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维普资讯 http://www.cqvip.com 4  2 工程塑料应用  20 , 3 , 9 06年 第 4卷 第 期  仿 20m 无水 乙醇 1—   ; 艺条 件 为 : 盖 , 0  L、 2mL 工 加 常  温 条件 下溶蚀 直至 溶完 为止 。   3 空腔 铜靶 的物 理性 能    3 1 外观   .  所 得铜靶 毛坯 如 图 3所 示 ,

层 外 观 呈玫 瑰 红  镀 图 4 化 学 镀 层 与 电 镀 层 均 匀 性 比较  色, 表面光滑 , 无针孔 、 起皮 、 皱纹现象。   这是因为镀液分散性接近 10 在镀件全部  0 %, 被 镀液 浸 没 和 搅 拌 时镀 液 流 动 有 自由通 道 的 条 件  下, 可获得非常均匀的镀层。   3 4 铜 靶 的 纯度  . |   32 表 面孔 隙率  . ≤   l| 毫   l | | 。  | 誊 l  毒 l 化 学 镀 铜 靶 经 四 川 大 学 分 析 测 试 中 心 采 用  A 70 A 00原子吸收光谱仪分析 , 含铜量为 9 . % 以 92   上, 完全能满足空腔铜靶对纯度的要求 。   4 结论  镀 铜 层 表 面 孔 隙 率 是 铜 靶 质 量 的 重 要 指 标 之  一 。 采用湿润滤纸贴 置法测得表面孔隙率 , 同时利  用 投 影立式 光学 计测 得试样 同一位 置在 不 同施 镀 时  间 的镀 层厚 度 , 表 1 见 。从表 1可看 出 , 当施 镀 时 间  为 6  i 、 层 厚 度在 1  m 以上 , 层 表 面 不  0rn时 镀 a 3 镀 () 1 采用 P M M A作为芯轴制备微小空腔零件是  可行的。   () P M 2 将 M A溶于有机溶剂 中制成涂料 , 通过  浸渍该涂料 , 待有机溶剂挥发后形成有机膜 , 可作为  空 腔铜 靶 的 防氧化保 护膜 。   () P 3 将 MMA芯 轴 及 P MMA保 护 膜 用 有 机 溶  剂 溶蚀 后 , 即可 得 到整体 式空 腔铜 靶成 品 。   参 考 文 献  1 I ryR, trG,a o   e  . Ho rum  n fcue friet l   J r  Pee  Jc b B,ta a 1 hl a ma ua tr o n ri   a 存在孔隙率 。   表 1 镀层孔隙率和镀 层厚 度    序 号  施镀时间/ i 孔隙率/ ? m mn   点 c  l   2   0 9   厚度/ m I  z 5    O 2   3   4   4  0 6  O 8  0 3   O   O   96    l  O 3   l 0 6.   3 3 镀层 厚度及 其 均 匀性  . cnie n  s n uinT c nl y 19 ,6 1 ) 66 of metui  F s   eh oo ,9 4 2 (  :9   n f o o g 1 2 黄燕华 , 郑永铭 , 秀琴  李 整体式 空腔靶制 备工艺 . 子能科 学技  原 术 ,99,3 4 :2  19 3 ( ) 3 3 由表 1 还可看到 , 当施镀时间为 8  i 0mn时, 镀  层厚度达到 1  m; 6 将根据表 1 制作的空腔铜靶直  立放置时 , 其形状能完全 自持 , 形状保持不变。   壁厚 均 匀性 是空 腔 铜靶 的重 要 技 术指 标 之 一 。   3

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