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电子厂有机废气处理技术


龙源期刊网 http://www.qikan.com.cn 电子厂有机废气处理技术 作者:胡莹海 朱彩琴 来源:《城市建设理论研究》2013 年第 09 期 摘要:在电子行业中造成环境污染的有机废气产生于芯片或线路板生产的清洗、均胶、去 胶、刻蚀、显影等过程中。这些有机废气对人体的危害极为严重,所以必须进行处理后才能排 放到大气当中。 关键词:电子;废气;污染; 中图分类号:

[U491.9+2]文献标识码: A 文章编号: 随着我国经济的发展,电子技术的应用越来越广泛,大量有机废气的产生,给环境造成严 重的危害,对于废气的处理问题也日益严重。本文主要对当前在有机废气处理中常用的几种方 法进行分析,希望能促进废气处理技术的发展。 1 常用废气处理技术介绍 目前在电子行业经常使用的有机废气处理技术包括液体吸收法、活性碳吸附法、高温焚化 法、触煤焚化法、以及生物分解法。 1. 1 液体吸收法 吸收法是通过吸收剂与气体接触,将气体中的有害分子转移到吸收剂中而产生分离效果。 然后再通过解吸的方法,将有害分子除去或回收,使吸收剂再生,重复使用。吸收方法可分为 物理和化学两种。物理方法是通过物质相溶原理,一般情况下用水作为吸收剂,可以将有机气 体中可溶于水的有害气体成功去除,但对于不易溶于水的“三苯”物质不可采用这种方法。化学 法是通过化学反应就有机废气中的有害气体进行去除的。 1. 2 活性碳吸附法 相对于液体吸收法中气、液态转换形式,活性碳吸附法是将气态中之分子吸着并集中于固 体表面,因而将气态有机分子转为固态形式。由于活性碳的种类及来源不同,所以其本身特性 也不相同(如极性、表面积、亲水性等),因此吸附机制及理论也有相常差异。 1.3 生物处理法 有机废气生物处理过程实质上是利用微生物的生命活动将废气中的有害物质转变成简单的 无机物(如 CO2 和 H2O)及细胞物质等进行生化法处理有机废气。 龙源期刊网 http://www.qikan.com.cn 生化法处理有机废气一般要经历 3 个步骤:1)废气中的有机污染物首先同水接触并溶解于 水中(即由气膜扩散进入液膜);2)溶解于液膜中的有机物成分在浓度差的推动下进一步扩散到 生物膜,进而被其中的微生物捕获并吸收;3)进入微生物体内的有机污染物在其自身的代谢过 程中被作为能源和营养物质被分解,经生物化学反应最终转化成为无害的化合物。 1.4 冷凝回收法 冷凝法是利用物质在不同温度下具有不同饱和蒸汽压这一特质,从而采用降低系统温度或 提高系统压力,使处于蒸汽状态的那些污染物冷凝并且从废气中分离出来。利用冷凝法可使废 气得到较高程度的净化,但操作要求也很高,一般室温下的冷却水无法完成,需要降低冷却水 的温度,从而增加了费用和处理的难度。此方法适用于风量小、温度低、有机废气浓度高的情 况。 1.5 高温及触媒燃烧法 燃烧法是通过由高于有机物燃点的温度使其进行强烈氧化反应,通常可区分为直接燃烧、 触媒燃烧两种方法。直接燃烧需在 650-850℃ 的高温反应器中进行反应。沸石浓缩转轮焚烧法 是目前被集成电路企业所广泛采用的有机气体处理方法。有机废气进入沸石转轮,通过沸石吸 附了废气中大部分有机成分,形成较干净的空气,一部分较干净的气体排放至大气中,而另一 部分气体则进入再生区,经再生区后的废气则含有高浓度的有机成分,这样可降低后续处理程 序的操作成本。利用沸石浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩成小风量高浓度,再以直燃式 (燃气式)焚化的方式,将有机成分转化为无害的 CO2 和水,以达到去除有机物的目的。沸石转

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