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浅谈多晶硅装置中安全阀泄放量的计算及设置


第 2期  浅谈 多晶硅 装 置 中安 全 阀泄放 量 的计 算及 设 置  3  7 工 艺 与 设 备  1   t  t  t  t  t t   浅谈 多晶硅 装 置 中安 全 阀泄放 量 的计 算及 设 置  陈 予  ( 中国成 达 工程有 限公 司, 都 ,10 1  成 60 4 ) 摘  要  通过对多晶硅装置中解 吸塔的安全阀计算实例, 对外部

火灾 、 换热器爆管、 塔进料故障等工况  的计算和分析 , 提出对塔 、 塔顶冷凝器 、 塔底再沸器和水冷却器整个系统的安全阀设置的计算方法  和思路 。如果再沸器低压侧是蒸汽 , 建议设计爆管工况的爆破片。   关键词 : 多晶硅 安 全 阀  泄放 量 计算 再沸器 爆 管  硅 材料 是半 导体 工业 中最 重要 且应 用广 泛 的元  素 半导 体 材料 , 我 国研 究 和 生 产 已有 五 十 多年 的  在 历 史 。 随着近几 年 来 光 伏 产 业 的发 展 , 多 晶硅 为  以 基 础材 料 的太 阳 能 电池 的应 用 , 晶硅 生 产厂 从 数  多 1 工 艺 流 程 简 述  经过吸收塔吸收的富含 H I的富液靠压差进  C  入解吸塔中部 , 通过解吸塔在塔顶馏出液体氯化氢 ,   塔釜的贫液由釜底泵再打人吸收塔。其 中解 吸塔操  作压力 0 9 .MP g解吸塔再沸器( 10mmX . ~1O a ,  ̄ 30   60mm 由外供 蒸 汽减 压 到 0 8 a 40 ) .MP g后 提供 热  源, 塔顶冷凝器 ( SO 1Om q O /4 O m×60 m 由氟利  b 50 m) 昂为冷 剂 , 冷 却 器 用 0 4 a 环 水 冷 却 , 备  水 .MP g循 设 布置在 钢结 构框 架 内 。如 图 1  。 P V 1 置在解 吸塔 中部 , S -设 对解 吸塔 、 顶冷凝   塔 量和规模上都得以迅猛的发展。多晶硅生产过程 中   主要物料具有 易燃 易爆或者有毒有 害和腐蚀等特  性, 随着装置的大型化 , 生产过程的连续化 , 使整个  生产过程对各类设备特别是关键设备的可靠性要求  很高 。因此科 学 的 预 防措 施 , 源头 上 控 制 住 各类  从 原因造成的设备超压, 采取适 当的安全措施来保护  设备 显 得尤 为重 要 。   在 多 晶硅 生 产 中工艺 介 质 氯 硅烷 , 主要 是 二氯  器管程 、 塔顶 回流罐 、 再沸器管程和水冷却器起保护  作用 。P V 2 S - 是保护再沸器壳程 , S - 保 护水冷  PV3 却器 壳 程 。解 吸 塔 塔 釜 q 50 b 0 mm, 座 和 基 础 高  2 裙 二氢硅 、 三氯氢硅 和四氯化硅等, 遇水反应生成氯化  氢、 氢气 和 二 氧 化 硅 , 成 的盐 酸有 会 继 续 腐 蚀 设  生 备 , 而造 成更 大 的破坏 , 从 同时生成 的 二氧化 硅 又会  堵 塞设 备 和管道 等 。在 化 工工 艺 设 计 中 , 了防 止  为 超 压 , 泛 地采 用 安全 阀或 爆 破 片 等安 全 设 施 来 保  广 6 6 正常最高液位在切线上 24 左右 , 在从  . m, .m 且 地面起 75 . 米高度 内无塔 盘等 内件 , 冷凝器和 回流  罐的位置布置得较高 , 对塔 的火灾工况计算可 以不  考虑。再沸器 和水冷却 器在地面 以上 75米高度  . 内。   护设备及其相关系统。在

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