当前位置:首页 >> 能源/化工 >>

PSD测小角度


PSD 测小角度

摘要
本文对 PSD 器件的基本原理以及二维 PSD 器件的原理方法和性能特点做了 介绍,同时对利用二维 PSD 器件用于二维小角度测量的实验结果也有较详细的 分析论述。 PSD 是一种能够连续监测光点位置的非分割型光电转换元件,目前常利 用 PSD 位置传感器测试振动信号。它是一种模拟器件,具有响应时间快,外围 电路简单,分辨率

高以及不受入射光束和焦点偏离的影响等特点。以测量石英 摆片的振动为例。石英摆片是加速度计的核心敏感元件,它广泛应用于航天、 航空、航海等各种飞行器舰船的惯性导航、遥控、遥测系统中,因此对石英加 速度计的性能提出了很高的要求,而石英摆片的各项参数,如几何尺寸、挠性 刚度、摆动频率与振幅、扭动频率与振幅等都将对加速度计的性能产生影响。 因此,实现对石英摆片各项参数的综合测试,是我们面临的新问题。基于 PSD 传感器的诸多优点,在了解其检测原理之后特设计一套检测系统以满足我们的 测量要求。 随着传感技术、激光技术、精密仪器技术、电子技术等飞速的发展,目 前国内外对倾斜角测量技术的要求越来越高,越来越要求功能齐、全实时在 线、高可靠性、高速、高精度等。倾斜角测量技术将在建筑工程、空间技术、 航空航天事业以及机械加工等方面有良好的应用前景。而 PSD 作为一种位置敏 感探测器,凭借其自身的高响应度、高分辨率、信号处理简单等特点,在位移 测量、三维运动测量、微小角度测量以及平行度测量中显示了广阔的应用前 景,在测距系统、传感系统、光通信、信号处理等众多尖端领域被广泛青睐。 本文所阐述的就是利用 PSD 对物体来进行二维小角度的测量。 自从1930年 Schottkey 发现了横向光电效应后,许多研究者对这种效应及 其应用潜力作了深入的探讨,其中要数 Wallmark 和 Lucovskey 的贡献突出。 Wallmark 利用内部载流子传输理论基本解释了横向光电效应。而系统的解释并 建立起横向光电效应方程的是 Lucovskey,他从电流连续性方程出发,导出了

1

著名的 Lucoveskey 方程,奠定了 PSD 的理论基础,后来,许多研究者对不同的 边界条件作了阐述和分析如圆形边界、矩形边界、枕形边界等。 随后 W.P.Connots 以及 Narust 等人对其作了进一步的研究,六十年代迅速 发展并逐渐成熟,七十年代发展了表面分割型和两面分割型器件,为了提高器 件的参数性能,八十年代发展了表面改进分割型器件,九十年代表面改进分割 型器件成为目前在测量领域主要应用的产品。 国外发展及研究情况:现如今美国、日本、英国等发达国家在 PSD 研究和 制造方面已具有相当高的水平,其产品性能日趋完善,关于横向光电效应有许 多文献。五十年代到八十年代主要是注重 PSD 特性研究及其从实验到产品开发 阶段。关于位置敏感器件的专利申请在日本基本上都还是在九十年代初。所以 在应用上不如 CCD 器件那样广泛被人们采用。根据我们所检测到的资料:日本 滨松是 PSD 器件和相应的信号处理电路齐全的一家公司。八十年代后主要从事 PSD 研究工作有 D.J.W.Noorlag 博士,Achyut Kumer Dutta 博士和 Yoshinori Halanaka 博士,A.kawasaki 和 M.Goto 等。 国内有关 PSD 的报道最早出现在七十年代,当时也只是一些有关 PSD 原理及 特性方面的报道,其大部分都是些译文、图、曲线参数都基本是介绍国外的。 PSD 器件及其应用方面的研究发展比较缓慢。有关光电检测技术,现代传感器 技术,新型传感器等专业著作中,大都是在93年后出版的才有所介绍给出日本 等国外产品性能。近年来国内 PSD 研究取得了一定的成果,国内已有自己的产 品应用于各项测试检测中。 像一般的光电二极管一样,当入射光通过玻璃窗口到达 PSD 芯片敏感 面时,在芯片的 PN 结内部,将会产生光电信号,如果有外电场作用,在器件的 外部引出端上就会有光电信号输出。作为 PSD 器件所具有的特征来讲,这种光 电信号与一般光电二极管的光电信号不同,它包含位置信息。因为在芯片 PN 结 的 P 层或 P 层和 N 层两面为均匀电阻层,这种电阻层与位置的关系十分密切, 当入射光入射到半导体芯片内部后,根据光生伏特效应,在 PN 结的两侧将产生 数量相同的正负电荷,正电荷通过 PN 结流向 P 层,负电荷通过 PN 结流向 N 层。 正电荷在 P 层中产生不均匀流动,分别到达两端输出电极,获得与电极距离成 反比的输出电流信息。二维 PSD 器件的工作原理与一维器件相同,在一维 PSD
2

器件两电极的垂直方向在设置一对电极,就是二维 PSD 器件。表面 P 型电阻层的 1、2和3、4两对电极提供 X 方向的位置信息,1、4和2、3两对电极提供 Y 方向的 位置信息,光生电流在表面电阻薄层位置向四面八方流动,被一对或两对电极 所收集,形成两个或四个电流分量,这些电流分量与总的光生电流有关,与光 点位置和光强也有关。为了怕消除光点位置与光强度的依赖关系,必须把电流 分量通过相应的运算放大电路来归一化,找出坐标位置与归一化电流的关系, 从而实现位置的测量,这就是光点位置传感器测量位置的基本原理。 二维 PSD 器件一般具有方形的敏感接收面,当光斑信号打在接收面上时, 四个电极 X1、X2、Y1、Y2将有不同的光电流输出,大小取决于光斑在接受面上 的具体位置。 二维 PSD 分为双面分离型和分离改进型等几种,下面将简单予以介绍: 双面分离型 PSD 在 X,Y 两个方向上感光层是独立的,一层感受 X 方向上光点 的位置变化,另一层则感受 Y 方向上光点的位置变化。 二维分离改进型的 PSD 对 X,Y 两个方向上的感光层在同一表面,只是在制造 器件的工艺过程中,对表层感光层性能,在双面分离型基础上进行了改进,具 有暗电流小,响应时间快,易于偏置应用,环境噪音低等特点。

关键词:位置敏感探测器(PSD)

小角度测量

1 设计方案简介
1.1 本设计采用二维 PSD 完成由光路到电路的转化,来进行物体小角度
倾斜的测量。 1.2 系统的大致光路图如图 1:

3

图 1 系统大致光路图

当物体不发生倾斜时,调整激光器以及二维 PSD 的位置还有光线的入 射角度,使得激光照到物体上,通过物体的反射,反射到二维 PSD 上,恰好照 到二维 PSD 上 x=0,y=0 的点,即反射光线与二维 PSD 垂直。此处透镜起到了聚 焦的作用,减小了实验误差。 当物体发生小角度倾斜时,激光器发出的光通过物体反射到 PSD 上的光点 坐标为 x ,y.根据光的反射定律,就可以得出物体倾斜角度与反射光点坐标 x,y 的关系。

倾斜角度θ 与 PSD 上光点坐标(x,y)的关系为:

θ =1/2arctan[(x?+y?)/(X?+Y?)]?

基于二维 PSD 的光点位置检测电路原理图,从而把光信号转换为电信 号。电路利用了加法器、减法器和除法器进行各分支电流的加、减和除的运 算,以便计算出光点在 PSD 中位置的坐标。 在 PSD 检测系统检测完 x,y 值后,我们在电路中加入 A/D 数据采集系统, 把 PSD 检测系统检测的 x,y 的位置信息送入计算机,在计算机的软件支持下完 成光点位置的检测工作。

2 设计条件及主要参数表
2.1 设计条件:
因为 PSD 受温度和光强的影响较大,所以,系统在常温和弱光的 条件下才 能更好的工作。

4

2.2 设计参数表:
θ L X Y x y X1 X2 Y1 Y2 物体偏移的角度 二维 PSD 的边长 激光器与 PSD 原点的距离一半 测量物点到激光器与 PSD 原点中心处的距离 光斑在 x 轴方向的距离 光斑在 y 轴方向的距离 PSD 在 x 轴正方向的电流 PSD 在 x 轴反方向的电流 PSD 在 y 轴正方向的电流 PSD 在 y 轴反方向的电流

3 设计主要参数计算及设计结果

3.1 电路原理图和光路原理图
电路原理图和光路原理图如下所示,图 2 为电路原理图,图 3 为光路原 理图.

5

图 2 电路原理图

6

图 3 光路原理图

4 工作原理和应用,仿真结果
4.1 光路部分
4.1.1 PSD 的光学测量原理 PSD 是基于横向光电效应的光电位置敏感器件。横向光电效应又称侧向光 生伏特效应或殿巴(Dember)效应。以一维 PSD 工作原理为例,半导体光照部 分吸收入射光子能量后产生电子空穴对,使该部分载流子浓度高于未被光照部 分,因而出现了载流子浓度梯度,形成载流子的扩散。由于电子迁移率比空穴 的大,因此电子首先向未被光照部分扩散,致使光照部分带正电,未被光照部 分带负电,两部分之间产生光生电动势的现象称为横(侧)向光生伏特效应。当 有光照射到 PSD 感光区,就会发生横向光电效应,在投射位置上就会产生电动 势。由于 P 层的阻抗是均匀分布的,这样在 P 层两电极上聚集的光电流入射 光位置和电极之间的距离成反比。假设光束入射到光敏面所产总的光电流为 I0,P 层两电极输出的光电流分别为 I1 和 I2,显然有 I0= I1+I2,I1 和 I2 的 分流大小关系取决于入射光点的位置到电极间的等效电阻。二维 PSD 同样的原 理检测,仅仅是多一个方向的测量,即二维 PSD。

图 4 一维 PSD 的工作原理

PSD 是一种能够连续检测光点位置的非分割型光电转换元件。
7

二维 PSD 的原理根据器件的不同,分为几种:二维 PSD 分为双面分离型 和分离改进型等几种 PSD 器件以光斑光斑的位置作为输入的模拟信号而输出地 半导体器件。可以获得与光斑强度、分布、对称性和尺寸无关的经确定位信 息。PSD 输出电流随光点位置不同而连续变化,具有体积小、灵敏度高、线性 范围大、噪声低、响应速度快、后续电路处理简单等优点。 二维 PSD 器件用来测定光点在平面上的二维(x,y)坐标。其结构如图 5 所 示,在 PIN 硅片的光敏面上设置两对电极,其位置分别为 x1,y1,x2,y2,其公 共常接电源 Vb,其等效电路图如图 6.

图 5 PSD 的结构示意图

8

图 6 等效电路图

4.1.2 光学计算 二维 PSD 器件的等效电路如图 6 所示,入射光点(如图 5 中黑点)位置的计 算公式为(以中心位置为参考点):

本次所设计系统的光路原理图如图 7 所示,激光器发出的入射光线入射到 未倾斜物体的表面,反射光线 1 经过透镜成像的作用照射到 PSD 表面中心位置 处,即 PSD 上 x=0,y=0 的点处,成为一个光斑;若物体倾斜角度θ ,保持入射 光线不变,则反射光线转动角度 2θ ,即为反射光线 2,同样经过透镜作用照射 到 PSD 上,形成一个光斑。 在系统中,设计使得激光器和 PSD 中心位置的连线为一条水平线,且反射 光线 1 与 PSD 表面保持垂直,根据光路原理图,设激光器和 PSD 中心位置两者之 间的距离为 2X,这条水平线到物体的距离为 Y,光斑照在 PSD 上,光斑重心到 PSD 中心的距离分解到两个方向上,一个方向上的距离为 x,另一个方向上的距 离为 y。 如图 7 所示,物体偏移的角度θ 与光斑二维位置(x,y)有如下关系式:

tan(2θ )=[(x?+y?)/(X?+Y?)]?



θ =1/2arctan[(x?+y?)/(X?+Y?)]?

9

图 7 光路原理图

根据泰勒展开式:

--------①

arctan(x) = x - (x^3)/3 + (x^5)/5 - (x^7)/7 +....

--------②

设 x?+y?=w,X?+Y?=A(常数) 根据②式及角度测量要求(倾斜范围 2°,角度分辨率 1’) 进行精度计算得,②式中取 n=2,精度满足 根据①式及角度测量要求(倾斜范围 2°,角度分辨率 1’) 进行精度计算得,①式中估取 n=3

10

4.2 电路部分
4.2.1 器件的二维 PSD 光点位置检测电路图如图 8 所示。 光电位置敏感器件 PSD 是一种对其感光面上入射光斑重心位置敏感的光电 器件。即当入射光斑落在器件感光面的不同位置时,PSD 将对应输出不同的电 信号。通过对此输出信号的处理,即可确定入射光斑在 PSD 的位置输出信号均 无关。PSD 的位置输出只与入射光的重心位置有关。由于 PSD 是分割型元件,对 光斑的形状无严格的要求,光敏面上无象限分隔线,所以对光斑位置可以进行 连续测量从而获得连续的坐标信号。

入射光点(如图 8 中的黑点)位置(x,y)的计算公式为:

x=[(X2+Y1)L—(X1+Y2)L]/(X1+X2+Y1+Y2) y=[(X2+Y2)L—(X1+Y1)L]/(X1+X2+Y1+Y2)

根据公式,可以设计二维 PSD 的光点位置检测电路。如图 8 所示为基于改进 后二维 PSD 的光点位置检测电路原理图。电路利用了加法器,减法器和除法器 进行各分支电流的加减和除的运算,以便计算出光点在 PSD 中的位置坐标。

图8

PSD 光点位置检测电路原理图

11

当 Ix1,Ix2,Iy1,Iy2 四个电流输出来时,要通过前置放大器,因为四个电 流的数值过小,,要通过放大器来进行放大电流数值,为后边的电路提供足够 强的电流,同时也可以防止干扰信号对坐标信号的干扰。当电流通过放大器放 大后,通过加法器和减法器进行电信号运算,为触除法器提供数值。电流通过 加减运算后,要通过除法器进行除法运算,从而得到 x,y 的位置电信号数值。 4.2.2 A/D 转换电路

A/D 转换器是用来通过一定的电路将模拟量转变为数字量。 模拟量可以是电压、电流等电信号,也可以是压力、温度、湿度、位移、声音 等非电信号。但在 A/D 转换前,输入到 A/D 转换器的输入信号必须经各种传感 器把各种物理量转换成电压信号。A/D 转换后,输出的数字信号可以有8位、10 位、12位和16位等。 一个取样-保持电路可保证模拟电路中取样时,取样时间的稳定并储存,通 常使用电容组件来储存电荷。 根据数字信号处理的基本原理,Nyquist 取样定理,若要能正确且忠实地呈 现所撷取的模拟信号,必须取样频率至少高于最大频率的2倍。例如,若是输入 一个100Hz 的正弦波的话,最小的取样频率至少要2倍,即是200Hz。虽说理论 值是如此,但真正在应用时,最好是接近10倍才会有不错的还原效果(因取样点 越多)。若针对多信道的 A/D 转换器来说,就必须乘上信道数,这样平均下去, 每一个通道才不会有失真的情况产生。 量化与编码 电路是 A/D 转换器的核心组成的部分,一般对取样值的量化方式有下列两 种: 只舍去不进位: 首先取一最小量化单位Δ =U/2n,U 是输入模拟电压的最大值,n 是输出 数字数值的位数。当输入模拟电压 U 在0~Δ 之间,则归入0Δ ,当 U 在Δ ~2Δ 之间, 则归入1Δ 。透过这样的量化方法产生的最大量化误差为Δ /2,而且量 化误差总是为正,为+1/2LSB。 有舍去有进位:

12

如果量化单位Δ =2U/(2 n+1–1),当输入电压 U 在0~Δ /2之间,归入0 Δ ,当 U 在Δ /2~3/2Δ 之间的话,就要归入1Δ 。这种量化方法产生的最大量化 误差为Δ /2,而且量化误差有正,有负,为±1/2LSB。 此 AD 转换器采用 ADC0809器件,其管脚图如图9所示。

图 9 ADC0809 管脚图

如图 10 所示,当 x,y 位置的电信号要对其处理运算,就要通过 AD 转换 器(ADC0809),把模拟信号转换成数字信号,使得转变成单片机可以区分识别 的电信号。其中,x,y 位置模拟电信号分别输入到 INT0 和 INT1 中,通过对 ADC0809 的 A,B,C 地址锁存端口的控制,依次对 x,y 模拟信号进行转换,当 ABC=000 时,x 模拟信号转换成数字信号,当 ABC=001 时,y 模拟信号转换成数 字信号,通过对 EOC 端,ALE 和 START 端的控制,实现与单片机的输入配合。

13

图 10

ADC0809 的模数转换原理图

4.2.3 系统电信号处理 87C51FA 和 87C51FB 的单芯片 8 位微控制器,先进的 CMOS 工艺制 造,是 80C51 微控制器家族的衍生物。具有相同的指令集作为 80C51 87C51FA/FB 。此设备提供架构的改进,使得它适用于一般的控制系统的各种 应用。的 87C51FA 包含 8K×8 内存,的 87C51FB 包含 16K×8 内存。它们都 含有挥发性 256×8 数据存储器读/写,4 个 8 位 I / O 端口,3 个 16 位定时/计数 器,一个可编程计数器阵列(PCA),多源,两个优先级嵌套中断结构,增强 UART 和片上振荡器和定时电路。对于系统需要额外的能力,87C51FA/FB 可 以扩大使用标准 TTL 兼容的记忆和逻辑。它的增值功能,使其为脉冲宽度调 制,高速 I / O 和向上/向下的应用,需要一个更强大的微控制器计数功能,如电 机控制。它也有一个更灵活的串行通道,有利于多处理器通信。80C51 单片机 属于 MCS-51 系列单片机,由 Intel 公司开发,其结构是 8048 的延伸,改进了 8048 的缺点,增加了如乘 (MUL)、除(DIV)、减(SUBB)、比较(CMP)、
14

16 位数据指针、布尔代数运算等指令,以及串行通信能力和 5 个中断源。采用 40 引脚双列直插式 DIP (Dual In Line Package) ,内有 128 个 RAM 单元及 4K 的 ROM。80C51 有两个 16 位定时计数器,两个外中断,两个定时计数中断, 及一个串行中断,并有 4 个 8 位并行输入口。80C51 内部有时钟电路,但需要 石英晶体和微调电容外接,本系统中采用 12MHz 的晶振频率。由于 80C51 的 系统性能满足系统数据采集及时间精度的要求,而且产品产量丰富来源广,应 用也很成熟,故采用来作为控制核心。

图 11

80C51 的管脚图

由于 80C51 单片机的普遍性,本次课程设计采用 80C51 作为电信号处理器 件,根据编程的简便性,从而通过数字运算实现电信号的运算。80C51 有着重 要作用,它把 x,y 的位置数字电信号通过运算转变成需要的电信号,输出传递 给 LED 数码管,从而实现数码管的显示。80C51 单片机是整个系统的灵魂。

15

4.2.4 系统显示模块 数码管内部的四个数码管共用 a~dp 这 8 根数据线,为人们的使用提供 了方便,因为里面有四个数码管,所以它有四个公共端,加上 a~dp,共有 12 个引脚,下面便是一个共阴的四位数码管的内部结构图(共阳的与之相反)。引 脚排列依然是从左下角的那个脚(1 脚)开始,以逆时针方向依次为 1~12 脚, 显示的数字与之一一对应。 数码管有共阴极和共阳极之分,区别它们的方法是若公共端接地,其 他端接电源,若各段测试能亮,说明是共阴的,反之共阳的;若公共端分别接 的,测的各端亮,则说明是共阳的,反之为共阴的。

图 12 四位数码管显示

如图 12 所示,数码管使用共阳极连接法,通过对单片机(80C51)进行编程 对电信号进行运算,通过驱动芯片 74HC273 与 74HC247 把电信号传递给数码管, 使得输出信号在四位数码管上得到显示,显示出角度值。其中,使单片机 (80C51)对其进行位控制和字控制,对数码管字控制,使得其中被控数码管现
16

实出所要显示的数字,对数码管进行位控制,使得控制那一个数码管工作。左 二数码管要始终显示小数点,用于区分度数和分数;并且使得左三数码管进制 为六进制,其他为十进制的进位规定。

5 系统流程图

5.1 系统流程图如图 13 所示

图 13 系统流程图

通过光路系统的测量与计算,根据几何光学的知识可知,物体倾 斜θ ,反射角度变化 2θ ,反射光线照射到 PSD 上,从而转化成 PSD 的位置坐 标的数值,根据 PSD 位置数值的变化,得到四个不同数值的电流,四电流的不 同数值即为位置坐标的电信号,即通过 PSD 实现光信号转换成电信号的过程, 对四个电流进行加,减,除运算,得到与光信号一一对应的两个电信号,再 通过 A/D 模数转换,把两个模拟电信号转换成两个数字电信号,从而信号可以 与单片机相互匹配,通过单片机(80C51)进行电信号运算,为了得到所需要 的一个电信号,把此电信号输出给 LED 数码管,通过 LED 数码管现实角度的显 示,需要注意的是分度的十位数值显示进制为 6 进制,区别与其他位(度,分 度个位)10 进制的规定。
17

6 收获体会
PSD 是一种新型半导体光电位置敏感探测器件,利用 PSD 作为光电接收器件的 自准直仪,实现对角度形变的测量。系统处理电路采用 C8051F005 单片机为核心 器件对传感器输出信号进行处理设计了相应的硬件系统和软件系统,完成调试, 为制作价格低廉、携带方便的角度测量系统提供了一种简便方法。但是实际设 计中需要考虑 光源的稳定性及背景光的干扰,以及电路噪声的影响,从而实 现了系统实时处理、动态显示,降低了 PSD 信号处理电路噪声干扰、简化了信号 处理电路,提高了测量准确度。 本系统将传统光学知识与电路知识较好的结合了起来,大大提高了动态实时 测量的测量范围和精度,这也是检测技术走向多学科理论和技术相融合的结果。 除了可以对平面角度进行检测外,本系统还可以应用在抛物面、圆曲面等的测量 中(需对光束进行变换和调整)。在以后的科研中,重点是提高系统的精度和对更 高频率的变化目标进行检测的能力,以获得更好的检测性能,应用到更多的领域 中。许多测试理论和方法只有通过实际验证才能加深理解并真正掌握。 实验就是 使学生加深理解所学基础知识, 掌握各类典型传感器、记录仪器的基本原理和适 用范围;具有测试系统的选择及应用能力;具有实验数据处理和误差分析能力; 得到基本实验技能的训练与分析能力的训练, 使学生初步掌握测试技术的基本方 法, 具有初步独立进行机械工程测试的能力,对各门知识得到融会贯通的认识和 掌握,加深对理论知识的理解。 测试技术实验课是本门课程的重要环节, 其目的是培养学生的分析和解决实际问 题的能力, 从而掌握机械工程测试技术手段,为将来从事技术工作和科学研究奠 定扎实的基础。 通过本门课程实验,以下能力得到了较大的提高: 1、 了解常用 PSD 的原理和应用,以及 PSD 使用的注意事项以及对电路的了解 和应用。 2、 培养具有综合应用相关知识来解决测试问题的基础理论; 3、 培养在实践中研究问题,分析问题和解决问题的能力; 我们必须坚持理论联系实际的思想,以实践证实理论,从实践中加深对理论 知识的理解和掌握。

18

7 参考文献
1 2 3 4 5 张以谟.应用光学.北京:电子工业出版社,2008 郝晓剑,李仰军.光电探测技术与应用.北京:国防工业出版社,2009 毕满清.模电电子技术基础.北京:电子工业出版社,2011 毕满清.数字电子技术基础.北京:电子工业出版社,2011 雷玉堂.光电检测技术.北京:中国计量出版社,2009

19


相关文章:
PSD测小角度
PSD测小角度_能源/化工_工程科技_专业资料。PSD相关资料PSD 测小角度 摘要本文对 PSD 器件的基本原理以及二维 PSD 器件的原理方法和性能特点做了 介绍,同时对利用...
小角法观测
1 引言 小角法是水平位移监测中常用的方法,通过测定基准线方向与观测点的视线方向之间的微小 角度从而计算观测点相对于基准线的偏离值,根据偏离值在各观测周期中的...
小角度法记录薄
南京千山工程科技有限责任公司 基坑监测水平位移测量(小角度法)记录手簿 基坑监测水平位移测量(小角度法) 水平位移测量工程名称: 年月日 测站: 天气: 第 通视:...
小角度法和极坐标法精度分析
分析了在 100m 内,小角度法和极坐标法的精度,并对其精度进行了对比分析,得 出在 1°以内,小角度法和极坐标法测量精度基本相等,其它条件 下,小角度测量精度...
小角法方案
小角法方案_数学_自然科学_专业资料。一、小角度测量原理 如下图所示,测站点经纬仪照准远处目标点形成视准线,测定观测点偏离视 小角度法观测示意图 准线的小角...
基于PSD的微小位移和角度的测量研究
盐城师范学院 毕业论文(设计)开题报告 题姓学专班学 目: 名: 院: 业: 级: 号: 基于 PSD 的微小位移和角度测量研究 ) 指导教师: 职称: 副教授 2013 ...
小角度法和极坐标法精度分析
分析了在 100m 内,小角度法和极坐标法 的精度,并对其精度进行了对比分析,得出在 1° 以内,小角度法和极坐标法测 量精度基本相等,其它条件下,小角度测量精度...
小角度法测基坑水平位移的不确定度分析
小角度法测基坑水平位移的不确定度分析_建筑/土木_工程科技_专业资料。基坑、水平位移、小角度法、误差、不确定度小角度法测基坑水平位移的不确定度分析 1、目的 ...
振动测试必须知道的27个基本常识
振动测试必须知道的 27 个基本常识 振动测试必须知道的常识 1、什么是振动 振动...通常用 PSD 表示,单位: g2/Hz。 加速度谱密度与功率谱密度的换算? 1 g2/...
激光干涉仪进行角度测量
角度测量的应用 1.1.2.1.小角度精密测量 激光干涉仪角度镜能实现± 10° 以内的角度精密测量。 图 4-小角度测量实例 1.1.2.2.准直平台/倾斜工作台的测量...
更多相关标签:
激光小角度测量仪 | 小角度测量 | 测量角度的小软件 | 小角度xrd测试条件 | 镜头角度大小测试图 | 回弹测试角度小于30度 | 二维小角度高精度测量 | 角度测量仪 |