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目前国内单晶炉主要设备生产商简介


目前国内单晶炉主要设备生产商简介: 1)京运通 公司 国内规模最大的光伏及半导体精密设备制造商之一。主要产品 有:单晶硅生长炉、区熔炉、多晶硅还原炉、多晶硅铸锭炉、晶体提 拉炉和下降炉等光伏生产重要装备,以及硅锭、硅棒、硅片等光伏产 品。公司总部位于北京经济技术开发区经海四路 158 号,建筑面积达 3.8 万平方米的现代化大型装配厂房已于 2009 年初投入使用。 公司产 能得

到大幅度提升,已具备单晶炉月产 150 台,多晶硅铸锭炉 50 台 的产能。 原有张家湾开发区厂区在改造扩建的同时新购入各种大型及 精密加工设备已成为公司的设备加工基地, 为京运通的发展奠定了坚 实的基础。 地址:北京经济技术开发区经海四路 158 号 电话: 010-80803016 传真: 010-61568947 2)七星华创 炉分公司 从 1958 年至今,半个世纪以来,从第一台真空炉的设计开始, 七星电子工业炉就肩负着国家工业振兴的责任,从业五十多年以来, 我们凭借高品质的设备和值得信赖的服务已经先后为国内外企业提 供了近千台设备。 七星电子工业炉分公司现在有员工 220 多人,其中技术人员有 70 多人,占 30%多。目前我公司的设备已经在电真空、航空航天、 http://www.sevenstar.com.cn 邮箱: jyt@jytcorp.com 北京七星华创电子工业 http://www.jingyuntong.com 北京京运通科技股份有限

材料处理等多个行业处于市场领先地位。 目前产品分别是真空炉系列、氢气炉系列、隧道炉系列、电池材 料系列及太阳能电池系列,主要产品为:真空炉系列产品包括真空钎 焊炉、真空退火炉、真空烧结炉、真空气淬炉、真空脱羟炉;氢气炉 系列产品包括氢气烧结炉、氢气钎焊炉、氢气退火炉;隧道炉系列产 品包括气氛保护炉和空气炉等; 电池材料系列产品包括真空气氛烧结 炉;太阳能电池系列产品包括单晶炉和多晶硅铸锭炉系列产品。 地址:北京市朝阳区酒仙桥东路 1 号 信箱:北京 741 信箱 5 分箱 邮 编 : 100016 电 话 : (8610)-84572692 , 64348388 64361831 转 8561/8565/8258 传真:(8610)-64376543 单 / 多 晶 系 列 联 系 方 式 : 010-84572692 , 64348388 , 64361831-8561/8565/8258 张 E-mail: gyl@sevenstar.com.cn 3)京仪世纪 http://www.chinabyj.com

公司产品主要包括微电子材料晶体生长和晶体加工设备、 数控机 床、自动化暖通及执行器设备三大类,产品畅销全国大江南北以及世 界 31 个国家和地区。公司拥有国内最强大的技术开发团队、研发和 生产能力, 是目前国内生产和出口量最大的单晶硅炉专业设备制造商 与整体解决方案的提供商。多晶与单晶材料设备、多晶与单晶材料工 艺、多晶铸锭炉等研发室 24 个。

地址:北京市丰台区永外宋家庄苇子坑 2 号 电话:67626665-6301 传真:67613286 邮编:100079 电子材料与设备分公司(晶体生长设备系列产品) 销售电话: (010)67627286 技术支持: (010)67626665-6342 E-mail:byj@chinabyj.com 4 ) 河 北 晶 龙 阳 光 设 备 http://www.jinglong.net 注册资金 8800 万元,投资总额 1.5 亿元,职工 320 人,拥有各类 机加工设备、仪表共 350 余台套。主要生产单晶炉、单晶硅片、硅料 水爆机等十多种光伏相关产品,年产晶体生长设备(单晶炉)300 台 套。公司在河北宁晋晶龙集团第三工业园区内,位于 308 国道北侧, 距省会石家庄 60 公里,北临青银高速宁晋出口,交通便利 地址:中国?河北?宁晋新兴北路晶龙集团第三工业园 电话:86-319-5856796 5)西安理工晶科 +86-319-5856651 http://www.sun-semi.com

http://www.xacgt.com

西安理工晶体科技有限公司系西安市高新技术企业, 注册资金为 一亿元人民币。 公司为国内单晶炉及其它晶体生长设备研发与制造的 核心企业,是国内最具影响力的在该领域中专用设备制造商。公司自 1961 年研制成功我国第一台单晶炉以来,已定型生产 12 大系列、近 百种型号电子专用设备。它涉及半导体、光学及激光、化合物、氧化 物、氟化物等晶体材料以及多晶硅、合金材料、人工宝石等高科技领

域。产品国内市场占有率达 70%以上。累计生产各类晶体生长设备 3300 余台。 地址:陕西省西安市高新区锦业路 69 号 B 区 电话:029-68903900 传真:029-68903901

市场部电话:029-68903888. 68903890 传真:029-68903889 6)西安华德晶体设备 www.pvatepla.com.cn

地址:西安高新区锦业路 69 号创业研发园 B 区 电话:029-68903913-213 68903912 德国普发拓普公司北京代表处 (德国普发拓普公司是世界上材料处理 用高温真空炉和等离子体设备的最大制造商之一) 电话:010-65814049 /65814050 传真:010-65814079 网址:www.pvatepla.com.cn 邮件:sales@pvatepla.com.cn 地址:北京市朝阳区光华路 12 号格瑞大厦 406 室 7 ) 华 盛 天 龙

http://www.hstl.cn/newEbiz1/EbizPortalFG/portal/html/index.html 成立于 2001.12,注册资本 15000 万元,是一家专业光伏设备研 发生产企业。公司现拥有各类中高级科技人员 32 名,拥有各类专利 18 项,各类产品累计年生产能力达 1000 余台。生产能力及新产品研 发能力在全国同行中名列前茅,主要产品为多晶硅浇铸炉、单晶硅生 长炉、单晶硅切断机、单晶硅切方滚磨机及其他各类晶体生长设备。

其中部分产品市场占有率达到 80%。 地址:江苏常州金坛市经济开发区思母路 1 号 电话:+86-519-82334206, 82334208 8)中国电子科技集团公司第四十八研究所 http://www.cs48.com

1964 年 5 月 24 日,原国防科委第 14 研究院北京新工艺研究室 和公安部湖南实验工厂合并组建了长沙半导体工艺设备研究所, 即中 国电子科技集团公司第 48 研究所。48 所占地面积 224 亩,现有职工 1,000 多人,其中有突出贡献享受国务院政府特殊津贴的专家 29 人、 研究员级高级工程师 33 人、高级工程师 191 人。 湖南红太阳光电科技有限公司是注册于长沙国家高新技术产业 开发区的以新能源和新型储能材料研发、制造、销售与技术服务为主 的高新技术企业,是 48 所的全资子公司。公司占地 351.82 亩,总建 筑面积 227, 平方米。 400 红太阳光电科技有限公司现有科技人员 200 多人,其中研究员级高级工程师 16 人,高级工程师 54 人。红太阳光 电科技有限公司拥有完整的晶体硅太阳能光伏产业链、 新型储能材料 产业链和高档磁性材料生产能力。公司专业从事拉晶、铸锭、切片、 太阳能电池片制造、新型储能材料、高档磁性材料的研发和生产。 地址:湖南省长沙市天心区新开铺路 1025 号 410111 电话:0086-731-85401298 传真:0086-731-85401497 9)上海申和热磁电子有限公司 http://www.ferrotec.sh.cn/

上海申和热磁电子有限公司是由日本磁性流体技术株式会社投

资于上海宝山城市工业园区的全资公司。 上海申和热磁电子有限公司 下设太阳能硅片事业部、半导体硅片事业部、TE 和表面处理四个事 业部。生产产品包括能生产 8 英寸(含 8 英寸)以下各种规格的太阳能 级硅单晶和 125×125、 156×156 等规格的多晶硅锭及多晶硅片,4” -6” 半导体级单晶硅棒,4”-6”MOS 品电路使用和微波电路及存储器电 路使用的外延衬底重掺的半导体硅切片、磨片和硅抛光片,半导体热 电制冷材料, 覆铜陶瓷基板以及半导体设备零部件洗净再生的配套服 务。产品涉及电子、半导体、太阳能发电等产业领域。并受到国内外 客户的认可好评。 上海申和热磁电子有限公司太阳能硅片事业部可为客户提供太 阳能单晶桂棒及太阳能多晶硅片方面的产品技术咨询和产品选型。 地址:上海市宝山城市工业园区山连路 181 号(200444) 电话:(021)-36161010*1027 传真:(021)-36161780 地 址:上海市宝山城市工业园区山连路 181 号 电 话:86-021-36161010 传 真:86-021-36160443 邮 编:200444 Email:ferrotec@ferrotec.sh.cn 10)上虞晶盛 www.zjjingsheng.cn

公司现已开发出了拥有自主知识产权的 ZJS 系列 TDR80A、 TDR80B、TDR80C、TDR85A、TDR95A、TDR112A 等六种规格的

全自动单晶炉及 MCS450 多晶铸锭炉,其中的 TDR112A 型全自动单 晶炉可投料 260kg、可配置 CUSP 磁场、可拉制 12 英寸以上的半导 体级单晶, 填补了国内空白。 公司产品现已在有研硅股、 峨嵋半导体、 万向硅峰、上海合晶等尖端半导体企业和 LDK、英利、环太、特变 电工新疆新能源等高端太阳能企业中批量使用。 地址:浙江省上虞市经济开发区通江西路 218 号 电话: 0575-82001901、 82336050、 82333127; 0571-89900293、 87961725 传真:0575-82338128;0571-89900290 杭州慧翔电液技术开发有限公司 地址:浙江杭州市西湖区三墩镇西湖科技经济园西园五路 16 号 4B 三楼 邮编:310030 电 话 : 总 机 0571-89900291 传真 0571-89900290 E-mail:lygu@zju.edu.cn 0571-89900293/87961725/89900290 直 线

11 ) 晋 江 耐 特 克 ( 中 国 ) 太 阳 能 科 技 集 团 有 限 公 司 http://www.ntcsolar.com/ 耐特克公司总部设在福建井林工业区。下设,耐特克机械有限公 司和耐特克太阳能科技有限公司。 公司拥有面积 73000 平方米的总建 筑,职工 850 多人。公司采用先进的管理模式,形成规范化的企业管 理,产品全面通过 ISO9000 国际质量体系认证。 耐特克太阳能科技有限公司以生产单晶炉、多晶铸锭设备为主。

现已自主研发全自动单晶炉 NCZ-80、NCZ-95、NCZ-135 系列以及 NCZ450-D 多晶铸锭炉。 地址:福建晋江东石井林工业区耐特克大厦 电话:0595-85758772 传真:0595-85527355 E-mail:info@ntcsolar.com 12)宁夏晶阳自动化设备有限公司 宁夏晶阳自动化设备有限公司是宁夏日晶集团旗下的一家专业 制造太阳能光伏设备的企业,是经国家相关部门批准注册的企业。在 上海设有研发销售和采购中心, 生产基地位于中国宁夏石嘴山市大武 口区经济开发区欣盛路 18 号,占地 108 亩。 晶阳主营单晶炉、铸锭炉等产品,服务有(石墨热场配套、单晶 生产线设计、设备选型方案推荐、硅料拉晶工艺技术培训、单晶炉配 件、 纯水设备、 氩气以及单晶生产线耗材) 晶阳公司 06 年开始研发, 。 07 年开始销售,客户遍布全国各地。 成功客户案例: 洛阳单晶硅厂、 晶科能源集团、 高佳太阳能电力集团、 宁电集团、广宇集团、乐山电力集团等国内顶级光伏企业。 晶阳单晶炉 卢贤财先生 13062868802 QQ:723169341 电话:86 021 66317278 手机:13062868802 地址: 中国 宁夏 石嘴山市大武口区 上海市闸北区共和新路 3388 号

711 室 13 ) 常 州 江 南 电 力 设 备 集 团 有 限 公 司 www.jndlgroup.cn 联系电话:总 机:0519-85191333 单晶炉技术热线:0519-85133023 单晶炉销售热线:0519-85190220 地址:常州市新北区汉江西路 99 号 目前,我国市场上有各类硅单晶生 长设备 1500 余台,分布在 70 余家生产企业。 90%以上的设备用于太阳能硅单晶的生产,其中 有 1400 余台能够使用 16 英寸热系统投料 45 千克生长 6 英寸太阳能 硅单晶,1000 余台能够使 用 18 英寸热系统投料 60 千克生长 8 英寸 硅单晶的能力,只有 200 多台可 以使用 20 英寸热系统投料 80 千克 —90 千克比较经济地生长 8 英寸的太阳能硅单晶。
表 1 国内单晶炉主要生产厂家

www.jndlgroup.com

序号 1 2 3 4 5 6

公司名称 西安理工大学工厂 北京京运通真空设备公司 常州华盛天龙机械有限公司 北京京仪世纪科技有限公司 浙江大学机械厂 上海汉虹机械有限公司

主导产品型号 TDR-80 JRDL-800 DRXF-85 CZ-600 CG-6000 FT-CZ1860

适应热系统 18" 18" 18"~20" 18" 18" 18"

表 2 我国太阳能硅单晶设备分布(具备 6 英寸单晶生长能力,2008 年数据)

序号 1 2 3 4 5

公司名称 河北晶隆实业集团有限公司 廊坊松宫半导体有限公司 锦州佑华、华晶、阳光公司 常州亿晶光电、华日源科技公司 江阴市海润科技有限公司

设备量(台) 380 32 100 46 34

近期增加量 60 60 10 100 60

6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33

常州天合光能有限公司 江苏顺大半导体发展有限公司 镇江环太硅科技有限公司 常州美晶太阳能材料有限公司 无锡高佳太阳能有限公司 浙江昱辉阳江能源公司 浙江万向硅峰电子股份有限公司 宁波立立电子科技有限公司 上海合晶硅材料有限公司 有研硅谷 北京京运通真空设备公司 山东嘉样正大电子有限公司 山东济宁海晶电子科技有限公司 内蒙古晟纳吉光伏材料有限公司 四川峨眉半导体材料厂 新疆新能源 天津环欧半导体材料公司 西安矽美单晶硅有限公司 青海省新能源研究所 台州德盛 常州有则科技有限公司 南京中电电气 上海通用硅材料公司 上海地区各厂家 浙江开化地区各厂家 河南洛阳地区各厂家 西安地区各厂家 河北涿鹿硅材料基地

60 104 16 28 30 100 20 30 20 30 20 40 20 70 30 20 20 20 2 19 6 10 50 60 30 40 30

28+56

30 50

80 40

20 10

30 30

表 3 国内主流单晶炉大横评(2009 年 12 月 3 日)

序号 1 2 3 4 5 6 7 8

公司名称 西安理工大机械厂 北京七星华创电子股份公司 京运通真空设备厂 京仪世纪自动化设备 常州天龙 凯克斯浙大机电 华德晶体生长设备 上海汉虹精密机械

产品型号 TDR-80 HG6001 JRDL-70/80 MCZ-6000A 仿 TDR-80(85) CG3000 /6000 HDT-1000 FT-CZ0618S

拉晶重量 60KG 60KG /75KG 60KG 65KG 60KG 60KG 100KG 65KG

应用领域 solar solar solar solar solar IC solar solar


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