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ESD资料


ESD
教育訓?教材

訓?課程大綱
壹.靜電放電(ESD)介紹 貳.ESD防制之目的 ?.ESD基本知?介紹 肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用 伍.ESD防制基本作業規範

壹.靜電放電(ESD)介紹
?靜電
?原因:摩擦、剝?、感應... ?機制:物質因失去或得到電子而帶電

/>
?靜電放電
?原因:電位?同物體間的電荷移轉 ??一定伴隨有電弧或火花發生

?摩擦生電與靜電放電

人體與地毯摩 擦產生靜電

人體經接地後 放電

放電後人體電 荷平衡

?剝?生電

接觸 物質A (電荷平衡) 物質B (電荷平衡)

分? 物質A (帶正電荷) 物質B (帶負電荷)

?感應生電--?屬?片驗電器 Metal-leaf Electroscope

靜電放電模式
? 人體放電模式 (Human-Body Model,HBM) ? 機器放電模式 (Machine Model,MM) ? 元件充電模式 (Charged-Device Model,CDM)

人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨 擦或其他因素在人體上已?積?靜電,當此人去碰觸到IC 時,人體上的靜電?經由IC的腳(pin)而進入IC內,再經由 IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns, nanosecond,10-9sec)的時間內產生?安培的瞬間放電電?, 電?會把IC內的元件給燒毀。

機器放電模式(MM)的ESD是指機器(?如機器手臂)本 身?積?靜電,當此機器去碰觸到IC時,該靜電?經由IC 的pin放電。因為大多?機器都是用?屬製造的,其機器放 電的等效電阻為0 Ω;由於機器放電模式的等效電阻為 ?,故其放電的過程?短,在幾毫微秒到幾十毫微秒之內 會有?安培的瞬間放電電?產生,因此對元件的破壞?? 大。

此放電模式(CDM)是指IC先因磨擦或其他因素而在IC 內部?積?靜電,但在靜電?積的過程中IC並未受傷。此 帶有靜電的IC在處?過程中,當其pin去碰觸到接地面時, IC內部的靜電?會經由pin自IC內部?出?,而造成?放電 的現象。此種模式的放電時間?短,僅約幾毫微秒之內, 而且此放電現象?難以真實的被模擬。

ESD三種模式比較
? HBM與MM-->人體、機器或環境帶電
? HBM是最古?且最常發生的模式,但並非最嚴重的 危害模式 ? MM造成的故障與HBM?似,但電壓卻遠低於HBM ,速?亦較HBM快

? CDM-->元件帶電
? 造成ESD故障的主要原因 ? 上升時間最快速,產生大電?,快速放電

貳.ESD防制之目的
? 改善產品品質並減少及防制ESD對電子產品 的損害。 ? 藉由教育訓?的實?,?低產品??的發生 與耗損。 ? 改善客戶產品損害,增加產品可靠?。 ? ?低客戶抱怨,提昇信譽。

?.ESD基本知?介紹
影響靜電荷產生?的因素
? 相對溼? ? 物質材?(摩擦電序?) ? 接觸的面積 ? 摩擦頻?

摩擦電序?

靜電防治材?特性
?Conductive Material 導電材?
表面電阻?小於105 Ω/sq 的材?
(ESD ADV 1.0,MIL-263B,EIA-625)

?Static Dissipative Material 靜電消散材?
表面電阻?至少為105 Ω/sq 且小於1012 Ω/sq的材?
(ESD ADV 1.0,MIL-263B,EIA-625)

?Anti-Static Material 抗靜電材?
--能抑制摩擦生電的材?(ESD ADV 1.0) --能抑制摩擦生電至200V以下的材?(EIA625) --抗靜電材?並?需要?測其表面電阻??決定其特性。
(JEDEC STANDARD NO.42)

接地系統
?主要目的:將靜電防護設施接地,提供一個?徑 使靜電消散材?、導電材?及個人接地設備在同 一個電位上,減少ESDS元件受到破壞。(ESD S6.1) ?人員安全防護:考慮人員碰觸電源時,通過人體 的電?。故接觸人體的接地系統必須要有限?電 阻(靜電環)。

?ESD Ground (Soft Ground)靜電放電接地
能夠使靜電產生源 (人或物)藉由此?徑到接地的端點、 排線、?屬線或其他接地系統。(EIA-625)

?Ground(Hard Ground)實接地
藉由電子線?或特殊設備和大地(Earth)?接的導電接點 ,和大地間具?電位差。

?接地線用導體
? 接地用導體需要有足夠的機械強?、耐腐蝕且?會發生 斷線之電線或?屬導體。

? 固定設備的接地用導體須用1.25 mm2以上的600V級PVC 絕緣電線,絕緣被覆採用?色。(經濟部工業局) ? 移動設備的接地用導體須用1.25 mm2以上的橡膠、人造 橡膠或塑膠絕緣柔性(可繞)電線。 ? 移動及震動頻繁設備的接地用導線須用1.25 mm2以上絞 線、網線。為容?發現斷線,最好是未加絕緣的電線。 ? 使用鏈子做接地導體(搬運?),應確定其?因腐蝕、生 鏽影響導通情況,且?因其??性而接觸??。

?ESD接地方式建議規格
1.接地斷?警報器操作?明與校正、認證。 2.接地線接地是否?好,以“接地斷?警報器”偵測結果 為評斷標準。 3.警報器之安裝位置必須在接地線末端。 4.接地線必須以電木支撐固定,?可以其他導電物體固定 或接觸。 5.工作桌面之接地線架設?接方式,如下圖所示。

警報器之安裝位置必須在接地線末端
工作桌 接地源

偵測點

接地斷?警報器

正確方式:接地線必須以電木支撐固定,?可以其 它導電物體固定或接觸。

電木支撐固定

錯誤方式:接地線以鋁製導體支撐固定,?與其它 導電物體接觸,造成斷?警報器誤判。

接地線?接方式與CONNECTOR 型式

生產線所使用接地 線CONNECTOR

工作桌面接地線?接方式與CONNECTOR 型式

CD法則(CD Rule)
? CD法則(Charge-distance Rule)

v d= 1.8
d :與帶電表面之最小安全距?(inch) V:靜電壓表之?值(Volts)
V, Volts 300 500 1000 2000 3000 4000 d, inches(cm) 10(25) 12(32) 18(45) 25(63) 30(78) 35(90) V, Volts 6000 8000 10000 15000 20000 30000 d, inches(cm) 43(110) 50(127) 56(141) 68(173) 79(200) 96(245)

基本法則(Basic Rule)
? 基本法則(Basic Rule)
靜電敏感?組件(ESD-sensitive Items; ESDS Items)在任 何情形下,皆?得??於違反CD法則之電場中;而其敏 感之接腳或端點,亦?得直接碰觸帶靜電?超過某一 特定電壓值(通常為50V)之表面。

? 電壓抑制(Voltage Suppression)
帶電物體之電場強?分布,會因其附近的接地導體而 快速減弱。

基本法則的?實
? 將工作區的所有導電物體接地,使其帶電?超 過50V。 ? 以靜電壓表確認工作區內的非導電物體所帶電 壓?超過300V。
? 對策:屏蔽、?子風扇….

? 如果靜電場無法避免,應確保靜電敏感?組件 與帶電之表面保持安全距?,遵守CD法則。

肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用
? 表面阻抗測試器 ? 靜電壓測試器 ? 接地斷?警報系統 ? 靜電環測試器 ? 靜電環 ?离子风扇

表面阻抗測試器
? 功能:檢測工作表面靜電消散
功能是否符合規範,以減少敏 感元件受到ESD破壞

? 校驗頻?: 1次/? ? 操作步驟:
1. 將測試設備置於欲?測之位置 2. 施以適當之壓? 3. 按下?色鈕 4. 進?表面阻抗檢測並記??值
原材料檢驗區 一般工作區 10 歐姆至 10 歐姆 10 歐姆至 10 歐姆
6 9 4 6

靜電壓測試器
? 功能:檢測環境&工作區域之靜電壓值
是否低於敏感材?規範

? 校驗頻?: 1次/? ? 檢驗條件: 檢驗人員須接地 (?:配戴
靜電環或穿靜電鞋…)
1.按下 “ LO ” 鍵開啟 2.檢查電池電?:按下 “ BATT “ 鍵螢幕顯示700 以上,表示電池電?足夠 3.對地歸?:偵測面對大地,按下 “ ZERO “ 鍵歸 ? 4.持續按下 “ ZERO “ 鍵,移至待測物距1英吋之 距?(2.54公分),進?靜電壓檢測並記??值 5.?檢測?值為 “ 1 ” 時,即判定檢測物為高靜電 源

? 操作步驟:

接地斷?警報系統

功能:自動偵測AC電源極性及接地系統有無?常 確保作業人員及儀器安全

接地斷?警報系統操作?明
原?: ?用AC電源之L,N,FG?作測試 1.用AC電源之L(較短之孔)及FG線?測試生產線上電源極性是否正確,用AC Polarity氖燈?顯示,會?表示OK ,??表示NG。 2.用AC電源之FG線和生產線之地線?作測試是否斷?。用氖燈及蜂鳴器?表示, ??燈及蜂鳴器?響表示OK ,?紅燈及蜂鳴器會響表示NG。 操作步驟: 1.將測試接地儀器之接地端電線接至生產線之地線。 2.插上AC電源,看接地儀器之AC氖燈是否會?,會?表示生產線之電源極性 OK , ??表示生產線之電源極性錯誤。 3.將接地儀器上之電源開關打開,觀察接地儀器上之氖燈及蜂鳴器,??燈及蜂 鳴器?響表示OK;?紅燈及蜂鳴器會響表示NG。 校驗測試程序: 每日只要把接地儀器上接地測試端之電線拔? 生產線之地線,接地儀器上之氖燈會?紅燈及蜂鳴 器會響則表示接地儀器通過測試;如測試時紅燈未 ?或蜂鳴器未響,請通知MES測試人員維修。

电脑网络静电监控系统

靜電環測試器
? 功能:檢測作業員所戴之靜電環
功能是否正常(可接受的範圍750 千歐姆至10百萬歐姆)

? 校驗頻?: 1次/? ? 操作步驟:
1.檢查測試器接地線是否確實接地 2.將靜電環依正常操作程序配戴 3.按下測試鈕 4. 狀態 意義
綠燈&蜂鳴器響 紅燈 OK NG

靜電環測試器
? 自主檢測方式: 在?接地情況下,做自主檢測

手按測試鈕 夾 1MΩ 電阻,電阻 Touch 測試鈕&手按 測試鈕 夾子 Touch 測試鈕& 手按測試鈕

亮紅燈 HIGH 亮綠燈 GOOD 亮紅燈 LOW

此三項測試均 PASS,即測試器 “ OK “

靜電環
? 功能:主要為防止HBM對於ESDS元件的破壞 ? 型式:粘帶式、?屬、紡織品、鬆緊帶式 ? 安全性:必須要有限?電阻(通常為1M Ω,1/4W) ?保護人體安全,接地線與靜電環分?的??為 1-5 lb.

离子风扇、离子枪

伍.ESD防制基本作業規範
? 教育訓?及認證
? 各單位須有一固定之ESD負責人,並經過公司 安排之教育訓?及認證,負責安排每日的測試 工作與記?,並作每月之自主檢查。 ? 各單位視各自情況安排內部教育訓?並應附有 檢定之記?。 ? 所有於靜電安全工作區域作業之人員,均需通 過教育訓?及檢定。

? ESD管制標誌及標籤

? 靜電安全工作站須以黃底黑字顯示靜電注意標 示(EIA-471),除非該工作站位於靜電安全區域 內。 ? 標示置放於靜電安全工作站外,大小為距?1 公尺處可清楚?取標示上之字體。

? 所有放置ESD敏感元件之容器應於顯而??的 位置貼上ESD靜電防護標籤。 ? 靜電安全工作站之作業指導書應附有ESD靜電 防護標籤。

? 靜電安全工作區
? 靜電安全工作區域中無法避免之絕緣材?(OI 架、資?夾…)時,應使用靜電消散液覆蓋其 表面,並定期檢測是否失效。

未使用靜電消散液

? 電腦螢幕(陰極射線管)應予以接地屏蔽或使用 ?子風扇,平衡產生之電荷。 ? 於靜電安全工作區外一公尺範圍內,所有物體 之靜電壓須小於100V。 ? 工作桌墊須確實接地並將每月 之檢測結果記?於桌墊後。

? 導電地板區域內,台?須 ?結接地鏈(一般區域以 接地線接地),且台?各 層桌墊須予以?結導通; 裝載未完成品之台?須予 以適當之防靜電遮蔽。 ? 導電地板之導電銅箔確實銜接廠務接地線,並 每月進??定點檢測及記?;每三個月作清洗 及打導電?之保養維護(?月檢測未通過測試, 即應進?維護工作) 。

? 所有人員進入靜電安全工作區作業,應佩戴靜 電環並確實接地;每日定時檢測並記?。 ? 作業人員進入無塵室須穿著靜電鞋,且應每日 檢測並記?。 ? 作業人員進入靜電安全工作區,應穿戴靜電帽 或防塵帽。 ? 靜電衣經清洗後須檢測並記?。 ? 永久性靜電防護容器應符合規範,並應協請廠 商提供證明。

? 靜電?測建議允收規範
?靜電防護搬運箱(?盒) ? 靜電消散型 -- 外層阻抗值 between 106 and 109 Ω/sq -- 內層阻抗值 between 106 and 1012 Ω/sq -- 隔板阻抗值 between 106 and 1012 Ω/sq -- static decay time≦2sec ? 導電型 -- between 103 and 106 Ω/sq -- static decay time≦2sec

?靜電遮蔽袋 Static Shielding Bag ? 靜電消散型 -- 內層阻抗值 between 105 and 1012 Ω/sq -- 外層阻抗值 between 106 and 1011 Ω/sq -- static decay time≦2sec -- static shielding:differential voltage <30V(peak) ? 導電型 -- 內層阻抗值 between 103 and 105 Ω/sq -- 外層阻抗值 between 106 and 1011 Ω/sq -- static decay time≦2sec

?靜電手環/腳環 Wrist strap/heel strap ? 1M Ω±10% through strap ?靜電消散桌墊/地板 ? 靜電消散型工作表面對地電阻值 between 106 and 109 Ω/sq ? 導電型工作表面對地電阻值 between 103 and 106 Ω/sq ? 導電地板其接地之電阻值 between 2.5×104 and 5×106 Ω/sq

?IC盤/ IC包裝管(trays/tubes) ?conductive material -- surface resistivity <105 Ω/sq ?static dissipative plastics -- surface resistivity 105 ~ 1012 Ω/sq -- static decay time≦2sec ?anti-static plastics -- triboelectric charging <100V

?靜電消散紡織物品 ? 靜電防護衣、帽 -- surface resistivity 106 ~ 109 Ω/sq -- static decay time≦2sec ? 靜電鞋 -- surface resistivity <106 Ω/sq ?導電椅子/推? ? 推?/椅子到?子的電阻 between 104 and 109 Ω/sq

人體感應: 3000V

元件損害: 20V

? ESDA Electrostatic Discharge Association ? JEDEC Joint Electronic Device Engineering Council ? EIA Electronic Industries Association ? ANSI American National Standards Institute ? IEC International Electrotechnical Commission ? NFPA National Fire Protection Association ? IPC Institute for Interconnecting and Packing Electronic Circuits ? MIL-STD&MIL-HDBK Military Standard

附:晶粒的存放条件
? ? ? ? ? ? ? ? ? 晶粒的儲藏首重腐蝕、氧化及靜電問題的防範,下列各項為一般 須遵守之條件: a. 儲存環境溫?應控制在22℃±3℃,溼?應控制在相對溼? 45%±10%RH。 b. 儲存環境與作業環境須一致,以避免溫?差造成結?現象。 c. 儲存場所應遠?水氣、廢氣,最好能有獨?區域,且為正壓設 計。 d. ?欲作長期儲藏,最好放置於氣密性氮氣櫃中。 e. 儲藏中,避免重物壓置於晶?上方,致發生崩?。 f. 使用抗靜電材?包裝晶?,以防範靜電破壞。 至於晶?之保存期如下表: 保存狀態 保存條件 未開封 放置於氮氣櫃中 已開封 放置於氮氣櫃中 晶粒打線後 放置於30℃以下乾氮氣櫃中 置於上 述 "a"中之儲存環境 5天 保存期限 3個月 7天 20天,放

ESD CERTIFICATION EXAM
1. 處?ESD敏感元件時,你應該: A. 在任何已接地之工作站即?用靜電環。 B. 以一般透明之塑膠袋包裝。 C. 將元件遠??子風扇。 D. 於導電地板上穿著導電鞋,且於坐下時將靜電環戴上。 2. 你應該如何的穿戴靜電環? A. 將手環之?屬部位確實的接觸皮膚。 B. 將靜電環套於長袖衣物之上。 C. 寬鬆的戴在手腕即可。 D. 洗過腕部的皮膚之後即?用戴。 3. 人體能夠感覺到(touch)之最小靜電值,因人而?,一般約在 ___ volts。 A. 50 B. 150 C. 1000 D. 3000

4. 所有ESD敏感元件,應該: A. 被置放於黑色的塑膠盒。 B. 置於黑色的硬紙盒中。 C. 置於標示有明顯閃電標誌的容器中。 D. 放在標示有經認證許可之靜電防制標誌的容器中。 5. ?種作為基本的ESD防護材?特性為: A. 塑膠&保??。 B. 導體&靜電消散材?。 C. 絕緣體&導體。 D. All of the above. 6. 靜電放電的三種模式中,何種放電電?上升時間最快,時間最短 ,為造成ESD故障之主因? A.人體放電模式(HBM)。 B. 機器放電模式(MM)。 C. 元件充電模式(CDM)。 D. Non of the above.

7. 溼?是影響靜電?產生因素之一?其相關性為何? A. 是,靜電產生?與溼?成正比。 B. 是,靜電產生?與溼?成反比。 C. 否,溼?與靜電產生?無關。 D. 是,但影響非常小,可忽?。 8. 靜電環須有限?電阻,用以保護人體遭?電?電擊,其電阻為: A. 106Ω。 B. 107Ω。 C. 108Ω。 D. 109Ω。 9. 進入無塵室時,須穿戴靜電衣、帽及靜電鞋,作業時: A. 先將雙手洗淨才能作業。 B. 已穿有靜電鞋,可直接作業。 C. 須戴上手套後再作業。 D. 仍須戴上靜電環並接地後始可作業。

10. 抗靜電材?,依ESDA、EIA及JEDEC之規範,其性質 為: A. 能抑制摩擦生電的材?。 B. 能抑制摩擦生電至200V以下的材?。 C. ?需要?測其表面電阻??決定其特性。 D. All of the above.

CHECK YOUR ANSWERS THEN RETURN THIS TEST TO INSTRUCTOR

等級 1 半導體產品 Fast recovery diode Schottky rectifier Switching diode Silicon diode Varactor diode Small signal transistor Small signal transistor Bipolar transistor Bipolar transistor Power transistor Power transistor Photo coupler Power MOSFET Power MOSFET SMD MOSFET SMD MOSFET Regurator IC PWM,PFC,TIMER IC OP AMP, Comparator IC Memory Logic IC Memory Logic IC ASIC,SPECIAL IC ASIC,SPECIAL IC 等級 2 IGBT Bridge diode 等級 3 SCR TRAIC LED

ESD 電子?件電壓承受範圍:1~1999Volts(伏特) DELTA P/N 台達?號 ESD 承受電壓範圍 201XXXXXXX >1KV ≒500V 202XXXXXXX ≒500V 204XXXXXXX 205XXXXXXX >1KV ≒500V 206XXXXXXX ≒300V 210XXXXXXX ≒300V 211XXXXXXX ≒200V 212XXXXXXX ≒200V 213XXXXXXX ≒200V 214XXXXXXX ≒200V 215XXXXXXX ≒100V 231XXXXXXX 240XXXXXXX 100V~200V 243XXXXXXX 100V~200V 244XXXXXXX 100V~500V 245XXXXXXX 100V~500V 250XXXXXXX 200V~1999V 251XXXXXXX 200V~1999V 252XXXXXXX 200V~1999V 260XXXXXXX 200V~1999V 261XXXXXXX 200V~1999V 262XXXXXXX 200V~1999V 263XXXXXXX 200V~1999V 電子?件電壓承受範圍 :2000~3999Volts(伏特) ESD 216XXXXXXX >3999V 200XXXXXXX >3999V ESD 電子?件電壓承受範圍:4000~15500Volts(伏特) 220XXXXXXX >5KV 221XXXXXXX >5KV 230XXXXXXX >5KV

防静电小常识 ? 静电是一种客观的自然现象,产生的方式很多,如接触、磨擦、冲流等等。
其产生的基本过程可归纳为:接触 → 电荷 → 转移 → 偶电层形成 → 电荷分 离。 设备或人体上的静电最高可达数万伏以至数十万伏,在正常操作条件下也常达 数百至数千伏。人体由于自身的动作及与其它物体的接触-分离、磨擦或感应等因 素,可以带上几千伏甚至上万伏的静电。静电是正、负电荷在局部范围内失去平 衡的结果。它是一种电能,留存在物体表现,具有高电位、低电量、小电流和作 用时间短的特点。 静电控制的主要措施有:静电的泄漏和耗散、静电中和、静电屏蔽与接地、增 湿等。 静电放电引起的元器件击穿损害是电子工业最普遍、最严重的静电危害,它分 硬击穿和软击穿。硬击穿是一次性造成元器件介质击穿、烧毁或永久性失效;软 击穿则是造成器件的性能劣化或参数指标下降。

防静电小常识
? 静电敏感元器件和印制电路板在生产过程中工序之间的传递和储放,必须使用防 静电上料箱、元件盒、周转箱、周转托盘等。以防止静电积累造成危害。 静电敏感元器件和印制电路板,作为成品进行包装时必须采用防静电屏蔽袋、包 装袋、包装盒、条、筐等,避免运输过程中的静电损害。 电子产品在生产过程中,其元器件、组件成品经常与设备工具等发生接触、分 离,磨擦而产生静电,必须使用防静电坐垫、周转小车、维修包、工具、工作椅 (凳)等,并通过适当的接地,使静电迅速泄放。 磨擦起电和人体静电是电子、微电子工业中的两大危害源,但产生静电并非危害 所在,危害在于静电积累及由此产生的静电电荷放电,因此必须予以控制。 带静电的物体,在其周围形成静电场,会产生力学效应,放电效应和静电感应效 应。

? 由于静电的力学效应,空气中的浮游的尘粒会吸附到硅片等电子元器件上,严重 影响电子产品的质量,因此,对净化工作空间必须采取防静电措施。

防静电小常识
? 净化室的墙壁、天花板和地板等都应采用防静电的不发尘材料,对操作人员及 工件、器具也应采取一系列的静电防护措施。 为了解生产过程静电起电情况,判别生产过程中静电的影响程度以及检验静电防 护用品、装备质量都需要测量静电及有关参数。 静电的测量,主要是对静电电压、材料电阻、接地电阻、静电关衰期、静电电 量、静电消除器消电性能、布料电荷面密度等的测量。 静电防护工作是一项系统工程,任何环节的疏漏或失误,都将导致静电防护工作 的失败,必须时时防范,人人防范。

LED’S MAKE THINGS BETTER
?观念改变,态度才会改变 ?态度改变,行动才会改变 ?行动改变,习惯才会改变 ?习惯改变,人格才会改变 ?人格改变,命运才会改变 ?命运改变,人生才会改变


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