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日立电镜真空系统分析与检修


日. 电 镜 真 空 系 统 分 析 与 检 修  - O. , 黄 效 东 ,丁  霞 ,季智 勇   ( 苏省 南通 市肿瘤 医院  医疗设备 科 ,江 苏南通 2 6 6 ) 江 2 3 1  [ 中图分类号]T 7 9 H 8  [ 文献标识码] B   [ 文章编 号]10 0 2~2 7 (0 1 2— 0 9— 2 3 6 2 1 )0 0 7 0   [ 摘

要 ] 文 章 分析 了 日立 H 0 60型 透射 电镜 真 空 系统 的 工作 流 程 ,并 就 遇 到 的 真 空 系统 问题 进 行 了仔 细  分 析 ,查 找 判 断 故 障 点 , 除故 障 。讨 论 了在 检 修 真 空 系统 故 障 时的 一般 思路 。 排   [ 关键词] 透射 电镜 ;真空 系统 ;故障检修  电子显微镜是非 常精 密的 电子仪器 , 在医学 中主  要应用于分子结构 的病 理分析 , 其放 大倍数 可以达到  10万倍 以上 ,其 中真空 系统 是 电子显 微镜结构 中非  0 常重要的组成部分 , 其性 能好坏直接影 响到 电子 显微  镜的优 劣。电子显微 镜 的真 空系统 一般是 由机 械泵 、   扩散泵 、真空管道 、阀门及检测系统组成 ,它用 以排  G V阀打开 ,抽真空 程序继 续进 行 ,直 至真空 度达 到  13P 时 ,C .  a V阀也打开 ,此 时 V 阀 、V 1 3阀 、V 5阀 、   V 7阀、V 9阀、C V阀全部 打开工作 ,上下真空 系统完  全连通 , 最终将获得高真空。当潘宁规 P E测得真空度  达到 Qc P  7a时,此 时 两 个 真 空 指 示 灯 C M R 和  r AE A HG   A IH V C点亮 ,表示高真空度 已经达到工作要求。   除镜筒 中的空气使镜筒达 到高真空状态。   1 流 程分 析  日立 H 0 6 0型透射 电子显 微 镜 采用 二 级抽 真 空  方案 : 械泵 和油扩 散泵 。一 个 好 的机械 真 空泵 理  机 论 上极 限真 空能 至 0 0   a以下 ,事实 上 也很 难 达  .6 P 到 ,当达 到这个 压力 以后 , 械 泵 的抽 速 就变 得 越  机 来 越低 ,为 了提 高抽 速 ,就 要使 用 油 扩 散泵 ,将 它  和机械 泵 串联使 用 ,以达 到更 高 的真 空度 。油 扩散  泵是利用 快速运 动 的油分 子 的动 能 , 一 定方 向带  在 走较 轻 的气体或 水蒸 气分 子 , 样 就把 残 留 的一些  这 气体 分子 从真 空 系统 中移 走 。   日立 H 0 6 0型透 射 电子 显微 镜 真 空 系统 分 为上  真空 和下 真空两 个部 分 ( 图 1 如 所示 )  。 当电源接通后 ,下真空部 分 v 2阀打开 ,机 械泵  R1 P 开始 给照 相室 C ME A部分 预抽 真空 ,当皮 拉  A R 尼 P1 量 到真空 度 达到 2  a时 ,V I测 0P 2阀关 闭 ,V   3 阀打开 ,机械泵 R 1 P 给油扩散泵 D 1 P 预抽 ,当真空度  达到 1P ,扩散泵 内油 温达 到 8 c 时 ,延迟 1   1 3a 5I = 5SV   阀打开 ,抽 真空程序继 续进行 ;上真 空部分先是 V 0 1  阀工作 ,紧接着 V 6阀也 打开工作 ,机械泵 R 2分别  P 对柱体 C L M O U N和枪 体 G N抽真 空 ,当

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