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PECVD


PECVD 培训稿
大家好,欢迎大家来参加鸿禧光伏公司的培训学习,首先自我介绍一 下,我是生产部副主管吴唐云。 前面大家已经了解整个太阳能电池片的生产流程的前几道工序, 接下 来我们所要学习的是 PECVD 岗位的知识,为什么叫 PECVD?它是 Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 的缩写。中文意思是等离子增强


化学气象沉积。是德国 Centrotherm 公司制造的,专业生产太阳能电池设 备,可提供全套太阳能电池生产设备及技术,其高产能环保型扩散炉、管 式 PECVD、烘干/烧结炉、清洗腐蚀制绒设备以及周边 PN 结刻蚀设备等 代表了当今世界的最高水平,占领了国际上主要的高端生产线市场,近两 年始终处于满负荷生产状态。 我们所用到的设备就是管式 PECVD, 和日 , 本公司生产的平板 PECVD 来相比,管式 PECVD 的价格要高,产能高, 操作技术性较好。 接下来,我们主要以五个方面来进行学习该岗位的知识, 1、PECD 岗位认识 2、PECVD 的原理及设备结构 3、PECVD 基本操作 4、PECVD 岗位职责 5、PECVD 特气安全。 1-a.PECVD 的全称(刚才前面已经说了,重复一遍,每一个英语 单词和中文名一一对应的。 ) 1-b.镀膜的作用(在电池片表面沉积深蓝色减反膜——氮化硅膜, 其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能,同时还具有良好的阻挡钠离子, 掩蔽金属离子和水蒸气扩散的能力,它的化学稳定性也很好.除氢 氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外,其它酸与它基本不起作用.除氮化硅

膜外,二氧化硅,二氧化钛也可以作为减反膜。钝化膜的的主要 作用是保护半导体器件表面不受污染物质的影响,半导体表面钝 化可降低半导体表面态密度。在氮化硅膜减反射膜中存在大量的 H,在烧结过程中会钝化晶体内部悬挂键 ) 1-c .Si3N4 的作用(减少阳光的反射,加大对太阳光的吸收,抗氧 化。 ) 1-d.工作原理( Centrotherm PECVD 系统是一组利用镀膜舟和 高频等离子激发器的系列发生器在一定的条件下发生反应。 )石墨 是一种深灰色的有金属光泽而不透明的细鳞片状固体。石墨很软, 有滑腻感。石墨还具有优良的导电性能。 1-e.设备结构:上料区、炉体、特气柜、真空系统、控制系统 上料区(桨、LIFT、抽风系统、SLS 系统)这个桨不是划船的桨 而是运送石墨舟进出的一种工具。 炉体(石英管、加热系统、冷却系统) 特气柜(MFC、气动阀) 真空系统(真空泵、蝶阀)

真空系统 :是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、冷阱等,借
助于真空管道,按一定要求组合而成,并具有所需抽气功能的抽气装置。它的职能是 在指定的时间、空间内获得真空,保持真空,确保系统内某项工艺过程或物理过程的 实施

真空泵:机械式真空泵工作原理都是持续的抽取气体,使一定体积的气体被隔离 到泵里面的空间内,再排出去,这样容器里的气体会越来越稀薄,这样随着容器 内气体越来越少,泵的抽气效率也会越来越低,到最终各个密封部分(包括容器 和泵本身)的漏气速率和抽气速率一样,真空就不再提升。

蝶阀又叫翻板阀,是一种结构简单的调节阀

控制系统(Jobs 界面、System 系统、Catalog 目录、Setup 设置、 Alarms 报警、Help 帮助) 控制系统 是指由控制主体、 控制客体和控制媒体组成的具有自身目标和 功能的管理系统。 控制系统意味着通过它可以按照所希望的方式保持和改变机 器、机构或其他设备内任何感兴趣的量。 例如,假设有一个汽车的驱动系统,汽车的速度是其加速器位 置的函数。 通过控制加速器踏板的压力可以保持所希望的速度(或 可以达到所希望的速度变化)。这个汽车驱动系统(加速器、汽化 器和发动机车辆)便组成一个控制系统。

1-f.岗位所用气体:氨气、硅烷、四氟化碳、氮气、氧气。 一,装片房 本设备工作原理为:空气通过高效过滤后,阻尼层均压,使洁净的空 气气流垂直单向送入装片工作区, 从而保证了工作区内达到工艺要求 的洁净度,操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。 作用:能准确的石墨舟承载装片车定位,保证了工作区达到工艺要求 的洁净度。 二.石墨舟承载车 功能:1、能准确的把石墨舟从 PECVD 中取出来。2、能平稳的把石

墨舟在小车上旋转 180 度,倾斜翻转,确保简易方便的装硅片。3、 承载装片车能够与 PECVD 准确的定位。 主要特点:采用不锈钢和铝型材。采用可调试油压缓冲器,减少冲击, 定位平稳。 三.石墨舟冷却房: 本设备通过两个风机由带初效过滤器的吸风口吸入空气, 然后由两个 排风口吹向小车上的石墨舟,能迅速的使石墨舟冷却,清洁,环保。 功能:1、能准确的使石墨舟承载装片车定位。2、能平稳的把石墨舟 快速冷却。3、对空气进行过滤,保证清洁的空气进行冷却。


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