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前后清洗吹不干排查流程


前后清洗吹不干排查流程 前后清洗吹不干排查流程 排查
片子表面吹不干是影响清洗工序良率的重要原因。 而影响片子表面吹不干的因素主要有 以下几个方面:风刀的大小和角度、酸槽中 HF 的浓度、碱槽酸槽和水洗槽的喷淋好坏、外 围气压的大小、来料本身(包括硅片车间采用的清洗剂、片子表面的油污) 、制绒槽药液的 质量等。针对上述各种影响因素,可以按照下面的步骤进行分析处理。 1、 观察片子表面水珠的状况,如果仅仅有规则性地出现在固定的一道或者几道,则可基本 断定风刀出现问题,请设备人员帮助检查风刀。 2、 如果片子吹不干不是出现在固定的道并且没有规律,首先请设备人员帮助检查风刀的大 小和角度是否正常。同时查看一下机台上的外围气压表,看外围气压是否正常,如果有 异常则请设备人员调整或者通知外围。 3、 如果通过步骤 2 中的调整仍没有效果,则可以向酸槽中加入少量 HF(2—3 L) ,观察有 无效果,如果效果不明显,可再加适量 HF,累计总量控制在 5—10 L。 4、 如果通过以上步骤仍然吹不干,则可和其它同工序机台作对切实验,判断是否为来料问 题。如果对切实验判断为来料问题,则请 QC 对来料进行隔离并联系硅片部门。如果判 断为机器问题,则参见步骤 5。 5、 请设备人员帮助检查碱槽酸槽和水洗槽的喷淋以及滤芯是否出现问题,如果正常则察看 各槽药液剩余寿命以及是否停机过久导致药液挥发严重。如果药液剩余寿命很少,可提 前更换,同时把水洗槽也要进行更换。 6、 如果以上步骤还没有解决问题,则向 GP 厂家的工程师进行求助。

片子表面有水珠吹不干处理步骤流程图: 片子表面有水珠吹不干处理步骤流程图: 有水珠吹不干处理步骤流程图
表面有水吹不干 设备人员检查风刀,察看外围气压 向酸槽中添加少量 HF 对切确认是否为来料问题 设备检查各槽喷淋和滤芯,工艺检查药液质量 向 GP 厂家的工程师进行求助

各种吹不干的片子处理方法: 各种吹不干的片子处理方法: 吹不干的片子处理方法
1、 片子表面和边缘有严重水珠的片子要求全部进行返工处理,即使晾干后也不能下传,仍 然会在扩散造成不良。 2、 边缘有轻微水珠(直径小于 1mm)的片子可以在充分晾干后可以进行下传。 3、 表面(包括制绒面和非制绒面)除边缘外有轻微水珠的片子不允许下传,要进行返工处 理。 吹不干的片子具体返工方法详见作业指导书中的各工序不良片返工处理流程。 作业指导书中的各工序不良片返工处理流程 注:吹不干的片子具体返工方法详见作业指导书中的各工序不良片返工处理流程。



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