当前位置:首页 >> 能源/化工 >>

前后清洗吹不干排查流程


前后清洗吹不干排查流程 前后清洗吹不干排查流程 排查
片子表面吹不干是影响清洗工序良率的重要原因。 而影响片子表面吹不干的因素主要有 以下几个方面:风刀的大小和角度、酸槽中 HF 的浓度、碱槽酸槽和水洗槽的喷淋好坏、外 围气压的大小、来料本身(包括硅片车间采用的清洗剂、片子表面的油污) 、制绒槽药液的 质量等。针对上述各种影响因素,可以按照下面的步骤进行分析处理。 1、

观察片子表面水珠的状况,如果仅仅有规则性地出现在固定的一道或者几道,则可基本 断定风刀出现问题,请设备人员帮助检查风刀。 2、 如果片子吹不干不是出现在固定的道并且没有规律,首先请设备人员帮助检查风刀的大 小和角度是否正常。同时查看一下机台上的外围气压表,看外围气压是否正常,如果有 异常则请设备人员调整或者通知外围。 3、 如果通过步骤 2 中的调整仍没有效果,则可以向酸槽中加入少量 HF(2—3 L) ,观察有 无效果,如果效果不明显,可再加适量 HF,累计总量控制在 5—10 L。 4、 如果通过以上步骤仍然吹不干,则可和其它同工序机台作对切实验,判断是否为来料问 题。如果对切实验判断为来料问题,则请 QC 对来料进行隔离并联系硅片部门。如果判 断为机器问题,则参见步骤 5。 5、 请设备人员帮助检查碱槽酸槽和水洗槽的喷淋以及滤芯是否出现问题,如果正常则察看 各槽药液剩余寿命以及是否停机过久导致药液挥发严重。如果药液剩余寿命很少,可提 前更换,同时把水洗槽也要进行更换。 6、 如果以上步骤还没有解决问题,则向 GP 厂家的工程师进行求助。

片子表面有水珠吹不干处理步骤流程图: 片子表面有水珠吹不干处理步骤流程图: 有水珠吹不干处理步骤流程图
表面有水吹不干 设备人员检查风刀,察看外围气压 向酸槽中添加少量 HF 对切确认是否为来料问题 设备检查各槽喷淋和滤芯,工艺检查药液质量 向 GP 厂家的工程师进行求助

各种吹不干的片子处理方法: 各种吹不干的片子处理方法: 吹不干的片子处理方法
1、 片子表面和边缘有严重水珠的片子要求全部进行返工处理,即使晾干后也不能下传,仍 然会在扩散造成不良。 2、 边缘有轻微水珠(直径小于 1mm)的片子可以在充分晾干后可以进行下传。 3、 表面(包括制绒面和非制绒面)除边缘外有轻微水珠的片子不允许下传,要进行返工处 理。 吹不干的片子具体返工方法详见作业指导书中的各工序不良片返工处理流程。 作业指导书中的各工序不良片返工处理流程 注:吹不干的片子具体返工方法详见作业指导书中的各工序不良片返工处理流程。


相关文章:
高压钻清洗流程
手工清洗流程 1页 1下载券 前后清洗吹不干排查流程 1页 免费喜欢...高压电钻清洗流程 钻头浸泡于 500mg/L 含氯消毒液中 30 分钟 (注意手柄处的...
被服清洗流程
前后清洗吹不干排查流程 1页 免费 冷态清洗流程 1页 1下载券被...被服、巾单等物品外送清洗工作流程步骤 一二三四五具体操作流程 回收:污物车...
二批数据清洗流程
前后清洗吹不干排查流程 1页 免费 冷态清洗流程 1页 1下载券喜欢...二批数据清洗流程 1、一次清洗:拨打原始数据中的电话号码,一次拨打顺利核实可直接...
座椅清洗流程
器械清洗流程 1页 免费 器械清洗流程 3页 1下载券 手工清洗流程 1页 1下载券 前后清洗吹不干排查流程 1页 免费 冷态清洗流程 1页 1下载券 供应室清洗流程 ...
干燥
21页 2财富值 前后清洗吹不干排查流程 1页 免费如要投诉违规内容,请到百度文库投诉中心;如要提出功能问题或意见建议,请点击此处进行反馈。 ...
龙井茶座
5页 免费 前后清洗吹不干排查流程 1页 免费如要投诉违规内容,请到百度文库投诉中心;如要提出功能问题或意见建议,请点击此处进行反馈。 ...
灌装机清洗流程标准化方案
供分厂日常清洗监控和质量事故排查参考, 避免因灌装机程序问题造成的零星或者批量微生物问题。 分厂 徐州分厂 问题描述 分厂更改侧封灌装机清洗程序,导致溢流管清洗不...
技术员考核内容大纲0720版
三、设备故障类 1, 清洗机叠片破片,风刀吹不干玻璃,玻璃清洗不干净。叠片...3, 涂胶机花轮,洗轮流程,滴胶不顺畅,下辊不运行,不出料。涂胶机花轮,检查...
清洗不良产生的原因分析及处理
调整不好 要么玻璃上的水吹不干有水印, 要么把...6 图8 上下风刀在前后左右应该对齐,如图 9 所示:...洗不良。 玻璃下板出现点状清洗不 检查干燥机内轴承...
PECVD一般异常处理
清洗间出来的片子吹不干; (2).石英舟不干净; ...要求员工进框前,轻敲石墨框检查一下; 13.沿进框...不会按自动程序运行了; (3).出料腔的气压达不到...
更多相关标签:
不干胶清洗剂 | 去不干胶清洗剂 | 如何清洗不干胶 | 不干胶清洗 | 不干胶用什么清洗 | 不干胶清洗剂配方 | 怎样清洗不干胶 | 不干胶清洗剂成分 |