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气体配管选料说明


气体配管选料说明
一. 材料区分:! E: p$ e) u4 y/ m. X& {2 v0 P4 Z 1. TUBE & PIPE(管件)" G8 p3 i: k# M7 v2 O+ C$ n 2. FITTINGS(配件) 3. VALVE(阀件) 4. REGULATOR(调压阀)$ Y; a# P* m- Y3 H, _ 5. CHECK

VALVE(逆止阀) 6. FILTER(过滤器) 7. VACUUM GENERATOR(真空产生器)+ C3 d. s) G8 A, c, h+ L( } 8. 其它.
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二. 选料依据:) E" z3 n8 z1 `, r$ J: \6 i 1. 依据使用气体种类及业主需求选定材料等级.(如 316L BA/316L EP/316L VIM-VAR/C-22) 2. 依据现场需求选定阀件尺寸.(1/4”;1/2”;3/4”……) 3. 依据压力不同选择料件型式.(一般主要区分高压及低压,GAUGE 可另外选择其正负压力值, 另流量亦需考虑是否足够) 4. 视盘面组装选择阀件接头型式.(MALE/FEMALE 或 VCR/SWG) 5. 有相同等级之材料符合上述条件时,应配合业务人员选择价格较合理者.& h: d5 B% ^9 S5 P( J/ I8
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三. 说明: 1. TUBE & PIPE 选取:: Z( G8 u: R/ {0 j+ ~* I 习惯上 3/4”以下的管称为 TUBE, 1”以上称为 PIPE(请参阅附表).其选取分为管径/材料及表面 处理程度. 材料主要区分为 SUS 304/SUS 304L 及 SUS 316/SUS 316L,其差异在于 SUS 316 增加钼(Mo)金属, 改善其机械性质, L 则表示材料降低含碳(C)量,增加含镍(Ni)量.' R' i3 @: a0 T/ u7 H- M# E8 L W 表面处理等级常用可分两种, BA (Bright Anneal)是经过表面研磨处理其 Rmax≦4.5μm, EP (Electro Polish)除了表面研磨外,再加以电解研磨其 Rmax≦0.7μm.另外管材(含 FITTING)又因原 始制程不同而区分为 VOD/VIM-VAR,其中 V+V 为真空二重溶解超清净钢(美国航天工业发展之

技术),其组织较为优良.

气体配管选料说明
一. 材料区分:! E: p$ e) u4 y/ m. X& {2 v0 P4 Z 1. TUBE & PIPE(管件)" G8 p3 i: k# M7 v2 O+ C$ n 2. FITTINGS(配件) 3. VALVE(阀件) 4. REGULATOR(调压阀)$ Y; a# P* m- Y3 H, _ 5. CHECK VALVE(逆止阀) 6. FILTER(过滤器) 7. VACUUM GENERATOR(真空产生器)+ C3 d. s) G8 A, c, h+ L( } 8. 其它. 二. 选料依据:) E" z3 n8 z1 `, r$ J: \6 i 1. 依据使用气体种类及业主需求选定材料等级.(如 316L BA/316L EP/316L VIM-VAR/C-22) 2. 依据现场需求选定阀件尺寸.(1/4”;1/2”;3/4”……) 3. 依据压力不同选择料件型式.(一般主要区分高压及低压,GAUGE 可另外选择其正负压力值, 另流量亦需考虑是否足够) 4. 视盘面组装选择阀件接头型式.(MALE/FEMALE 或 VCR/SWG) 5. 有相同等级之材料符合上述条件时,应配合业务人员选择价格较合理者.& h: d5 B% ^9 S5 P( J/ I8
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三. 说明:

1. TUBE & PIPE 选取:: Z( G8 u: R/ {0 j+ ~* I 习惯上 3/4”以下的管称为 TUBE, 1”以上称为 PIPE(请参阅附表).其选取分为管径/材料及表面 处理程度. 材料主要区分为 SUS 304/SUS 304L 及 SUS 316/SUS 316L,其差异在于 SUS 316 增加钼(Mo)金属, 改善其机械性质, L 则表示材料降低含碳(C)量,增加含镍(Ni)量.' 表面处理等级常用可分两种, BA (Bright Anneal)是经过表面研磨处理其 Rmax≦4.5μm, EP (Electro Polish)除了表面研磨外,再加以电解研磨其 Rmax≦0.7μm.另外管材(含 FITTING)又因原 始制程不同而区分为 VOD/VIM-VAR,其中 V+V 为真空二重溶解超清净钢(美国航天工业发展之 技术),其组织较为优良. 2. FITTIN 选取: FITTING 主要可区分为 TEE/ELBOW/GLAND/NUT/CAP/REDUCER…6 |( J. l/ T3 i s2 P' D% i. y

其选取以 BENKAN 型录作示范:$ q F* E; [4 d9 d6 i Product Name Size Size for other side Type Specification Material SCM 4 0 E EP LE SCM: 表示 BANKEN 公司对 FITTING 的分类,是属于短接头 MICRO 型式,另有 3 [0 A0 s3 o& [: f/ {/ ]9 d8 SCL 是长接头型示及 SCF 是较大尺寸(3/4”以上)之 FITTING. 4: 表示尺寸为 1/4”. 0: 表示另一端尺寸同前,为 1/4”. E: 表示此料件型式为 ELBOW(T: Tee, R: Reducer…).' ?. z% L$ i7 V" v9 J& f5 l% ] EP: 表示料件表面处理等级为 EP. LE: 表示此料件为 VIM+VAR 等级之 EP.8 H0 p1 \$ D0 ~3 c/ R% A; ^& U 另外 FITTING 又可分为三种不同规格,分别为一般 Type; VCR Type 及 SWG Type,一般型即为平 时所见之焊接型式,VCR 型为对接型式,可直接以 GLAND+NUT 锁上(Gland 端仍需焊接), SWG 型 类似 VCR 型,唯其以 SWG 接头锁上,不需焊接. 一般组盘所用接头有两种,分别为 VCR 及 SWG,其中 VCR 需锁 1/8 圈,SWG 需锁 1 1/4 圈,方能 有效锁紧.+ A* b' U1 G; _: B x1 D! l (*. 一般气体使用之 GASKET 为 Ni 材质,CO 对 Ni 具侵蚀性,故 CO 所用之 GASKET 必须为 SUS 系列材质.) (*. VCR 接头一年之泄漏量约为一立方公分)6 R+ W/ i8 y& }' `
- p$ y- n* Q) e! r. g0 F4 V5 S2 |: q; k

3. VALVE 选取:1 Q- i) m+ ~, P" f$ n5 A1 r VALVE 一般分为 BALL-VALVE(球阀)/BELLOWS-VALVE(风箱阀) & DIAPHRAGM-VALVE(膜片阀),另 外又因作动方式区分为 MANUAL-VALVE & AIR-VALVE.0 e0 I+ K5 }: T) f 其选取以 BENKAN 型录作示范: Model Operating system Pressure rating Connection size Other special specifications Valve size Type of valve Connection type Material of sheet6 ]5 W/ B0 C$ S9 Z2 F, O% b IIID 4 M S H - V □ C - □□; u0 q' a) n; j9 @" {! h IIID: 表示此为 BANKEN Moder 35 之 Diaphragn Valve.: N- m) X% s4 _ D; D8 O 4: 表示尺寸为 1/4”. M: 表示其操作方式为手动旋转 1800 控制开关(C 表气动阀).0 W# I; n7 H" e% K+ _ S: 表示此阀出入端成一直线,没有分岔及角度.

H: 表示为高压(压力超过 10kg/cm2)用阀(没标 H 即为低压阀).' t) C+ [# z- g; F! z% B V: 表示两端接头为 VCR Male(VF: Female).& i" G; e6 }: E# t) U) V7 [ C: 表示膜片座的材质为 PCTFE(铁氟龙).& S! L7 }7 O# u7 @; z! ^ 4. REGULATOR 选取:/ B) M5 r" z4 ?/ d9 J% b- { REGULATOR 之用途为调整出口端之压力值,一般分高压与低压选取,但尚有高流量型式可供选 取,另外可依表头 (Gauge)需求加以搭配成单表或双表.目前大部份之调压阀其材质均为 EP 以 上.! W" y W2 D8 f) B 其选取以 TESCOM 型录作示范:, H% j# G8 M7 s8 \! U" i 74 – 24 6 2 – K A 4 1 0 74-24: 表示此调压阀之等级 6: 表示本体材质为 316L VIM+VAR.- n7 y+ Y, p b" F 2: 表示出口端压力范围为 1-100 PSIG(1-6.9 bar) K: 表示顶针座的材质为 PCTFE,耐热范围是-400C-+930C+ @ L% h; U% L# u' j, m" S8 Q& X A: 表示进出口端之尺寸型式,在此指高洁净度之 VCR Male 接头. 4: 表示入口与出口端之尺寸及型式(可由此求得阀件两端之距离).7 j* _; g( G" ^2 c 1: 表示入口端之最大容许压力,在此为 3500psi.+ [6 N |2 y4 S, b) j 0: 表示表头配置及接头型式,此处为无表头.3 R4 w- i* X3 E0 ]: w/ O

5. CHECK VALVE 选取: CHECK VALVE 为逆止阀,其功用为防止气体回流,选取主要依据其尺寸及两端接头型式决定 (若是泄压阀则须考虑其泄压之 Range).3 H1 A' k8 M( l" ] 其选取以 NUPRO 型录做说明:4 Q9 D2 _; y+ v7 k3 A! a+ q 6 L - C W 4 V R 4, L7 U/ Q) y) q5 G 6L: 表示材料为 SUS 316L. CW: ALL WELDED CHECK VALVE 即为 NUPRO 对 CHECK VALVE 之代码.- e+ |1 k6 P' W9 }7 Y c 4: 表示 CHECK VALVE 之尺寸为 1/4”. VR4: 表示接头为 1/4” VCR Male.1 _: o: [* C1 S5 h% O( D (* NH3 必需使用特殊之 CHECK VALVE,否则会造成其内部结晶堵塞,代替之型式为一般型号后 加 AF,表示其内部材质为 AFLAS.)# Y$ x8 {* v5 [+ _8 e; R+ ? 6. FILTER 选取:( p" i E/ J+ x8 O$ t

FILTER 之功能是过滤气体中之 Particle(与 Purifier 之纯化气体功能不同),选取要注意其操作压 力/接头型式/材质/过滤等级及流量大小,压力一般区分高压及低压,接头分 VCR/SWG/WELD, 材质主要有 SUS/NI 及 PTFE,过滤等级可选择 0.01um/ 0.03um/ 0.003um 等,流量则有一般流量 及大流量之区别.8 I5 L( P {! v( z$ N 其选取以 MILLIPORE 型录做说明: WG 2 F T1 RR 2 WG: 为 MILLIPORE Wafergard III Gas Filter 之代称.' T2 T5 K* Q# N2 }- i/ u 2: 代表是 MILLIPORE 第二代之产品./ n& E1 D1 W% H* L F: 表示其材质为 PTFE 铁氟龙(N: NI, M: SUS-316L). T1: 据其业务表示没特别意义.5 j6 ]: B! R& }8 a) h9 b& z, { RR: 表示进出口端之接头型式为 VCR Male(S: SWG, J: WELD). 2: 表示其尺寸是 1/4”.) U6 ^( a/ W, n
- C% R* _' g& _& i# H2 v

7. VACUUM GENERATOR 选取:$ r& S: A _5 f0 }4 v VACUUM GENERATOR 主要用于 VMB 或 G/C 上作为 Vent 抽气使用,一般说来使用场合不多,其 厂牌亦较少,选取主要依据接头型式及尺寸作选择,8 _; l0 F4 a3 g. l I* _ 其选取以 APTECH 型录做说明:5 {) i$ a: b [/ g: }+ Q Material Ports N2 Inlet Vent Vacuum" |6 F2 g5 o3 Q0 l% ^# T a( b4 ] Setrise AP7 S 3PW FV4 FV4FV4 AP7: 表示为 APTECH 之 VACUUM GENERATOR.4 O* f7 I& U- ]0 `, ~ S: 表示材质为 Stainless Steel 316L. 3PW: 表示有三个 Ports./ ]' `& ^: a0 [' M& Y FV4(1): 表示 N2 Inlet 端之接头型式,为 1/4” VCR Male.! P0 E- C7 V& ~ FV4(2): 表示 Vent 端之接头型式,为 1/4” VCR Male.1 T" o# E3 T/ u FV4(3): 表示 Vacuum 端之接头型式,为 1/4” VCR Male. (*. 其抽气压力约为 40~60 Tor 约为 4~8psi) 8. 其它材料: 除以上介绍之材料外,气体配管上还有许多其它较少使用之料件(如 Transducer/ Scale/ Cylinder Connector……),若有兴趣,可径向设计部查阅型录等相关信息,或于工作上有机会接触 时,再向资深人员请教即可.3 M; m8 O% n, s. O) ^- G

四. 附件:/ c! o6 E3 p9 N& n1 i ]. d( P 以下提供常用阀件供应厂商之联络电话,以备型录数据不全时可供电话查询: 1. Millipore 美商密里博李文男/罗时钦 TEL: 03-571-0178#616#637 2. APTECH 盛郁实业倪秀枝 TEL: 03-528-4235 3. BENKAN 和淞企业立石浩士 TEL: 03-579-7618/03-564-5580 4. JPC 和淞企业立石浩士 TEL: 03-579-7618/03-564-5580 5. CROWN 和淞企业立石浩士 TEL: 03-579-7618/03-564-5580* s! U* d- S0 r4 a T2 e* R 6. SWAGELOK 杰仕发企业王瑞恭 TEL: 02-2999-2577/0935-875-806 7. TESCON 台湾管件蔡东益 TEL: 03-524-0178 8. OHNO 彰京开发洪海堂/李博文 TEL: 03-526-9369% f! R; y$ I( Z! H 9. SMC 宁英机械张绍赐 TEL: 03-543-0607' O" W+ ?1 i2 z) ] 10. PARKER 博克联合陈进祥 TEL: 03-562-5051 11. FUJIKIN 富临科技林福峰 TEL: 03-573-9601/0933-877-445
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附表一. 配管用不锈钢管尺寸对应表: V3 f. ^+ v5 m5 G- e 附表二. 制管流程及化学成份表$ z. ]3 H4 K- | c5 ~6 y. {7 ` 附件三. 常用阀件示意图


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