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Centrotherm 扩散炉操作规程


中利腾晖光伏科技有限公司
文件名: 编写: 内容 Centrotherm 扩散炉操作规程 何旭 审核:

文件编号: 版本号: 页码: 批准: 01 6

1. 装片将来片装至石英舟上。装片过程中,石英舟的斜度向左,将每两片正片插入同一插槽中方向从右向左。 并保证扩散面向外, 插片过程中严禁用手(包括戴手套)直接接触硅片绒面。 2

. 上舟 将以装好产品的石英舟放置于 Slider 上,如图所示:

3.

运行工艺
3.1 点击 Jobs,进入 Jobs 界面,确认 tube 状态并进入 SETUP 菜单

3.2 选择 BOAT LOT,可选择没有对号的 Boat

3.3 进入下个菜单如下.并进行如下选择,之后点击 Next

3.4 输入 BOAT ID(石英舟架的编号),并选择 wafer 尺寸

3.5 勾选 run(运行)的炉管

3.6 选择进货时炉管状态

3.7 选择 recipe ,根据工艺要求选择相应的 recipe,然后点击 Finish

3.8 确认界面.确认之前设置无误,点击 OK。

3.9 点击 Jobs 返回 Jobs 菜单 ,点击 RUN 就可开始自动进炉扩散

3.10 当 RECIPE(程序)结束后会跳出如下对话框,点 OK 机台自动运行 UNLOAD(硅片出炉,冷却后下片)程序。

4.常见报警及处理方法:
序 号 故障现象 原因分析 解决方法

1

SLS 没有反应,

行程开关未动作或者损坏, 需 要调整。 ②炉管状态错误导致 ①行程开关未到位 or 限位开 关松动 ②继电器 or 相对压力传感 器问题 ①手动 TEACH 误操作导致 ②舟装载时传感器信号错误 导致碰撞

检修 需要程序初始化。重新启 动程序 进行调整。 继电器需要进行更换和压 力传感器进行校正零点。 消除报警,然后进行机械 调整。 调整传感器的感应距离 消除报警 (1)用错工艺号,手动结束 工艺,重新开始新的其它 工艺时进行选择。 (2)多数情况下选择此项。 ; (3)工艺中断需要重新进行 时选择 此报警会自动解除,只需 要检查一下桨是否在原点 位置即可。 如果有工艺在运行,取消 此次工艺等待下次加载 如果没有此工艺要从 CCC 主机内加载程序 炉管内状态不对,进行 Tube ready 工艺,调整状 态 检查桨是否在上位和原点 的位置,如果是的,在空 桨的情况下运行 homing 工艺;如果不是,手动移 动桨到上位和原点。 如果有工艺在运行,取消 此次工艺等待下次加载 如果没有此工艺要从 CCC 主机内加载程序 炉管内状态不对,进行 Tube ready 工艺,调整状 态 检查桨是否在上位和原点 的位置,如果是的,在空 桨的情况下运行 homing 工艺;如果不是,手动移 动桨到上位和原点。

2

炉门未打开或者没有到位

3

GRIP 部分出现的传动轴异位现 象。

4

Processrecipe has terminated with error state----Alarm ACK----(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe .

进行中的工艺以错误的状态 结束----警报确认----(1)储存 (2)储存并卸下(3)重新开 始工艺。

5

Lost homing, check position.

失去引导,检查位置。

Recipe couldn’t de started. please 6 check protocol for reason.。 工艺不能被运行,请检查原因。

此管已有一个工艺在运行; 此 管没有你要选的工艺文件; 状 态不正确

7

Tube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”. 说明:管子的状态无法被确认, 请确保 CESAR 接收到桨在 “0” 和 “UP”的位置。

炉管状态不对

6

Recipe couldn’t de started. please check protocol for reason.。 工艺不能被运行,请检查原因。

此管已有一个工艺在运行; 此 管没有你要选的工艺文件; 状 态不正确

7

Tube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”. 说明:管子的状态无法被确认,

炉管状态不对

请确保 CESAR 接收到桨在 “0” 和 “UP”的位置。 Handling 对话框中将舟移 动到安全的位置;若是在 上下舟,检查一下小车和 储存架的位置是否于舟的 位置匹配 检查一下舟是否接触到传 感器后再试一次。如果不 行,调整传感器。 将舟放到正确的位置即 可。

8

Boat collision.

舟被撞击

9

The boat sensor has detected no boat in the grab although a boat should be in the grab. please check boat in grab sensor and try again. No process position. boat in source

虽然有一个舟在机械臂上, 但 传感器测不到。 机械臂上的传感器没有感应 到舟。

10

说明:在设定的位置没有舟的存 在。

通常是因为机械臂将石墨舟 放到储存架上, 储存架上的传 感器没有感应到。

调节传感器或者调节舟的 位置即可。 检查舟在桨上的位置,如 果正确手动将桨复位; 如果不正确,戴上高温手 套把舟拉到正确的位置后 手动复位。 手动使桨复位。 经常发生要重新校准信号 将石英管后的冷却水流量 调整一下即可,可调整大 一点。 检查舟的位置。若机械臂 没有被锁定,在 Handling 的界面中将机械臂移至正 确的位置。经常发生要调 整抓手机构。

11

Boat failure . 说明:退舟失败。

信号错误 或者舟在桨上的位置不对

Boat position (speed) out of 12 1st(2nd) tolerance. 舟的位置(速 度)超过第一(二)限值。 Water flow gas side st.1. 说明:TGA(gasside )冷却水报 警。

通常会发生在退舟失败后, PADDLE FREE 或 TGAfree 信号 故障 水流不稳定造成压力开关报 警

13

14

Grab sensor undefined. No movement possible! Check boat 机械臂不在正确的位置, 无法 position. 移动。 说明:传感器不明确,无法移动。

5.设备故障汇报机制
接到设备故障报告后,现在技术员立即到现场处理维修,半小时内无法解决,当班技术员即时通知到机 台责任工程师,工程师两小时内无法解决问题,则立即通知相应的设备主管,四小时无法解决问题,通知设 备经理。


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