四类,分别用不同的镀膜失败片清洗工艺清洗; 2. 每次产生返工片后,直接置于清洗花篮中,尽量避免硅片与手的多次接触,造成二次清洗 后的二次返工片;在装入花篮时,镀膜面为正面,勿将正反面搞混,以免造成清洗后混片。 3. 不同类型的返工片要按照工艺规定的不同工艺进行清洗,在返工片清洗槽处清洗完毕后, 须走去 PSG 清洗机进行二次清洗; PSG 清洗时清洗若出现清洗不净, 去 请立即通知工艺;
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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

清洗完毕,确认清洗干净且甩干后,将硅片送往 PECVD 镀膜;对二次镀膜过程中产生的 失败片,清洗完毕后集中返超净处理,禁止清洗完毕下传 PECVD; 4. 硅片返制绒之前,每组测试 20 片前重,若其中 8 片超过 5.2g,硅片直接在本段进行返工 不返制绒,当花斑片周五集中下传; 4.3.3 清洗镀膜处理片确认:由质量和工艺共同确认返工片返工前是否达到返工标准和返工数量及 类型;对于返制绒硅片,称取 20 片质量无异常正常下传,质量偏轻质检盖偏轻章和花斑章下 传。 4.3.4 清洗镀膜失败片处理流程:

4.4 印刷返工片 4.4.1 印刷返工片处理规范 1. 返工片按照分类处理和产生后及时处理的原则进行处理, 下班前 2 个小时集中处理当班产 生的返工片; 2. 返工片数量如实反映给工艺和质量; 4.4.2 印刷返工片类型及判断标准:
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文件名
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HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

背电极严重印偏,背电场已遮盖不住,会露出硅片; 背电场印刷严重偏移,浆料已经接触到电池片的边缘; 背面铝浆(背电场)缺失已无法修补且无法重印; 二号机粘片造成的印刷不良品; 三号机造成的漏浆、印偏、粗细不均、细栅断开、虚印等不符合质检检验标准的不良。 烧结半成品:由于烧结炉运转非正常等原因,引起的第一次烧结未成功的电池片。 边缘漏浆或刻蚀不净

4.4.3 印刷返工片处理方法 由背电极、背电场、正栅部分印刷不良造成的返工片必须将背面进行酒精擦拭,擦拭过程不能污 染镀膜面,并将其从本批次流程单上剔除并标明转处理片 XX 片;由于烧结炉运转非正常等原因,引 起的第一次烧结未成功的电池片, 将其从本批次流程单上剔除并标明转处理片 XX 片, 重新烧结下传。 4.4.4 印刷返工片处理流程图

5

返工处理片命名规则

1) 处理片统一用流程单号区分; 2) 流程单号编码如下: NA XXXXXX XX XXX XXX-X

5、硅片类型代码

4、序列代码 3、硅片尺寸代码 2、工序代码 1、日期代码 NA:所有处理片统一命名片源为 NA 1、 XXXXXX 日期代码:例:2010 年 5 月 10 日处理的返工片为 100510 2、 XX 工序代码:制绒车间返工片为 ZR,超净车间为 CJ,K+P 车间为 KP,印刷车间为 YS
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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

[X/X]

3、 XXX 硅片尺寸代码:125S 编码为 150,125SL 为 165,156S 为 200 4、 XXX 序列代码:当天当段返工的第几组,如当天当段返工的第 2 组为 002 5、 硅片类型代码:单晶为 S,多晶为 M 例如: 2010 年 5 月 10 日超净段返工的第一组 125SL 的单晶片编码为: NA100510CJ165001-S
5 记录 4.1 按照“返工片命名规则”进行命名,填写返工单,由生产统计汇总在电池性能汇总; 6 附件 6.1 附件:返工单

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返工单
返工单号 数 量
□制绒返工

文件名

HR-XX-XXX
联络人 批号
□扩散返工

(宋体小四)
电话 质检返工章
□刻蚀清洗返工 □镀膜返工:

[X/X]

返工工段
日期

备注 返工片类型:
○本段返工片

□设备限定: □减重 6 片平均:_ 单槽制绒设备:

工艺确认: __________ STD:_

生产操作: __________ STD:_

制绒时间: 制绒 返工片类型:

□反射率平均:_

制绒时间: 异常片数:
□反射率平均:_

生产操作: __________ 异常工艺确认: __________ STD:_ 测量员: ______

○后段返工片 □制绒后 PN 型检测 4 片:正常片数:

□制绒后减重 6 片平均:_

STD:_

超净返工片工艺流程
异常类型 扩散反片 流程单号 数 量 实验时间 电话 联络人

超净返工片工艺流程
异常类型 数 量 清洗不净 流程单号 实验时间 电话 联络人

检查表面

工号:

扩散前清洗不净

工号:

正常方式装篮

工号:

烘干后单片装舟氧化(工艺指定炉 管)

扩散前正常清洗

工号:

工号:
工艺:YANGHUA

超净

是否清 洗干净

N

烘干工号: 烘干后氧化15min 氧化工号:

工号:

Y
工号: 正常装舟、扩散

5#槽酸洗、水洗

工号:

扩散前清洗 干净?

N

通知工艺,异常 暂存

工号:

Y

是否清洗 干净

Y
正常装舟、扩散 工号:
方阻正常后附实验单下传

N
方阻正常后附实验单下传 通知工艺,转异常片 或报废

工号:

工号:

工号:

○返制绒处理

□烧焦片

□电阻异常片

□其他______

□工艺确认______

□装篮操作:______ 返工类型

篮号:_____ _____ _____ _____ _____ _____ _____ ______ 片数:_____ □发白片 □发红色差片 工艺确认: 生产操作: 清洗机台:

□彩虹片

○本段返工 刻蚀 &PECVD

开始时间 结束时间

□彩虹片清洗不净(表面无氮化硅)□刻蚀后清洗不净 □二次镀膜后花斑失败片 ○返制绒处理 □本段清洗开始时间: 结束时间 清洗机台: 操作员:

篮号:_____ _____ _____ _____ _____ _____ _____ ______ 片数:_____ □工艺确认
※生产必须按照返工片命名规则进行命名,如:NA100524PE165002-S

异常记录

※遇到异常请立即联系值班工艺工程师,并由值班工程师通知相关人员 ※工艺工程师记录异常状况以及处理情况。

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文件名

HR-XX-XXX

(宋体小四)

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