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SEMI通讯介绍1


SEMI 通讯介绍
(一)什么是 SEMI 通讯 本文本着相互学习相互提高的目的,所写有不对之处请指出,不胜感激。 SEMI 是英文 Semiconductor Equipment and Materials Instituted 的缩写,中文意思是半导 体 设 备 和 材 料 协 会 。 1988 年 该 组 织 更 名 为 Semiconductor Equipment and Materials International, 英文简称不变。 SEMI 通讯简单说就是半导体设备与远程 PC (一般被称为 Host PC)间按照半导体协会制定的通讯标准进行通讯。其中进行通讯的半导体设备应包含工控 机,SEMI 通讯在工控机和远程 PC 间进行。下图是通讯结构示意图。 Host PC

SEMI 通讯

SEMI 通讯协议 工 控 机
半 导 体 设 备

界面

COM PLC 与工控 机通讯 PLC

半 导 体 协 会 上 世 纪 80 年 代 开 始 制 定 半 导 体 设 备 通 讯 协 议 SEMI Equipment ,1982 年制定了 SECS II Communication Standard 简称 SECS。1980 年制定了 SECS I(E4) (E5) ,1992 年制定了 GEM(E30) ,1994 年制定了 HSMS(E37) 。 SECS I 是以 RS232 为基础的通讯标准, 定义了数据封包的格式, 握手方式和传送次序。 在通讯协议层中属于底层范畴。HSMS 是以以太网为基础的通讯标准,同 SECS I 一样属于 底层范畴。SECS II 定义了数据信息的格式,在通讯协议层中属于中间层范畴。GEM 定义了 数据信息的含义和内容。 可以打个形象的比喻来说明他们之间的关系。 就好比两个人要进行 交流,SECS I 规定了要用听说的方式进行,HSMS 规定了要用读写的方式进行,SECS II 规 定了要用汉语进行交流,而 GEM 就是“你吃了吗?我吃过了。 ”这样两人都知道对方要表 达的意思了。

上图是各协议的关系,以后将分别介绍各个协议。


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