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英福康氦检仪技术手册


UL1000Fab 技术手册

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技术 手 册
2003 年 3 月 11 日 2.0 版

UL1000 Fab
氦 检 漏 仪

1

UL1000Fab 技术手册

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<

br />目录 1 1.1 1.1.1 1.1.2 1.1.3 1.1.4 1.2 1.2.1 1.3 1.3.1 1.3.2 1.3.2.1 1.3.2.2 1.3.2.3 1.3.2.4 1.4 1.4.1 1.4.2 1.4.2.1 1.4.2.2 1.4.2.3 1.4.2.4 1.4.2.5 2 2.1 2.2 2.3 2.3.1 2.3.2 2.3.2.1 2.3.2.2 2.3.2.3 2.3.2.4 2.3.2.5 2.3.2.6 2.4 2.4.1 2.4.2 2.4.3 2.4.4 3 3.1 3.2 3.2.1 一般信息 本手册使用符号 安全符号 指示符 真空符号 术语定义 INFICON 服务的支持 维修中心 前言 用途 技术参数 物理参数 电气参数 其它参数 环境条件 开箱 设备供货范围 附件与选件 吸入器管线 SL200 工具箱 氦气瓶支架 ESD 垫层 手持单元 安装 运输 就位 电连接 供电电源 数据采集系统的连接 附件 数字输出 数字输入 记录仪 RS232 手持单元 真空连接件 进气口 排气 放空 冲洗/气镇 初始运行检查 需要的设备 初始运行说明 启动与测量

0-2
2

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3.2.2 3.2.3 4 4.1 4.2 4.2.1 4.2.2 4.2.2.1 4.2.2.2 4.2.2.3 4.2.2.4 4.2.2.5 4.2.2.6 4.2.2.7 4.3 4.3.1 4.3.2 5 5.1 5.2 5.3 5.3.1 5.3.2 5.3.3 5.3.4 5.3.5 6 6.1 6.2 6.2.1 6.2.2 6.2.3 6.2.4 6.2.5 6.2.6 6.2.7 6.3 6.4 6.4.1 6.4.2 6.4.3 6.4.4 6.4.5 6.4.6 6.4.6.1

内部校准 验证 说明和工作原理 前言 UL1000Fab 的组件 真空系统 控制面板 液晶显示器 启动按键 停止按键 抑零按键 菜单按键 软键 数值输入 工作模式 真空模式 吸入器模式 UL1000Fab 的运行 显示屏 起转模式中的显示屏 测量模式中的显示屏 校准的调用 扬声器音量 显示屏的状态线 数值显示模式 趋向模式 菜单说明 主菜单 一览 线性/对数刻度 显示范围 自动/手动 时间轴 对比度 待用模式中的本底 小数点位数 漏率过滤器 模式 触发与警告 触发值 1 触发值 2 音量 单位 警告延迟 音响警告型式 定点

0-3
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6.4.6.2 6.4.6.3 6.4.6.4 6.5 6.6 6.6.1 6.6.1.1 6.6.1.2 6.6.1.3 6.6.1.4 6.6.2 6.6.3 6.6.4 6.6.4.1 6.6.5 6.6.5.1 6.6.5.3 6.6.5.3 6.6.5.4 6.6.5.5 6.6.5.6 6.6.6 6.6.6.1 6.6.6.2 6.7 6.7.1 6.7.1.1 6.7.1.2 6.7.1.3 6.7.1.4 6.7.1.5 6.7.1.6 6.8 6.8.1 6.8.2 6.8.3 6.8.4 7 7.1 7.2 7.2.1 7.2.1.1 7.2.1.2 7.2.2 8 8.1

漏率正比 设点 触发警告 校准 设定值 真空设定值 放空延迟 保护功能 内测试漏孔漏率 机器因素 抑零-时间 质量 接口 记录仪输出 杂项 时间和日期 语言 校准请求 电源频率 服务区间排气过滤器 服务信息排气过滤器 参数保存/载入 载入参数组 1 载入参数组 2 信息 服务 调试 因素 切换灯丝 高级功能 手动调谐 复位功能 查访控制 查访校准功能 更改菜单-PIN 更改设备-PIN 抑零 校准 前言 校准进程 内部校准 自动内部校准 手动内部校准 外部校准 误差和警告信息 提示

0-4
4

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8.2 9 9.1 9.1.1 9.1.2 9.1.3 9.1.4 9.2 9.2.1 9.2.2 9.2.3 9.2.4 10 10.1 10.2 10.2.1 10.2.2 10.2.3 10.3 10.3.1 10.3.2 10.3.3 10.4 10.5 附录 A B 图 索引

信息清单 接口说明 ASCII-模式 误差信息 参数 实例 指令清单 二进制模式 实例 数据格式 误差信息 指令 维护 INFICON 服务 维护计划 最小维护 标准维护 高级维护 维护步骤 更换排气消音器 打开 UL1000Fab 检查/更换过滤器过滤筛网 涡轮分子泵 涡旋泵

0-5
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1

一般信息
注意 我们建议您仔细阅读本使用说明书, 以保证从一开始就进入 最佳工作状态。

本使用说明包含有关 UL1000Fab 的功能、安装、启动和运行等重要 信息。 一般说明 本公司保留设计与特定参数的更改权。图示是无约束的。

1.1
1.1.1

本手册使用符号
安全符号
有关操作安全与保护的重要标注如下: 注意 有关正确搬运与使用设备的信息。 忽视将导致误动作或设备的 局部损伤。

警告 有关防止大范围地损坏设备和环境的信息。

危险 有关防止各种人身伤害的信息。

熟练人员 表示必须由熟练人员才能执行的步骤。

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1.1.2

指示符
提示 注意 有关有益的步骤的信息。 有关用户必须遵守的特殊技术要求的信息。

参考图示依次包含章节数,图号和项号。例如:Fig.2-4/7 为 2 章的图 4 中项 7。

1.1.3

真空符号
下面列出本手册中使用的一些重要的真空符号。

真空泵通用

涡轮分子泵

测量仪器

阀门

1.1.4

术语定义
自动换挡 自动选择前置放大器的量程和真空量程。 取决于所选的工作模式: “2:真空模式”“2:吸入器 N/SP 模式” , 或“2:部分常规/无油模式” UL1000Fab 的自动换挡功能覆盖整个 , 量程或漏率。不仅漏率讯号而且试样中的压强(进气口压强 PE)和 前级压强(PV)均用作为控制目的。在主量程之间的量程转换通过 阀门执行。 在主量程内的细量程转换由切换前置放大器的增益系数来 完成。

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自动质量调整 这个功能自动调整质谱仪从而显示最大漏率。 控制计算机在选择的范 围内改变离子加速电压直到离子检测器检测到最大的离子流。 在每次 校准过程中自动运行质量调整功能。 自动抑零 确定和自动适应氦本底。 通过这功能, 确定仪器的内部零点, 然后将它从当前的漏率讯号中扣 除。 这功能在校准过程中或当操作起始按键时运行, 只要 UL1000Fab 在待用或放空模式至少预先运行 20 秒钟。如先前抑制的氦本底应跌 落,这样在抑零期间将只显示限值,零点是自动适应的。 菜单 菜单允许用户按自己的要求编程 UL1000Fab。菜单是树状结构的。 缺省 UL1000Fab 供应时工厂设定的状态。 FINE FINE 是中间测量模式,进气口压强在 1 至 0.1 毫巴之间。检测限值 为 1×10-10 毫巴·升/秒。

GROSS GROSS 是用于高进气口压强的测量模式(1 至 15 毫巴) 。最小检测 限值为 1×10-7 毫巴·升/秒。 ULTRA ULTRA 是最灵敏的测量范围,进气口压强低于 0.1 毫巴。最小检测 限值为 1×10-12 毫巴·升/秒。

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最小可检漏率 UL1000Fab 的最小可检漏率 ≤5×10-12 毫巴·升/秒。 内部氦本底 在测量系统中的氦分压强。 内部氦本底值在待用模式中测量, 并从讯 号中扣除。 测量 测量模式 待用 UL1000Fab 测量试件的漏率。

INFICON 服务的支持
如将设备返回 INFICON 或 INFICON 的授权代理。请标明设备无危 害健康的物质或设备已污染。如已污染,前请标明危害的性质。无污 染申报表的任何设备 INFICON 将按发送地址退回。详细说明污染类 型的表格复制于图 1-1 中。 建议签订一份维护和检修合同。

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污染申报表
检修和/或服务的提供仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。手续不完整的将导致延迟。 本申报表必须由经过授权和有资格的人员填写和签署。 1 产品说明 型号 编号 出厂号 2 返修原因

3

使用的工作液体

4

产品的污染过程: 毒性 腐蚀性 生物危害性 易爆性 放射性 其它有害性物质

否 否 否 否 否 否

□ □ □ □ □ □

是 是 是 是 是 是

□ □ □ *) □ *) □ *) □

*) 已 污 染 的 真 空 产 品 如无书面的污染资 料是不能接受的! 5 有害的物质、气体和/或副产品 请列出与设备接触过的物质、气体和副产品: 商标 / 化学名称 危险性材料 产品名称 (或符号) 等级 制造厂

如泄漏应采取 的措施

人体接触的 急救方法

6

有法律约束的申报: 我申明本申报表中的信息是完整和正确的。污染的产品将按相应的危险性物质包装、运输和标志的规定发 运。 公司或机构的名称: 地址: 邮编: 电话: 电传: 电子邮件: 姓名: 公司盖章: 日期和有法律约束的签名: 污染申报表

图 1-1

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1.2.1

维修中心
当您需要紧急协助时,请与当地的 INFICON 维修中心联系或联系德 国科隆的服务热线。

国家 巴西

中国

公司 PV Prest Vacuo Ltda. INFICON LTD

城市 Santana de Parnaiba 香港 北京 广州 上海 Vif 科隆 Kiriat Ono

电话 +55.11.870.2665

传真 +55.11.870.2665

E-Mail pv@prestvacuo.com.br

法国 德国 以色列

日本 韩国 新加坡 台湾 英国 美国

INFICON INFICON GmbH Mark Technologies Ltd. INFICON Co. Ltd. INFICON Ltd. INFICON PTE LTD INFICON Co. Ltd. INFICON Ltd. INFICON Inc.

+852.2520.2880 +86.10.6590.0164 +86.20.8723.6889 +86.21.6295.3094 +33.4.7672.5215 +49.221.3474.2222 +972.3.534.6822

+852.2865.6883 +86.10.6590.0521 +86.20.8723.6003 +86.21.6295.3852 +33.4.7672.5235 +49.221.3474.2221 +972.3.534.2589

reach.china@inficon.com

Leakdetection.service @inficon.com

Ibariki-ken 汉城 新加坡 Chubei City, Hsinchu 伦敦 EastSyracuse NY San Jose,CA Austin,TX

+81.298.89.2741 +82.31.206.0237 +65.890.6250 +886.3.553.3797 +44.208.971.7050 +1.315.434.1167 +1.408.361.1200 +1.512.448.0488

+81.298.89.2838 +82.31.206.0239 +65.890.6266 +886.3.553.3794 +44.208.971.7005 +1.315.434.2551 +1.408.361.1556 +1.512.448.0398

reach.japan@inficon.com reach.korea@inficon.com reach.sigapore @inficon.com reach.taiwan@inficon.com

Service.usa@inficon.com

1.3
1.3.1

前言
用途
UL1000Fab 是氦检漏仪。本仪器可用下面两种测试方式检测试件中 漏孔的位置与大小: ? 或 ? 在试件中充以氦压, 用连接于仪器进气口上的吸入器探头在试件 外搜索(吸入器模式) 。 首先将试件抽空,在外面喷氦。为此需在 UL1000Fab 与试件间 提供真空连接(真空模式) 。

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注意 UL1000Fab 只能用于检漏。切勿用作为抽气系统(尤其不能抽腐蚀 性或潮湿气体) 。

1.3.2
1.3.2.1

技术参数
物理参数 最大进气口压强 最低可检氦漏率 ? 真空模式 - GROSS 模式 - FINE 模式 - ULTRA 模式 ? 吸入器模式 可显示的最大氦漏率 测量范围 漏率讯号的时间常数 (盲住,最终值的 63%) 粗抽能力 进气口处的抽速(氦) ? 真空模式 - GROSS 模式 - FINE 模式 - ULTRA 模式 可检质量数 质谱仪 离子源 进气口 起转时间(从开机) 15 毫巴

1× -7 毫巴 升/秒 10 1× -10 毫巴 升/秒 10 5× -12 毫巴 升/秒 10 (见下面的注) 1× -7 毫巴 升/秒 10 0.1 毫巴 升/秒 12 个量级 <1 秒

25 米 3/小时(50Hz) 30 米 3/小时(60Hz) 0.7 升/秒 0.7 升/秒 2.2 升/秒 2,3和4 180° 扇形磁场 两个阴极; 铱/氧化钇 DN25KF ≤2.5 分

注意 达到最小可检漏率范围必须满足某些条件:

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? ? ? ? 1.3.2.2 电气参数

UL1000Fab 已充分预热 室温条件必须稳定(温度,无震动/加速) 被测试件已长时间抽空(本底不再降低) 抑零功能必须起作用

电源,单相(与型号有关) 件号 500-100 件号 500-101 功率损耗 保护类型 电源电缆(EU,USA,UK) 1.3.2.3 其它参数 阀门 尺寸(宽×高×深)包括手把(毫米) 尺寸(宽×高×深)包括手把(吋) 重量(公斤) 重量(磅) 噪声电平 dB(A) 音响警告 dB(A) 使用中最大可接受加速度 污染水平(按 IEC60664-1 标准) 过电压类别(按 IEC60664-1 标准) 1.3.2.4 环境条件 用于室内 允许环境温度(在运行过程中) 允许储存温度 最高相对湿度 最大允许海拔高度(在运行过程中)

220…240 伏,50/60 Hz 100…120 伏,60 Hz 1100 伏安 IP40 3米

电磁阀 1068?525?850 42?21?33 110 242 <58 90 2 Ⅱ

+10…+40℃ - 40…+60℃ 80%无凝聚 2000 米

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1.4

开箱
UL1000Fab 到货后应立即开箱,即使暂不安装。 检查运输箱是否有任何外伤。完全取开包装材料。 检查 UL1000Fab 的完整性(参考 1.4.1 节设备供货范围) ,并仔细目 测检查 UL1000Fab。 如发现任何损伤,立即报告代理商和保险商。如损坏件必须更换,请 与订货部门联系。 提示 提示 保留包装材料,以便发现损坏时申诉。 开箱请用随设备提供的开箱工具。

1.4.1

设备供货范围
? ? ? ? ? ? ? ? 氦检漏仪 UL1000Fab 排气软管适配件 电源电缆夹具 成套保险丝 成套工具袋 软管卡箍(2+2) 排气过滤器用的过滤筛网(要安装的) 文件夹 - UL1000Fab 技术手册 - UL1000Fab 备件清单

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1.4.2

附件与选件
下列部件可附加订货: ? 吸入器管线 SL200 ? 工具箱(可拆卸的) ? 氦气瓶支架 ? ESD 垫层 ? 手持单元成套件,包括 - 手持单元 - 带电缆(按需要) 米 ,4 - 延伸电缆,8 米 ? 带软管的喷枪 14005 551-000 551-001 551-002

20099022 20099027 14022 16555

1.4.2.1

吸入器管线 SL200 使用 UL1000Fab 的吸入器管线可容易地转换成吸入器检漏仪。吸入 器管线长度为 4 米(即 12 呎) 。

1.4.2.2

工具箱 工具箱是带盖的可拆卸的分隔箱, 可存放接头和小夹具加上手持单元 (参阅 1.4.2.5 节) 。存放空间约 5 升。 工具箱放置在工作面上,用手把压住。

1.4.2.3

氦气瓶支架 氦瓶支架使您便于随 UL1000Fab 携带氦瓶和喷枪。只适用小型和中 型的氦瓶不影响 UL1000Fab 的稳定性。

1.4.2.4

ESD 垫层 这个垫层放在 UL1000Fab 的工作面上,由进气口环夹住与接地。用 于避免工作面与灵敏的试件间的放电。

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1.4.2.5

手持单元 手持单元是一个遥控器,用于从 30 米外的距离操纵 UL1000Fab。它 具有开机,停机/放空,抑零与扬声器音量,和用条图显示漏率。

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2
2.1

安装
运输
注意 UL1000Fab 仪器未设置任何吊眼, 因此运输时不要使用任何起 吊设备。

注意 推拉 UL1000Fab 必须使用为此目的提供的把手。

注意 远距离运输必须使用原来的包装箱。将 UL1000Fab 装入运输 箱时,不要安装小脚轮。

2.2

就位
将 UL1000Fab 推至所需的位置,制动小脚轮。 警告 UL1000Fab 运行时, 不能暴露于水或水滴中。 也不能暴露于任 何其它液体中。

警告 避免接触酸、碱或溶剂,以及避免恶劣的气候环境。

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警告 UL1000Fab 仅限于室内使用。 注意 确保充分的空冷条件。切勿阻塞空冷的进风口和排风口。

注意 为避免有坡度时滑动可锁住 UL1000Fab 小脚轮的前轮。

注意 将 UL1000Fab 推至所需的位置,制动小脚轮。 建议用吸入器探头检测距 UL1000Fab 半径约 10 米内所有的氦源, 检 查是否存在任何氦漏。

2.3
2.3.1

电连接
供电电源
注意 电气连接必须遵守当地的规程。 警告 将 UL1000Fab 连接至电源前必须确认当地的供电电源电压与 UL1000Fab 的额定值相符。仪器必须连接有保护接地的电源。

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UL1000Fab 电源电压的额定值可从仪器后板电源插座 图 2-2/7 下 方的铭牌上读出。电压是固定的不能更改。 在电源开关中为每根电源导线装有单独的保险丝。 仪器的可拆卸电源电缆随仪器供货。电源插座 图 2-2/7 位于仪器的 后板上。 危险 必须使用带有保护接地导线的 3 芯电源电缆。 运行 UL1000Fab 时必须连接保护接地。

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图 2-2:连接件 1. 2. 3. 4. 5. 6. 附件 数字输出 数字输入 记录仪 RS232 手持单元 7. 8. 9. 10. 11. 12. 电源插座 电源开关 扬声器 放空 冲洗/气镇 排气

提示

插座: 附件, 数字输出, 数字输入和记录仪的接脚 1 在顶上。 接脚编号是向下计数的。

2.3.2
2.3.2.1

数据采集系统的连接
附件 下列附件连接至这个接口 图 2-2/1: ? ? ? 外放空阀 外分流阀 吸入器探头

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接脚 1 和 3 连接有 0.8 安慢熔保险丝。功率容量为 10 瓦。接脚自上 至下编号。

脚 1 2 3,6 4,5,7,8 2.3.2.2 数字输出 脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

用途 +24 伏,不间断供电电源,用于 INFICON 分流阀或吸入 器管线。 GND24 输入 输出

用途 +24 伏,与?Digital Out“的插座 1 桥接 GND24 触发器 1 触发器 2 触发器 3 抑零工作 准备 校准工作 校准请求 误差 警告 气镇 测量 记录仪选通 公共数字输出

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2.3.2.3

数字输入 脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 15 16 用途 +24 伏,与?Digital Out“的插座 1 桥接 GND24 启动 停止 抑零 校准 清除 气镇 吸入器/真空 打印 公共数字 外 0.10 伏输入 XP23,15 的参考电位

2.3.2.4

记录仪 记录仪输出(图 2-2/4)用于记录漏率、进气口压强和前级真空压强。 测量值由 0 伏. . .10 伏范围的模拟讯号输出。 分辨率限于 10 毫伏。 连 接记录仪(例如 X(t)记录仪)输出的仪器,其输入内阻应不小于 2.5 仟欧。测量值通过脚 1,4 输出。脚 2 和 3 为参考电位(GND) 。接 脚自上至下编号。 提示 注意 表示压强和漏率与电压的关系曲线附在附录(XXX)中。 图形记录仪输出与其它接脚之间是电绝缘的。 尽管如此, 如 出现交流声干扰可将 UL1000Fab 与图形记录仪工作于同一 电源相位。 如不可能这样做, 则必须确保两仪器的机柜保持 同电位接地。 用途 模拟 1 GND GND 模拟 2

脚 1 2 3 4

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2.3.2.5

RS232 RS232C 接口(图 2-2/5)用作数据通讯设备(DCE)可连接个人计 算机(PC) ,用于监测和数据记录。通过 9 脚 sub-D 插座连接。详细 信息参阅 9 章。 脚 2 3 5 7 8 用途 TXD RXD GND CTS RTS

2.3.2.6

手持单元 手 持 单 元 接 口 ( 图 2-2/6 ) 是 一 个 串 列 接 口 , 由 手 持 单 元 控 制 UL1000Fab。手持单元可通过带 RJ45 插头的延伸电缆连接。详细信 息参阅 9 章。 脚 2 3 5 7 用途 +24 伏(0.8 安时间延迟保险丝) 0伏 RXD(RS232C 接口) TXD(RS232C 接口)

2.4
2.4.1

真空连接件
进气口
进气口位于 UL1000Fab 的顶部。法兰型号为 DN25KF。 如选用真空模式,测试件或测试室必须连接进气口(参阅 6.3 节) 。 进气口还用于连接吸入器管线。

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2.4.2

排气
排气法兰(图 2-2/12)位于 UL1000Fab 后板的下方。法兰型号为 DN16KF。 检漏仪供货时只安装了排气过滤器壳体, 过滤筛网未予装, 它随检漏 仪一起供货,可安装在排气过滤器中。 此外,也可在排气口上连接排气管道, 警告 与 UL1000Fab 连接的腔体有关,如腔体内有致命性气体,可 通过排气口进入空气中。

2.4.3

放空
试件测试完毕后通常放空室内空气, 必要时可放空其它气体 (如新鲜 空气,干燥空气,氮气,…)至大气压强。此时,必须用软管连接至 软管联接件图 2-2/10。

2.4.4

冲洗/气镇
冲洗模式中建议用无氦气体。 由于喷检或冲环境空气可能被污染。 此 时, 应将供气管道 (如氮气, 干燥空气…) 连接至软管联接件图 2-2/11。 气压不要超过 1050 毫巴。 图 2-2 中的接头是快速接头,用于连接管径为 8/6 毫米的软管。

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3

初始运行检查
本章说明初始运行步骤,包括如何开上 UL1000Fab 电源,如何测量 和如何执行内部校准。 注意 在初始运行的过程中如发生任何意外的情况或检漏仪反应 不正常,可在任何时间关断 UL1000Fab 电源。

3.1

需要的设备
需要下列部件: ? ? 法兰盲板 25KF(如未预先安装在进气口上) 。 带有 DN25KF 适配件的氦测试漏孔(选件) 。

3.2

初始运行说明
请按照下述步骤一步一步地启动初始运行。更详细的说明请参阅 5 章 UL1000Fab 的运行。

3-1
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3.2.1

启动与测量
1 2 3 UL1000Fab 开箱和检查是否有任何外伤(参阅 1.4 节开箱) 。 将仪器连接电源(参阅 2.3.1 节供电电源) 。 用电源开关(图 2-2/8) ,开上检漏仪。 UL1000Fab 启动后,在控制面板(图 3-3/1)的显示屏上出现欢迎画 面,然后显示涡轮分子泵转速、前级压强、工作灯丝和发射等状态信 息。 整个启动过程约需 2 分钟,并发出笛音表示启动完成。此时 UL1000Fab 进入待用状态。

图 3-3 1 4

UL1000Fab 的顶视图 2 进气口

控制面板

检查进气口(图 3-3/2)是否已盲住。如未,请在进气口上盖上盲板。

3-2
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5

按下启动按键(图 3-4/6)后,进气口将被抽空,片刻后将显示测量 的漏率。 这是测量模式。如已连接试件,此时即可喷氦检漏。

图 3-4 1 2 3 4 5 6 7 6

控制面板 8 9 10 11 12 13 14 5 号软键 6 号软键 7 号软键 8 号软键 菜单按键 停止按键 抑零按键

液晶显示器 1 号软键 2 号软键 3 号软键 4 号软键 启动按键 控制面板

为消除任何本底讯号(在试件中的残余氦气)可按 抑零按键 图 3-4/14。要撤消抑零功能,可按住抑零按键持续 2….3 秒钟。 按停止按键 图 3-4/13,UL1000Fab 将进入待用状态。如按住数秒钟 UL1000Fab 的进气口将被放空。 为完成启动顺序请进入 16 步。为校准请进入 9 步。

7

8

3-3
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3.2.2

内部校准
9 进行内部校准(参阅 7.2.1 节内部校准) 。为了更好地定量测量,请让 仪器预热(15 … 20 分钟) 。 ? ? ? 按校准键(5 号软键,图 3-4/8) ,进入校准菜单。 按内部键(4 号软键,图 3-4/5) ,选用内部校准。 按自动键(8 号软键,图 3-4/11) ,启用内部校准的自动程 序,约需 30 秒钟。

10 按停止按键(图 3-4/13) ,直至显示器上出现待用/放空信息。此时进 气口被放空。

3.2.3

验证
请按下列步骤验证精度。需用测试漏孔。如无测试漏孔,请进入 16 步。 11 从进气口卸下盲板,将打开的氦测试漏孔接至进气口上。

12 再次按启动按键(图 3-4/6) 。抽空进气口,测量和显示氦测试漏孔的 漏率。 13 按停止按键(图 3-4/13)中止测量。将显示待用模式。 14 再次按停止按键(图 3-4/13) ,直至显示器上出现待用 放空,此时进 气口被放空。 15 从进气口上卸下氦测试漏孔,在进气口上重新盖上盲板。 16 关断检漏仪的电源开关(图 2-2/8) 。初始运行完成。

3-4
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4
4.1

说明和工作原理
前言
UL1000Fab 基本上是一台真空应用的氦检漏仪,进行测试时试件是 处于抽空状态。 使用作为 UL1000Fab 组成部件的抽气系统进行抽空。 也可由与检漏仪平行设置的附加真空泵进行抽空。 UL1000Fab 的另一个运行模式是吸入器模式,此时仪器必须连接附 件吸入器管线(参阅 1.4.2 节附件和选件) 。

4-1

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4.2

UL1000Fab 的组件
UL1000Fab 是一台具有金属外壳与滚轮的装备齐全的仪器。仪器内 装有完整的真空系统和电源。仪器的顶部是进气口和显示器。

4.2.1

真空系统
下面的真空图表示 UL1000Fab 内的主要组件:

图 4-5

UL1000Fab 的真空图

4-2
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图中 1 2 3 4 MS:质谱仪,氦传感器(180°磁质谱仪) 涡轮分子泵(TMP,提供 MS 中的高真空条件) V1a…V8:电磁阀(用于控制气流) 涡旋泵(为涡轮分子泵提供前级压强和试件抽空)

质谱仪中主要包含离子源,磁分离器和离子收集极。 进入质谱仪的气体分子被离子源电离后, 带正电荷的粒子被加速按环 形轨道进入磁场, 其半径取决于离子的荷质比。 只有氦离子能通过这 个过滤器到达离子收集极。在那里用电流来表达测量到的离子流。 质谱仪的运行需要等于或低于 1× -4 毫巴的真空。 10 这个压强由以涡旋 泵为前级泵的涡轮分子泵提供。 真空系统的作用除了维护质谱仪中的工作压强外,还用于试件的抽 空。 在任何情况下它确保质谱仪中具有足够低的压强。 阀门 V1a,V1b, V2, V4a, V4b 控制测量时的气流量。 阀门 V5, V6,和 V8 用于放空系统 和涡轮分子泵。阀门 V7 在校准过程中开启与关闭内部测试漏孔。 当试件中的压强低于环境压强时, 如存在漏孔, 喷出的氦气即可渗入 试件。只要达到一定的压强条件,通向涡轮分子泵的阀门即打开。此 时氦气将逆着涡轮分子泵的抽气方向渗入质谱仪。 详细内容请参阅 4.3 节工作模式。

4-3
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4.2.2

控制面板
控制面板(图 4-6/7)包含液晶显示器,启动、停止、抑零和菜单按 键,以及用于不同的菜单和输入的 8 个软键。 控制面板本身是可旋转的。

图 4-6 1 2 3 4 5 6 7 4.2.2.1 LCD 显示器

控制面板 8 9 10 11 12 13 14 5 号软键 6 号软键 7 号软键 8 号软键 菜单按键 停止按键 抑零按键

液晶显示器 1 号软键 2 号软键 3 号软键 4 号软键 启动按键 控制面板

液晶显示器(图 4-6/1)是与操作人员的通讯设备。它显示漏率,仪 器的状态报告,信息,警告和误差。

4-4
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4.2.2.2

启动按键 按启动按键(图 4-6/6)启动 UL1000Fab 的测量程序。如在测量模式 中再次按启动按键,最大漏率指示器 (?保持“功能) 起作用。这个指 示器显示?启动“ 与下一次?停止“之间的最大漏率。

4.2.2.3

停止按键 按停止按键(图 4-6/13)中止测量程序。如按下的时间长些,进气口 将按菜单放空延迟中定义的条件放空。参阅 6.6.1.1 节放空延迟选择 放空的时间参数。

4.2.2.4

抑零按键 按抑零按键(图 4-6/14)起用抑零模式。 当按抑零时, 当前测量的漏率即成为本底讯号, 并从所有进一步的测 量值中扣除。从而,显示的漏率为 ? 在 GROSS 量程下为 1× -7 10 -10 ? 在 FINE 量程下为 1× 10 ? 在 ULTRA 量程下为 1× -12 10 撤消抑零功能可将按键保持在按下状态约 3 秒钟。 请参阅下面的图示。

图 4-7:减除本底

4-5
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图 4-8:撤消抑零 4.2.2.5 菜单按键 在任何工作模式中按菜单按键(图 4-6/12)液晶显示器即出现菜单。 如菜单在当前的对话前打开,在菜单离开前将显示最后的显示屏。 再次按菜单按键将返回至先前工作模式的显示屏。 软件显示以前用过 的最后的显示屏。 4.2.2.6 软键 8 个软键(图 4-6/2 … /5 和/8 … /11)与当前的菜单有关。只有键 1 和 8 具有定常的功能返回/取消(1 号软键)和 OK(8 号软键) 。 特殊功能 在子菜单中, 当允许输入或当设定值可选择时, 两个软键始终具有相 同的功能: ? 1 号软键(图 4-6/2)的功能为取消。 它将脱离子菜单, 当前的设定值无任何更改, 回到先前的菜单页。 8 号软键(图 4-6/11)的功能为 OK。 所选的设定值或编写值将被储存下来,并再次显示先前的菜单 页。

?

4-6

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4.2.2.7

数值输入 如已打开一个可更改数目的菜单页,请按下述方法执行: ? ? 如不需要作任何更改,可按 1 号软键取消。 可更改的数字是闪烁的。用→(8 号软键)和←(4 号软键) 可选择您需要更改的数字。 将数字更改至一个特定的数可按相应的对数, 子菜单打开并可选 择所需要的数。子菜单自动关闭,全数的下一个数字现在闪烁。 完成最后数字后,必须按 OK(8 号软键)确认全部修正值。

?

? 例

将触发值 1.0× -7 毫巴 升/秒更改为 3× -7 毫巴 升/秒,请按 2/3(3 10 10 号软键)图 4-9。

图 4-9:触发值 1 的数值输入 在子菜单中按 3(4 号软键) (图 4-10) 。

4-7
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图 4-10:子菜单的数值输入

4.3
4.3.1

工作模式
真空模式
正如已提及的(参阅 4.2.1 节真空系统) ,样品必须抽空,由于存在压 差,使外面喷的氦气可通过漏孔进入系统。 当按启动按键时,阀门 V1a 和 V1b 打开,样品由涡旋泵抽空。同时 阀门 V2 关闭,以避免引起涡轮分子泵和质谱仪中产生不能允许的压 强升高。随着阀门 V2 的关闭,涡轮分子泵运行于无涡旋泵产生背压 的状态下。因为质谱仪已经在真空下,无更多的气体需要抽空,从而 压强 P2 保持不变或增加很慢。

4-8
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下面的流程图表示在抽空过程中和在 GROSS,FINE 和 ULTRA 模式下的 气流状态。

图 4-11 左:抽空(无测量) ,右:GROSS 模式 抽空过程一直维持到进气口压强 P1 降至 15 毫巴以下。此时阀门 V2 打开。可能存在的氦气现在逆着涡轮分子泵的抽气方向进入质谱仪, 在那里被检测出来。这个模式称为 GROSS 模式,检测限值为 1× -7 10 毫巴 升/秒。 由于涡旋泵继续抽空试验样品,进气口压强 P1 将继续下降。低于 1 毫巴时 UL1000Fab 将切换至 FINE 模式, 即开启 V4a 和关闭阀门 V1a 与 V1b。进入涡轮分子泵的气流处于过渡层级。 现在系统的灵敏度较 高,检测限值为 1× -10 毫巴 升/秒。 10

图 4-10 左:FINE 模式,右:ULTRA 模式 4-9
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现在涡轮分子泵的下部进一步抽空样品, 当压强 P1 降至低于 0.1 毫巴 后,UL1000Fab 切换至 ULTRA 模式,即关闭 V4a 和开启 V4b。进 入涡轮分子泵的气流处于较高的层级。此时进气口处的抽速为 2.2 升/秒,检测限值达到 5× -12 毫巴 升/秒。 10 提示 UL1000Fab 的一个特殊的设置可停止如上所述的自动换挡 程序。只有 Gross 模式(参阅 6.3 节模式)单位将停留在 GROSS 模式图 4-11(右)与进气口压强无关。

4.3.2

吸入器模式
在吸入器模式中将吸入器管线(优先采用 INFICON 的标准吸入器管 线 14005)连接至进气口上。当按下启动按键时系统开始通过吸入器 管线抽空气。由于固定的气流通过吸入器管线,软件将经过 GROSS 模式进入 FINE 模式,然后停留在这个模式上。进气口压强不会继续 下降。根据进气口压强的测量,系统软件将确认通过吸入器管线的气 流量是否处于正确的量值下。 否则将出现警告讯号。 吸入器模式的检 测限值<1× -7 毫巴 升/秒。 10 INFICON 的吸入器系统 QT100 也可用于吸入。 由于 QT100 提供低的 进气口压强,建议保持系统于真空模式以避免产生压强警告的错误。

4-10
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5

UL1000Fab 的运行
按电源开关将 UL1000Fab 接通电源(参阅 3.2.1 节启动和测量) 。约 2.5 分钟后完成启动过程;仪器进入待用模式和作好测量准备。 请将要测试的部件连接至进气口上,并按启动按键。UL1000Fab 开 始将此部件抽空。 抽空时间与测试部件的容积有关。 在抽空过程中显 示器上随时反映进气口部位的压强情况。 一旦压强达到 15 毫巴(11 乇或 1500 帕) ,仪器即切换至测量模式。 显示相应的漏率值。有关显示屏的情况请参阅图 5-13。 显示的漏率相应于测试部件中的氦本底浓度。由于 UL1000Fab 继续 抽空试件,其本底漏率将进一步下降。根据您的检漏要求,一旦本底 漏率足够低时,您即可开始喷氦寻找可能存在的漏孔。 当运行完毕后请按停止按键, 并保持按下的状态数秒钟, 将测试部件 放空。

5.1

显示屏
显示屏用于显示漏率讯号或程序的特定设置和藉软件菜单显示取得 的信息(参阅 6 章菜单的说明) 。此外还显示仪器状态信息与维护 指导(参阅 8 章误差与警告信息) 。

5.2

起转模式中的显示屏
在起转模式中显示屏显示: ? ? ? ? ? 涡轮分子泵的转速 前级真空压强 发射的状态 工作灯丝 表示起转过程的条图 如显示屏太亮或太暗,请至 6.2.4

注意

5-1
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5.3

测量模式中的显示屏
在测量模式中,有两种不同的模式显示漏率: ? ? 数值显示模式,与条图显示相结合 图 5-13 趋向模式(漏率与时间的关系) 图 5-14

模式选择符号在显示屏的右下角(紧邻 8 号软键) ,可按 8 号软键在 两个显示模式之间转换。有关显示模式的说明参阅 5.3.4 节数值显示 模式。和 5.3.5 节不同显示模式的说明。 进入校准(5 号软键)和扬声器音量(2 号和 3 号软键)对所有模式 均是相同的。底线上的状态图标也适用于所有显示模式。

图 5-11:测量模式的显示

5.3.1

校准的调用
在所有模式中,5 号软键用于进入例行校准程序。有关校准的详细 信息参阅 7 章校准。

5.3.2

扬声器音量
在左手侧有两个扬声器符号标有+与-。按相应的软键(2 号或 3 号软键) 可调节扬声器的音量。 在显示屏的底线上还有另一个扬声器 符号和一个数字。这个数字表示当前的音量大小(范围从 0 至 15) 。 有关音量大小,警告和声轨等信息参阅 6.4.3 节音量。

5-2
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5.3.3

显示屏的状态线
显示屏底部的状态线(从左至右阅读)指示下列信息: ? ? ? ? ? ? 音量大小 触发值 1 触发值 2 检测的质量 警告三角 工作模式 参阅 5.3.2 节扬声器音量。 如触发值超过这些值符号即闪烁 (黑底白字) 。 见:触发值 1 点数表示质量数(4 点 = 氦,2 点= 氢气) 。 见 8.1 节。 VAC 或 SNIFF 表示选择的工作模式(参阅 6.3 节模式)。

?

GROSS/FINE ULTRA

取决于进气口压强,这里指示 UL1000Fab 是 处于 GROSS,FINE 或 ULTRA 模式下。 (参 阅 4.3 节工作模式) 。 表示抑零功能是否起作用。

?

抑零

5.3.4

数值显示模式
显示屏用大号数字表示漏率 图 5-13。同时表示漏率单位。在漏率下 面用小号数字显示进气口压强。漏率和压强的单位可在菜单中定义 (参阅 6.4.4 节单位) 。在下面还有漏率的条状显示。条的长度,即包 含在条状显示中的量程数可在菜单中定义 (参阅 6.2.2 节显示范围 自 动/手动) 。 编程的触发值(至 6.4.1 和至 6.4.2)由短的垂直线条码显示:直线为 触发值 1,虚线为触发值 2。 此外进气口压强显示在条图上面的小图中。

5-3
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第 42 页 共 109 页

5.3.5

趋向模式
在趋向模式中,显示漏率与时间的关系 图 5-14。此外仍用数字显示当前 的漏率值。时间轴可在菜单中定义(参阅 6.2.3 节时间轴) 。强度轴(y轴)定义的方法与条图相同(参阅 6.2.1 节线性刻度/对数) 。

图 5-14:趋向模式的显示

5-4
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6

菜单说明
按菜单按键 图 6-15 将显示当前工作模式的主菜单。

图 6-15:

主菜单

主菜单 图 6-15 将引导操作人员进入下面各节中说明的子菜单。 下页给出整个菜单结构的一览表 图 6-16。

6-1
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第 44 页 共 109 页

1层 主 菜 单 一览

2层 刻度 线性/对数 显示范围 自动/手动 时间轴 对比度 待用时的本底 小数点位数 漏率过滤器

3层

4层

模式 触发和警告 触发值 1 触发值 2 音量 单位 警告延迟 音响警告型式 内部 外部 真空设定值 手动 自动 编制漏率 启动 放空延迟 微粒保护 污染保护 压强限值 校准因素

校准

内部测试漏孔漏率 机器因素 设定值 抑零-时间 质量 接口 杂项

记录仪输出 控制位置 时间和日期 语言 校准要求 主频 排气过滤器服务时限 排气过滤器服务信息

参数保持/加载 信息 查阅设定值 查阅内部数据 真空图 查阅误差清单 校准历史 校准因数 服务 进入控制 进入校准功能 更换菜单-PIN 更换设备-PIN 抑零

图 6-16:菜单结构一览表

6-2
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第 45 页 共 109 页

6.1

主菜单
主菜单有 7 个子菜单。 在这些子菜单中按技术功能组合。 从这里可进 入菜单树的下一层。 提示 所有下面的章节表示进入直接在标题项下面菜单项的路径。 这个路径用一点(·)表示,打印成斜体。 名称 返回 一览 模式 触发和警告 校准 设定值 信息 查访控制 说明 回到先前的显示屏 显示设定值 参阅 6.2 节 选择不同的工作模式 参阅 6.3 节 设定单位,触发值和警告 参阅 6.4 节 UL1000Fab 校准 参阅 6.5 节 内部机器控制的设定值 参阅 6.6 节 UL1000Fab 的信息和服务菜单 参阅 6.7 节 查访限制 参阅 6.8 节

键号 1 2 3 4 5 6 7 8

6-3
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第 46 页 共 109 页

6.2

一览
? 主菜单 > 一览

在这个菜单中 图 6-17 将所有影响数据显示的功能放在一起。

图 6-17:一览菜单

键号 1 2 3 4 5 6 7 8

名称 返回 刻度 线性/对数 显示-范围 自动/手动 时间轴 对比度 待用模式中的本底 小数点位数 漏率过滤器

说明 回到先前的显示屏 条图和趋向模式的设定值 参阅 6.2.1 节 参阅 6.2.2 节 参阅 6.2.3 节 参阅 6.2.4 节 参阅 6.2.5 节 参阅 6.2.6 节 参阅 6.2.7 节

6-4
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第 47 页 共 109 页

6.2.1

线性/对数刻度
? 主菜单 > 一览 > 刻度 线性/对数

这些设定值应用于条图 (= 在测量模式中数字测量值下面的条图) 和 趋向模式中的 Y-轴。 条图的刻度可线性或对数。用箭头可决定条图覆盖多少个量级。 通常推荐使用对数刻度,因为漏率的变化可容易地覆盖数个量级。 软键 2:线性 按这个键将显示转换为线性刻度,从零开始。 软键 3:↓(量级数) 按这个键将减少显示的量级数。最小值为 2 个量级。只选对数(软键 6)时有用。 软键 6:对数 刻度将以对数显示。 软键 7:↑(量级数) 增加显示的量级数。最大值为 9 个量级。只选对数(软键 6)时有用。

6-5
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UL1000Fab 技术手册

第 48 页 共 109 页

6.2.2

显示范围 自动/手动
? 主菜单 > 一览 > 显示范围 自动/手动

显示漏率范围的上限可自动或手动设定。这些设定值应用于条图(= 在测量模式中数字测量值下面的条图和趋向模式中的 Y-轴) 。 这里定义的上限,最低限值设定于一个基于量级数的值(参阅 6.2.1 节刻度 线性/对数) 。 软键 2:手动 显示量程的上限可手动设定。 软键 3:↓(量级数) 选手动时用于减少显示的上限。最小值为 10-11 毫巴 升/秒。 软键 6:自动 自动选择显示量程的上限。 软键 7:↑(量级数) 选手动时用于增大显示的上限。最小值为 10+3 毫巴 升/秒。 软键 8: 保存设定值,回到先前的菜单。

当选用手动时,下限始终是零。上限是缺省值。如您已经选择手动调 节显示量程,您可用软键 6 和 7 在测量屏上更改它。

6.2.3

时间轴
? 主菜单 > 一览 > 时间轴

在趋向模式中时间轴的长度可从 16….240 秒分级更改。 软键 3:↓ 减小时间轴的长度。最小值为 16 秒。 软键 7:↑ 增大时间轴的长度。最大值为 240 秒。

6-6
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UL1000Fab 技术手册

第 49 页 共 109 页

6.2.4

对比度
? 主菜单 > 一览 > 对比度

显示器的对比度可更改。 更改是同步应用的。 在常规条件下推荐值为 50(或相近的值) 。 提示 如由于偶然的原因显示器设定得太亮或太暗可按下面的方 法更改: 将 UL1000Fab 电源开关 off 后再 on。在仪器起转的过程中 按住 3 号或 7 号软键直到显示器恢复正常读值显示。 只有在 对比度菜单中确认后才能将这个设定值保存于 EPROM 中。 如未被确认,当仪器再一次 on 时,仍应用以前的设定值。 软键 3:↓ 调暗对比度。最小值为 0。 软键 4:invert 显示 invert 屏的对比度。 软键 7:↑ 调亮对比度。最大值为 99。

6.2.5

待用模式中的本底
? 主菜单 > 一览 > 待用模式中的本底

内部本底漏率可在待用模式 ON 或 OFF 时显示。缺省值为 OFF。 软键 3:OFF 不显示本底漏率。 软键 7:ON 显示本底漏率。 内部本底是由还未被抽除的残余气体(例如氦气)产生的。残余氦气 来自空气或检漏仪内表面的吸附气体。内部本底是不会完全消失的。 长时间抽空的很清洁系统其本底可达到 10-11 毫巴 升/秒。 常规条件下 的本底则在 10-10 毫巴 升/秒或低的 10-9 毫巴 升/秒量级。

6-7
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当按启动按键后, 当前的内部本底值, 将从所有进一步测量的讯号中 扣除。这样确保测量的试件漏率仅为纯漏率。 当再次转换到待用/放空模式时,将在 25 秒后计算新的内部本底值。 这个更新值将被记下。 如您在此时按启动按键, 当前的本底讯号将被 扣除。 如您未在此时按启动按键, 将扣除上次待用时的老本底讯号值。

6.2.6

小数点位数
? 主菜单 > 一览 > 小数点位数

可选择显示漏率的小数点位数。缺省值为 1。 软键 3:1 将显示一位小数的漏率。 软键 7:2 将显示两位小数的漏率。 当使用 I?CAL 漏率过滤器(参阅 6.2.7 节)时,两位小数特别有用。

6.2.7

漏率过滤器
? 主菜单 > 一览 > 漏率过滤器

可选择漏率过滤器的种类。缺省值为 I?CAL。 软键 3:固定的 将使用固定时间常数的过滤器。 软键 7:2 I?CAL 确保基于漏率强度的最佳时间段的平均讯号。 I?CAL 是智能的漏率计算方法的缩写。 它确保基于漏率强度的最佳时 间段的平均讯号。 I?CAL 还可消除与漏率讯号无关的噪声峰和为低的 漏率讯号提供相当短的响应时间。 计算方法提供卓越的灵敏度和响应时间,从而得到推荐的设定值。

6-8
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UL1000Fab 技术手册

第 51 页 共 109 页

6.3

模式
? 主菜单 > 模式

模式菜单 图 6-18 使子菜单可选择不同的工作模式。

图 6-18:模式菜单

键号 1 2 3

名称 撤消 真空 真空 仅 GROSS 模式

4 5 6 7 8

吸入器

OK

说明 回到先前的菜单, 对现有的设定值 无任何更改 使用常规的真空模式 仅用 GROSS 模式检漏。检漏仪 UL1000Fab 将停留在这个模式即 使压强降至低于 1 毫巴 (与自动换 挡不同。参阅 4.3.1 节真空模式) 在本菜单中未使用 在本菜单中未使用 使用吸入器模式。参阅 4.3.2 节吸 入器模式 在本菜单中未使用 保存设定值,回到先前的菜单

6-9
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UL1000Fab 技术手册

第 52 页 共 109 页

6.4

触发与警告
? 主菜单 > 触发与警告

在这个菜单中(图 6-17)可设定触发值,扬声器音量和漏率与压强 的单位。

图 6-19:触发与警告菜单

键号 1 2 3 4 5 6 7 8

名称 返回 触发值 1 触发值 2 音量 单位

警告延迟 音响警告型式

说明 回到先前的显示屏 定义触发值 1。参阅 6.4.1 节 定义触发值 2。参阅 6.4.2 节 参阅 6.4.3 节 选择漏率与压强的单位。参阅 6.4.4 节 在本菜单中未使用 参阅 6.4.5 节 选择不同的警告型式。参阅 6.4.6 节

6.4.1

触发值 1
? 主菜单 > 触发与警告 > 触发值 1

可设定一个触发值。有关输入的说明参阅 4.2.2.7 节数值输入。 触发值 1 和触发值 2 是可编程的漏率值。如这些值超过 UL1000Fab 的某些输出将反应,尤其是触发值 1 超过。

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显示
在显示器的状态行中显示触发值 1 和触发值 2,如漏率超过(高于) 编程的值它们会闪。

继电器输出
在 I/O 接口上的继电器 图 2-2/2 将动作。详情参阅 2.3.2.2 节数字输 出。

警告/扬声器
触发值 1 定义各种型式警告产生反应的值 (参阅 6.4.6 节音响警告型) 。

6.4.2

触发值 2
? 主菜单 > 触发与警告 > 触发值 2

可设定二个触发值。有关输入说明参阅 4.2.2.7 节数值输入。 如超过触发值 2,相应的继电器将动作,并在显示器上指示出来。

6.4.3

音量
? 主菜单 > 触发与警告 > 音量

可调节扬声器的最小音量和常规音量。 最小音量是不能再低的音量值。 因此要避免工作音量事故性地降低至 低于环境噪声水平的值。 工作音量可在 15(最大)与定义的最小音量值之间调节。

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UL1000Fab 技术手册

第 54 页 共 109 页

软键 2:↓ 减低最小音量。最小值为 0。 软键 3:↓ 减低工作音量。最小值为在最小音量下定义的值。 软键 4:笛音 off / 笛音 on 软键 5:文本 扬声器以工作音量发出声音。 软键 6:↑ 增大最小音量。最大值为 15。 软键 7:↑ 增大常规音量。最大值为 15。

6.4.4

单位
? 主菜单 > 触发与警告 > 单位

可选择适用的漏率单位。有 4 个压强单位和 5 个漏率单位。 软键 2:↑ 往上滚动选择压强单位。 软键 3:↓ 往下滚动选择压强单位。 软键 6:↑ 往上滚动选择漏率单位。 软键 7:↓ 往下滚动选择漏率单位。

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UL1000Fab 技术手册

第 55 页 共 109 页

6.4.5

警告延迟
? 主菜单 > 触发与警告 > 警告延迟

在某些应用中(例如在抽空一个“腔体测试系统”中)在按下启动按 键后需要将警告中断一些时间。 可更改警告的延迟时间。 软键 3:↓ 减小延迟时间。最小值为 0 秒。 软键 7:↑ 增大延迟时间。最大值为 10 分直至无穷大。 按下启动按键后, 一旦漏率值降至低于触发值 1 或超过输入的延迟时 间扬声器即发出警告声。 设定值仅工作于音响警告型式 SETPOINT(设点)和 TRIGGER ALARM(触发警告) (参阅 6.4.6 节) 。

6.4.6

音响警告型式
? 主菜单 > 触发与警告 >音响警告型式

音响警告触发器可接通或关断。 软键 2:定点 参阅 6.4.6.1 节。 软键 3:漏率正比 声音将与漏率讯号成正比。参阅 6.4.6.2 节。 软键 5: 帮助。 软键 6:设点 参阅 6.4.6.3 节。 软键 7:触发警告 当超过触发值 1 时发出音响警告。参阅 6.4.6.4 节。

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UL1000Fab 技术手册

第 56 页 共 109 页

6.4.6.1

定点 声音讯号的音调只是在 LR-窗口 图 6-20 中改变它的频率,从低于触 发值 1 一个量级至高于触发值 1 一个量级。 低于窗口音调是连续的低, 高于窗口音调是连续的高。 例:触发值 1 为 4×10-7 毫巴·升/秒。这样窗口的音调变化从 4×10-8 毫巴·升/秒上升至 4×10-6 毫巴·升/秒。

图 6-20:定点 6.4.6.2 漏率正比 声音输出的频率与条图显示器上的读值成正比。频率范围从 300HZ 至 3300HZ 有关量级数的定义参阅 6.2.1 节线性/对数刻度。 6.4.6.3 设点 只要漏率低于触发值 1 音调即消失。 高于触发值 1 音调变化与漏率成 正比 图 6-21。

图 6-21:设点

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UL1000Fab 技术手册

第 57 页 共 109 页

6.4.6.4

触发警告 一旦漏率增大至触发值 1 以上, 产生一个多音调讯号。 其音调不随漏 率而变化。

6.5

校准
? 主菜单 > 校准

有关校准的详细说明参阅 7 章校准 图 6-22。

图 6-22:校准菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 58 页 共 109 页

6.6

设定值
? 主菜单 > 设定值

在这个菜单中 图 6-23 可观察和更改内部机器控制的设定值。

图 6-23:设定值菜单

键号 1 2 3 4 5 6 7

名称 返回 真空设定值 抑零-时间 质量 接口 杂项 参数 保存/加载

说明 回到主菜单 真空系统有关功能的设定值。 参阅 6.6.1 节 参阅 6.6.2 节 在氢与氮之间转换。参阅 6.6.3 节 参阅 6.6.4 节 参阅 6.6.5 节 参阅 6.6.6 节

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UL1000Fab 技术手册

第 59 页 共 109 页

6.6.1

真空设定值
? 主菜单 > 设定值 > 真空设定值

在这个菜单中可观察和更改属于真空系统的设定值。 软键 3:放空延迟 参阅 6.6.1.1 节 软键 4:保护功能 参阅 6.6.1.2 节 软键 6:内部测试漏孔漏率 参阅 6.6.1.3 节 软键 7:机器因素 参阅 6.6.1.4 节 放空延迟 ? 主菜单 > 设定值 > 真空设定值 > 放空延迟

6.6.1.1

通过这个菜单可定义在按停止按键后进气口的放空延迟时间。 当按下 停止按键的时间段比这里定义的延迟时间短时,UL1000Fab 即转变 至待用模式。 当按下停止按键的时间段比这里定义的延迟时间长时,UL1000Fab 即将进气口放空。 软键 2:立即 按停止按键后进气口将立即被放空。 软键 3:1 秒钟后 进气口将延迟 1 秒钟后被放空。 软键 4:1.5 秒钟后 进气口将延迟 1.5 秒钟后被放空。 软键 5:? 帮助。 软键 6:2 秒钟后 进气口将延迟 2 秒钟后被放空。 软键 7:不放空 按停止按键后进气口不放空。

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UL1000Fab 技术手册

第 60 页 共 109 页

6.6.1.2

保护功能 ? 主菜单 > 设定值 > 真空设定值 > 保护功能

软键 2:微粒保护 参阅关键词微粒保护

微粒保护
这模式可在 on 与 off 之间切换。 如切换至 on,在进气口压强未降低到 1 毫巴以下时 UL1000Fab 不开 始抽空。假定被测试部件由另一个平行连接的泵抽空。 目的:检漏仪不在高压强下抽空,无气流无微粒进入检漏仪的可能。 软键 3:污染保护 参阅关键词污染保护

污染保护
如这模式切换至 on,一旦测量的漏率超过编程的漏率 UL1000Fab 关 闭全部进气口阀门。 这样不会有更多的氦气进入检漏仪内。 已进入被 试工具内的氦气可由工具泵抽除。 如无附加泵建议在测试继续前将部 件放空。 软键 6:压强限值 参阅关键词压强限值。 软键 7:Gross 检漏 参阅关键词 Gross 检漏。 软键 8:OK 保存设定值回到先前的菜单。

压强限值
在吸入器模式中这个功能自动起作用。 压强限值定义进气口压强的上 限和下限。上限为 2 毫巴,下限为 0.02 毫巴。如压强不在这范围内 将出现误差信息: P > 上限值:毛细管破裂 P < 下限值:通过毛细管的流量太低(毛细管堵塞)

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UL1000Fab 技术手册

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Gross 检漏 可设定最大抽空时间。 如试件有大漏就不会象无漏孔的试件那样快速地抽空。Gross 检漏定 义抽至低于 15 毫巴的允许时间。如时间超过,设备将停止抽空,并 显示相应的信息。

6.6.1.3

内测试漏孔漏率 ? 主菜单 > 设定值 > 真空设定值 > 内测试漏孔漏率

可设定内测试漏孔的漏率值。有关输入说明参阅 4.2.2.7 节数值输入。

警告 一般没有理由编写内部测试漏孔的漏率除非已更换了内部漏 孔。错误的内部漏孔漏率将导致错误的漏率读值。

6.6.1.5

机器因素 ? 主菜单 > 设定值 > 真空设定值 > 机器因素

由于附加外接泵组,必须计入机器因素。如只基于内部校准,所有测 量出来的漏率值将偏小。 在此情况下, 显示的测量漏率值均乘以机器 因素。这个因素只用于真空测量模式(不用于吸入器模式) 。 有关输入说明参阅 4.2.2.7 节数值输入。

6.6.2

抑零-时间
? 主菜单 > 设定值 > 抑零-时间

可更改抑零-时间。 软键 3:↓ 减小抑零时间。最小值为 0.5 秒。 软键 7:↑ 增大抑零时间。最大值为 5.0 秒。 保存设定值回到先前的菜单。

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UL1000Fab 技术手册

第 62 页 共 109 页

在某些情况下 UL1000Fab 可能显示负漏率,例如,如果扣除的本底 讯号大于当前的讯号。 为避免负读值的出现, 需更正与更新储存的本 底讯号值。抑零时间决定更新的频率(在 0.5 至 5.0 秒之间) 。缺省值 为 5。 注意: 当检测很低的漏率(<10-10 毫巴 升/秒)时,抑零值必须为 5 秒。这样才能达到 I?CAL 的全能力和避免错误的读值。

6.6.3

质量
? 主菜单 > 设定值 > 质量

可选择测量气体的质量数。UL1000Fab 必须在待用模式中。 软键 2:H2(2 amu) 测量质量数为 2 amu 的氢。 软键 3:3H(3 amu) 测量质量数为 3 amu 的氦同位素。 软键 4:4H(4 amu) 测量质量数为 4 amu 的氦。

6.6.4

接口
? 主菜单 > 设定值 > 接口

可设定接口的参数。 软键 1:返回 回到先前的菜单。 软键 3:记录仪输出 参阅 6.6.4.1 节。 软键 4:控制位置 参阅 6.6.4.2 节。

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UL1000Fab 技术手册

第 63 页 共 109 页

6.6.4.1

记录仪输出 ? 主菜单 > 设定值 > 接口 > 记录仪输出

可在这个子菜单中选择要记录的讯号。 软键 1:撤消 回到先前的菜单,当前的设定值无任何更改。 软键 2:Off 关断输出讯号(OV 在两个输出中)

软键 3:p1 和 p2 参阅关键词:p1 和 p2。 软键 6:漏率和 p1 参阅关键词:漏率和 p1,6-23 页。 软键 7:漏率 参阅关键词:漏率,6-23 页。 记录仪输出 图 2-2/4 有两个通道。 p1 和 p2 ? 主菜单 > 设定值 > 接口 > 记录仪输出 > p1 和 p2

通道 1 记录进气口压强 p1, 通道 2 记录进气口压强 p2。 输出为对数。 输出电压为 1…10 伏, 每数量级为 0.5 伏, 1 伏 =1×10-3 毫巴开始。 从

图 6-24 有关 TPR265 的特性曲线见附录。

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UL1000Fab 技术手册

第 64 页 共 109 页

漏率和 p1
? 主菜单 > 设定值 > 接口 > 记录仪输出 > 漏率和 p1

通道 1 记录漏率,通道 2 记录进气口压强 p1。输出均为对数。输出 电压范围从 1…10 伏,每数量级为 0.5 伏。

图 6-25

漏率
? 主菜单 > 设定值 > 接口 > 记录仪输出 > 漏率

通道 1 记录漏率的数值部分, 1…10 伏线性。 从 通道 2 记录漏率的指 数部分。步进功能:U = 1…10 伏,每数量级为 0.5 伏,从 1 伏 =1 ×10-12 毫巴开始。 (见:漏率和 p1 的范围,图 6-23) 。

6.6.4.2

控制位置 ? 主菜单 > 设定值 > 接口 > 控制位置

软键 1 PLC UL1000Fab 是通过 Digital In 连接件控制的(参阅 6.6.4.2 节) 。控制 面板上的启动,停止和抑零按键是锁住的。 软键 2 就地和 PLC UL1000Fab 是通过 Digital In 连接件或控制面板上的启动,停止和抑 零按键控制的。 软键 3 就地 UL1000Fab 是通过控制面板上的启动,停止和抑零按键控制的。 Digital In 连接件未用。

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UL1000Fab 技术手册

第 65 页 共 109 页

6.6.5

杂项
? 主菜单 > 设定值 > 杂项

可设定在这个子菜单中的当前的时间和日期,使用的语言和电源频 率。 软键 2:时间和日期 参阅 6.6.5.1 节 软键 3:语言 参阅 6.6.5.2 节 软键 4:校准请求 参阅 6.6.5.3 节 软键 6:电源频率 参阅 6.6.5.4 节 软键 7: 排气过滤器服务时限 软键 8: 排气过滤器服务信息。

6.6.5.1

时间和日期 ? 主菜单 > 设定值 > 杂项 > 时间和日期

时间和日期可在接连两页中更改。有关输入说明参阅 4.2.2.7 节数值 输入。

6.6.5.3

语言 ? 主菜单 > 设定值 > 杂项 > 语言

可选择使用的语言。缺省设定值为英语。 软键 3:德语 将显示德语。 软键 7:英语 将显示英语。

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UL1000Fab 技术手册

第 66 页 共 109 页

6.6.5.3

校准请求 ? 主菜单 > 设定值 > 杂项 > 校准请求

可选择是否出现校准请求信息提醒操作人员或不出现。缺省值为 off 不出现。 软键 3:Off 关断校准请求。 软键 7: 打开校准请求。 如打开校准请求,在接通电源后 30 分钟或从上次校准后 UL1000Fab 已改变 5℃以上一个相应的信息将出现。

6.6.5.4

电源频率 ? 主菜单 > 设定值 > 杂项 > 电源频率

不同的电源频率导致涡旋泵不同的抽速。可选择供电电源的电源频 率。缺省值:230 伏为 50Hz,115 伏为 60Hz。 软键 3:50Hz UL1000Fab 运行于 50Hz 电源频率。 软键 6:60Hz UL1000Fab 运行于 60Hz 电源频率。 排气过滤器服务时限 过滤器维护后,复位这个排气过滤器服务时限。 6.6.5.6 排气过滤器服务信息 排气过滤器必须定期维护以保证 UL1000Fab 的正确功能。如启用这个服务信 息,UL1000Fab 将提醒您需要维护。 警告 如将服务信息置之不顾,则不能排除泵马达过热的危险。

6.6.5.5

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UL1000Fab 技术手册

第 67 页 共 109 页

6.6.6

参数 保存/载入
? 主菜单 > 设定值 > 参数 保存/载入 > 载入

可保存和载入各个设定值或重新载入缺省设定值。 软键 2:保存参数组 1 参阅 6.6.6.1 节 软键 3:保存参数组 2 参阅 6.6.6.1 节 软键 4:保存参数组 3 参阅 6.6.6.1 节 软键 5:载入缺省值 载入缺省设定值 软键 6:载入参数组 参阅 6.6.6.2 节 软键 7:载入参数组 2 参阅 6.6.6.2 节 软键 8:载入参数组 3 参阅 6.6.6.2 节

6.6.6.1

载入参数组 ? 主菜单 > 设定值 > 参数 保存/载入 > 保存

保存当前的参数组入。 软键 4:编写文件名 重新命名参数组。

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UL1000Fab 技术手册

第 68 页 共 109 页

6.6.6.2

载入参数组 1 ? 主菜单 > 设定值 > 参数 保存/载入 > 载入参数组

将显示选择保存的参数组设定值,并可重新载入。 软键 6:↑ 往上回到上一个屏。 软键 7:↓ 往下进入下一个屏。

6.7

信息
? 主菜单 > 信息

信息菜单 图 6-26 可使用子菜单来选择属于 UL1000Fab 的各种信 息。

图 6-26:信息菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 69 页 共 109 页

软键 2:查阅设定值 将显示当前的设定值在 4 页上,如触发值,测试漏孔,质量数,时间 和日期。 软键 3:查阅内部数据 测量的内部数据将显示在 4 个屏上。 软键 4:真空图 将显示 UL1000Fab 的真空图。并显示开启与关闭的阀门。 软键 5:查阅误差清单 将显示所发生的误差和警告的清单。 软键 6:校准历史 将列出进行校准的历史记录。 软键 7:校准因素 将显示不同质量数的校准因素和机器因素。 软键 8:服务 参阅 6.7.1 节

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UL1000Fab 技术手册

第 70 页 共 109 页

6.7.1

服务
? 主菜单 > 信息 > 服务

这个显示屏可进入服务菜单。初始的服务口令在设备供货时未提供, 必须经服务培训后才能取得。有关输入说明参阅 4.2.2.7 节数值输入。 有关这一章的说明比较简短。更详细的内容在服务培训后提供。 在成功输进气口令后显示服务菜单。 在这个菜单只可能执行特殊功能 (如手动开关阀门) 。 软键 2:调试 参阅 6.7.1.1 节 软键 3:因素 参阅 6.7.1.2 节 软键 4:信息 将显示一些服务信息 软键 5:开关灯丝 参阅 6.7.1.3 节 软键 6:高级功能 参阅 6.7.1.4 节 软键 7:手动调谐 参阅 6.7.1.5 节 软键 8:复位功能 参阅 6.7.1.6 节

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UL1000Fab 技术手册

第 71 页 共 109 页

6.7.1.1

调试 ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 调试

在成功输入口令后显示服务菜单。在这个菜单只可能执行特殊功能 (如手动开关阀门) 。 软键 1:返回 回到主菜单 软键 2:HEX-Viewer ROM 参阅关键词 HEX-Viewer ROM 软键 3:HEX-Viewer RAM 参阅关键词 HEX-Viewer RAM 软键 4:显示器测试 将开始显示器的功能性测试。按任何软键回到菜单 软键 5:编写偏离电流 参阅关键词编写偏离电流 HEX-Viewer ROM ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 调试 > HEX-Viewer ROM

将显示 ROM 的内容。 软键 1:-64K 按一步 64K 上调 软键 2:-4K 按一步 4K 上调 软键 3:+4K 按一步 4K 下调 软键 4:+64K 按一步 64K 下调 软键 6:↑ 往上回到先前的显示屏 软键 7:↓ 往下进入下一个显示屏 软键 8:OK 回到服务菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 72 页 共 109 页

HEX-Viewer RAM ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 调试 > HEX-Viewer RAM

将在线显示 RAM 的内容。 有关菜单页的说明参阅 HEX-Viewer ROM 一节。

编写偏离电流
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 调试 > 编写偏离电流

将显示偏离电流和漏率。偏离电流的值可更改。 软键 2:↓ 减小偏离电流 软键 6:↑ 增大偏离电流 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

6.7.1.2

因素 ? 主菜单 > 信息 > 服务> 因素

可更改测量模式间的因素。 软键 4:因素 500GW/15GW 参阅关键词因素 500GW/15GW 软键 7:因素 ULTRA/FINE 参阅关键词因素 ULTRA/FINE 软键 8:因素 FINE/GROSS 参阅关键词因素 FINE/GROSS

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UL1000Fab 技术手册

第 73 页 共 109 页

因素 500G?/15G?
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 因素 > 因素 500GW/15GW

可更改前置放大器测量量程间的因素。 软键 1:撤消 回到先前的菜单,对现有的设定值无任何更改 软键 3:↓ 按每步 0.1 的倍数降低 软键 7:↑ 按每步 0.1 的倍数增加 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

因素 ULTRA/FINE
? 主菜单 > 信息 > 服务> 因素 > 因素 ULTRA/FINE

可更改 FINE 模式与 ULTRA 模式之间的因素。 软键 1:撤消 回到先前的菜单,对现有的设定值无任何更改 软键 2:-1 按每步 1 的倍数降低 软键 3:-0.1 按每步 0.1 的倍数降低 软键 6:+1 按每步 1 的倍数增加 软键 7:+0.1 按每步 0.1 的倍数增加 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 74 页 共 109 页

因素 FINE/GROSS
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 因素 > 因素 FINE/GROSS

可更改 GROSS 模式与 FINE 模式之间的因素。 软键 1:撤消 回到先前的菜单,对现有的设定值无任何更改 软键 2:-10 按每步 10 的倍数降低 软键 3:-1 按每步 1 的倍数降低 软键 6:+10 按每步 10 的倍数增加 软键 7:+1 按每步 1 的倍数增加 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

6.7.1.3

切换灯丝 ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 切换灯丝

可选择阴极。将显示需要的和工作阴极的编号。 软键 3:1 使用阴极 1 软键 7:2 使用阴极 2 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 75 页 共 109 页

6.7.1.4

高级功能 ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 高级功能

将打开子菜单关断 UL1000Fab 的自动控制。选择撤消来否定或肯定 关断自动控制。 在关断自动控制后。回到常规工作模式。必须先将 UL1000Fab 后板 上的电源开关关断,然后再开上电源。 软键 2:开关阀门和泵 参阅关键词开关阀门和泵 软键 3:开关发射 参阅关键词开关发射 软键 6:前置放大器量程 参阅关键词前置放大器量程 软键 7:后续放大器量程 参阅关键词后续放大器量程

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UL1000Fab 技术手册

第 76 页 共 109 页

开关阀门和泵
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 高级功能 > 开关阀门和泵

将显示 UL1000Fab 的真空图。并显示开启或关闭的阀门。前级泵, 涡轮分子泵和阀门可手动开或关。 软键 1:返回 回到主菜单 软键 2:TMP off 关断涡轮分子泵 软键 3:TMP on 开上涡轮分子泵 软键 4:泵 off 关断前级泵 软键 5:泵 on 开上前级泵 软键 6:↑ 往上选择先前的阀门 软键 7:↓ 往下选择下一个阀门 软键 8:开关阀门 选择的阀门被打开或关闭。将当前的状态显示在真空图中

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UL1000Fab 技术手册

第 77 页 共 109 页

开关发射
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 高级功能 > 开关发射

可手动开上或关断发射。将显示发射的工作状态和要求的状态。 软键 3:Off 关断发射 软键 6:待用 将发射转换至待用状态 软键 7:ON 开上发射 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

前置放大器量程
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 高级功能 > 前置放大器量程

可手动选择前置放大器的灵敏度。 软键 2:13M? 使用 13M? 前置放大器量 软键 3:470 M? 使用 470 M? 前置放大器量程 软键 6:15G? 使用 15G? 前置放大器量程 软键 7:500G? 使用 500G? 前置放大器量程 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 78 页 共 109 页

后续放大器量程
? 主菜单 > 信息 > 服务 > 高级功能 > 后续放大器量程

可手动选择后续放大器的放大倍数。 软键 2:?0.4(固定) 使用放大倍数为 0.4 软键 3:?1.6(固定) 使用放大倍数为 1.6 软键 6:?6.4(固定) 使用放大倍数为 6.4 软键 7:?25.6(固定) 使用放大倍数为 25.6 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

6.7.1.5

手动调谐 ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 手动调谐

如在进气口上装有外测试漏孔,可执行质量的粗调谐。 软键 1:撤消 回到先前的菜单,对现有的设定值无任何更改 软键 3:↓ 降低阳极电位。对质量 4 的最小值为 390 伏 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 79 页 共 109 页

6.7.1.6

复位功能 ? 主菜单 > 信息 > 服务 > 复位功能

误差清单与校准历史可复位,和重新载入工厂设定值。 软键 1:返回 回到主菜单 软键 2:清除误差清单 打开子菜单,用 OK 或 Cancel 键来清除发生过的误差清单 软键 3:清除校准历史 打开子菜单,用 OK 或 Cancel 键来清除校准历史 软键 4:载入工厂设定值 打开子菜单,用 OK 或 Cancel 键来恢复工厂设定值

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UL1000Fab 技术手册

第 80 页 共 109 页

6.8

查访控制
? 主菜单 > 查访控制

这个菜单 图 6-27 可限制查访整个 UL1000Fab 或仅只查访菜单。

图 6-27:查访控制菜单 软键 4:查访校准功能 参阅 6.8.1 节 软键 8:更改菜单-PIN 参阅 6.8.2 节

6.8.1

查访校准功能
? 主菜单 > 查访控制 > 查访校准功能

它可选择是否限制查访校准菜单。 软键 3:Off 校准功能只能在主菜单中启用。如菜单-PIN(参阅 6.8.2 节)已启用, 您需要这个 PIN 起始校准 软键 7:ON 校准功能可在主菜单和待用模式与测量模式中启用 软键 8:OK 保存设定值,回到先前的菜单

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UL1000Fab 技术手册

第 81 页 共 109 页

6.8.2

更改菜单-PIN
? 主菜单 > 查访控制 > 更改菜单-PIN

查访菜单可用输入或更改个人身份识别号(PIN)来限制。如输入 0000,即不检查 PIN。 有关输入说明参阅 4.2.2.7 节数值输入。

6.8.3

更改设备-PIN
? 主菜单 > 查访控制 > 更改设备-PIN

进入 UL1000Fab 可用设备-PIN 来限制。如设备-PIN 不是 0000, UL1000Fab 接通电源后将要求输入这个 PIN。无设备-PIN 就不能使 用 UL1000Fab。 注意 在任何情况下要牢记这个 PIN!PIN 的重新设定必须由 INFICON 维修部门执行。

6.8.4

抑零
? 主菜单 > 查访控制 > 抑零

这个设定值使控制面板上的抑零按键起作用(相对于不起作用) 。仪 器具有“ULTRA 抑零”功能,当它启动后首次达到 ULTRA 测量量 程时, 即自动执行抑零功能。 在这模式中也可通过抑零按键手动执行 抑零功能。

6-39
81

UL1000Fab 技术手册

第 82 页 共 109 页

7
7.1

校准
前言
UL1000Fab 可使用两种不同的方法校准: ? ? 内部校准,用安装在仪器内的标准漏孔。 外部校准,用一个附加的标准漏孔,将它装在进气口或试件上。

在校准过程中, 将质谱仪调至最大氦讯号, 这个讯号与内部或外部标 准漏孔的已知漏率有关。尽管 UL1000Fab 是一台非常稳定的仪器, 还是建议及时进行校准, 以排除环境温度的改变或尘土或其它因素对 测量的影响。 当使用条件固定不变时, 至少每天校准一次。 否则校准的频度应取决 于使用的频度。 注意 为达到最佳化的校准,仪器在使用前应至少预热 30 分钟。

7.2

校准进程
有三种进入校准进程的方法: ? 在待用模式中 (即在仪器起转过程的终点或按停止按键后) 可用 校准(5 号软键)起始校准功能。 在测量模式中可按校准(5 号软键)起始校准进程。 在主菜单中可用校准(5 号软键)起始校准。

? ?

任何时候只要按停止按键或 1 号软键(撤消)即可终止校准。 一旦启用校准模式, 用户必须在内部或外部校准之间作出选择。 请按 相应的软键。

7.2.1

内部校准
UL1000Fab 内部校准有两种可能性:

7-1
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UL1000Fab 技术手册

第 83 页 共 109 页

? ?

如仪器的进气口已盲住或用阀门与任何连接的容器隔开, 可选择 自动校准(8 号软键) 。 如仪器连接容器或较大的试件时, 必须执行手动校准, 因为当打 开或关闭内部标准漏孔时反应时间大大地取决于容器的容量。 建议尽可能使用自动校准。

注意

7.2.1.1

自动内部校准 一旦这个顺序开始,整个过程将自动执行。在完成时(约 25 秒后) 发出笛音讯号, 操作人员可决定是否接受新的校准因素。 其后仪器已 作好下一步使用的准备。

7.2.1.2

手动内部校准 当选用手动内部校准时,假定 UL1000Fab 已连接试件(如否请进入 自动内部校准) 。 手动内部校准开始后,UL1000Fab 将试件抽空(如试件未在真空状 态下) ,并打开内部标准漏孔。需要多长时间使氦讯号稳定下来与 试件的容积有关。因此用户必须确认讯号已达到稳定值(8 号软键) 。 仪器现在运行通过调校过程, 并自动关闭内部标准漏孔。 需多长时间 将氦抽除和达到稳定的本底, 同样取决于试件的容积, 它必须由用户 确认。 其后仪器已校准完毕。

7-2
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UL1000Fab 技术手册

第 84 页 共 109 页

7.2.2

外部校准
进行外部校准时,必须将标准漏孔连接在试件上或直接连接在进气 口上。在选择外部校准(8 号软键)后,将显示下列信息和执行下述 操作步骤:
? 确认测试漏 孔已连接和 打开。 ? 检查打印在 测试漏孔上 的漏率与显 示器上显示 的漏率相比 较。如漏率 值不相符, 用漏率编写 键(4 号软 键)修正。 ? 如漏率值 OK,按启动 键(8 号软 键) 。

图 7-28:外部校准,第 1 步
? 无需操作。

图 7-29:外部校准,第 2 步

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UL1000Fab 技术手册

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? 条图显示一 个讯号,此 讯号必须变 化不大。如 是 , 按 OK ( 8 号 软 键) 。

图 7-30:外部校准,第 3 步
? 无需操作。

图 7-31 外部校准,第 4 步
? 无需操作。

图 7-32 外部校准,第 5 步

7-4
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UL1000Fab 技术手册

第 86 页 共 109 页

? 关闭外标准 漏孔,并按 OK(8 号软 键)确认。

图 7-33:外部校准,第 6 步
? 条图显示一 个讯号,此 讯号必须不 降低。允许 有 小 的 波 动。如是, 请按 OK(8 号软键) 。

图 7-34:外部校准,第 7 步
? UL1000Fab 显示老的和 计算的新校 准因素。这 个因素必须 在 0.1 与 10 之间。 如是, 请接受新的 值。

图 7-35:外部校准,第 8 步

7-5
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UL1000Fab 技术手册

第 87 页 共 109 页

8

误差和警告信息
UL1000Fab 装备有全面的本机诊断设施。如检测到误差或警告条件, 将通过液晶显示器通知操作人员。 当误差或警告条件发生时产生音响讯号。频率每 400 毫秒从 500Hz 来回变化,以便与日常的环境噪声明显地区别开来。 误差和警告信息被记录下来,便于以后通过菜单信息查阅(参阅 6.7 节) 。

8.1

提示
警告信息 将指示警告信息: ? ? 当 UL1000Fab 检测到一个不正常条件或 当它需要提醒操作人员(如请求校准或维护定期已到) 。

UL1000Fab 将在液晶显示器上显示信息,并保持在待用模式或测量 模式中。 警告信息将保留在液晶显示器上,直至按“OK” 号键)确认警告。 (8 此后 UL1000Fab 仍能继续使用(可能会有某些限制) 。状态行显示警 告三角形直至退出警告状态(参阅 5.3.3 节) 。 误差信息 误 差 是 事 例 , 它 迫 使 UL1000Fab 中 断 测 量 运 行 。 在 此 情 况 下 UL1000Fab 关闭全部阀门(待用模式) 。 误差信息将保留在液晶显示器上,直至按“重新启动” 号键)确 (8 认。接着,UL1000Fab 重新启动一个新的起转顺序。某些情况下, 重新启动 UL1000Fab 前检查一下某些设定值或测量值是有益的。因 此,还可按“菜单” 号键或菜单键)进入 UL1000Fab 菜单。在离 (4 开菜单后再次显示同样的误差信息。 注意 在个别情况下(未知的软件误差,过高的电磁干扰)仪器内 的“监视”电路将防止 UL1000Fab 的失控运行。这个监视 电路将使 UL1000Fab 重新启动。经过这个步骤后,仪器将 进入待用模式。无误差信息输出。

8-1
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UL1000Fab 技术手册

第 88 页 共 109 页

8.2

误差和警告信息清单
在控制屏上显示的所有误差和警告信息列于下面的清单中。用 W 打 头的编号为警告信息。用 E 打头的编号为误差信息。

编号 W14 W15 W16 W17 W18 E23 E24 E25 E29 E30 W31 W32

显示的信息 ERR14_SERVICE_OIL_ _FILTER ERR15_CONTAMINATION _PROTECT

说明与解决方法 油过滤器维护周期已到期! 漏率太高!转换至服务模式以防污染!

OPTION U24<20 伏 IO 阀门 U<7 伏 FB U24<20 伏

OPTION 插座脚 1 的 24 伏电压太低,U<20 伏。I/O 板 上的保险丝已断。 阀门电压低于 7 伏;例如影响 V1.I/O 板有故障。 手持单元的电压太低,U<20 伏。可能是接线后板上的 保险丝已断。 前置放大器的温度太高,T>60℃。 ? 环境温度太高。 ? 空气过滤器已脏,必须更换。 ? 前置放大器的温度传感器讯号指示,T<2℃。 前级泵启动时间加长。 ? 温度传感器有故障。

前置放大器 T>60℃

W33

前置放大器 T<2℃

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编号 E34

显示的信息 MSV U24<18.3 伏

说明与解决方法 MSV 板上的讯号 MVPZN 工作。 伏讯号电压太低, 24 U<18.3 伏。 ? MSV 板上的保险丝已断。 ? 24 伏电源电压丢失。 关断 UL1000Fab! 电压丢失将导致旋片泵上的排气阀关闭,从而导致污染真 空系统。 ? MSV 板 XT7/1 上的参考电压 UREF 太高,U>5 伏。 阳极与阴极间的电压太高,U>130 伏。MSV 板有故障。 阳极与阴极间的电压太低,U<30 伏。MSV 板有故障。 MSV 板上的讯号 MFSZH 工作。抑制极讯号指令变量太高。 ? 抑制极电压有短路 ? MSV 板有故障 U>363 伏,MSV 板有故障。 U<297 伏,MSV 板有故障。 阳极工作电位超过额定值 10%。额定值可在服务菜单中显 示。 MSV 板有故障。 阳极工作电位降至低于额定值 10%。额定值可在服务菜单 中显示。 MSV 板有故障 MSV 板上的讯号 MFSZH 工作。 ? 阳极电压已短路。 ? 阳极电压的额定值太高,阳极电压限值约为 1200 伏。 MSV 板上的讯号 MFPKZH 工作。阴极电流太高,I>3.6 安。 MSV 板有故障。 MSV 板上的讯号 MFPKZH 工作。阴极电流太低,I<0.2 安。 MSV 板有故障 MSV 板上的讯号 MSIBE 不工作。阴极 1 的发射不能加上。 UL1000Fab 切换至阴极 2。 当下次开上 UL1000Fab 时重复警告。当通过服务菜单手动 加上阴极 1 发射时,警告将消失。订购一个新离子源。

E35 E36 E37

MSVAnod-Cad-U>130 伏 MSV Anod-Cad-U<30 伏 MSV Sup-Nom U>>

E38 E39 E40

MSV Sup-Pot>363 伏 MSV Sup-Pot<297 伏 MSV Anod-Pot U>>

E41

MSV Anod-Pot U<<

E42

MSV Anod-Nom U>>

E43

MSV Cat-加热器 I>>

E44

MSV Cat-加热器 I<<

E45

MSV 阴极 1 损坏

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UL1000Fab 技术手册

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编号 E46

显示的信息 MSV 阴极 2 损坏

说明与解决方法 MSV 板上的讯号 MSIBE 不工作。阴极 2 的发射不能加上。 UL1000Fab 切换至阴极 1。 当下次开上 UL1000Fab 时重复警告。当通过服务菜单手动 加上阴极 2 发射时,警告将消失。订购一个新离子源。 MSV 板上的讯号 MSIBE 不工作。 发射不能加上。 更换离子 源来更换阴极。 更换离子源后, 通过服务菜单必定能手动加上两个阴极的发 射。 MSV 板上的讯号 MSAFD 工作。阳极加热器保险丝已断。 更换 MSV 板上的保险丝 2。 频率转换器的时钟已损坏。无通讯至频率转换器。 涡轮分子泵的频率太低。 频率转换器有故障。 涡轮分子泵有故障。

E47

MSV 阴极损坏

E48

MSV 保险丝 F2 断

E50 E52

TMP 无时钟 TMP 频率<<, t>5 分

W53 E54

Electr.T>60℃

电子学侧的温度太高,T>60℃。 ? 室温太高 ? 内部通风已坏 ? 空气过滤器已脏必须更换。 ? 接线板上的温度传感器讯号指示,T<2℃。 前级泵启动时间加长。 ? 温度传感器有故障。 U<0.27 伏;灯丝断。 更换测量 PE 的 Thermovac 的敏感元件。 U<0.27 伏;灯丝断。 更换测量 PV 的 Thermovac 的敏感元件。 接通电源 t>5 分后 PV>3.8 毫巴。 前级泵启动时间太长。 发射应开上电源。MSV 次组装件指示有故障。MENB 发射 电流不在范围内。 在吸入器模式中, 吸入器管线的进气压强是受控制的。 如压 强低于最小限值,通过毛细管的流量太低(污染)或毛细管 堵塞(外物,颗粒) 。 最小限值可在菜单中设定,缺省值为 0.1 毫巴。参阅 6.6.1.3 节。 8-4
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W55

Electr.T<2℃

E56

PE 损坏 U<270 毫伏

E58

PV 损坏 U<270 毫伏

E60 E61 W62

PV>>毫巴,t>5 分 发射故障 毛细管堵塞

UL1000Fab 技术手册

第 91 页 共 109 页

编号 W63

显示的信息 毛细管断

说明与解决方法 在吸入器模式中, 吸入器管线的进气压强是受控制的。 如压 强超过最大限值,通过毛细管的流量太高(不密封,毛细管 断) 。 最大限值可在菜单中设定,缺省值为 1.0 毫巴。参阅 6.6.1.3 节。 由于空气侵入 PV>>0.2 或 3 毫巴,UL1000Fab 将重新尝试 恢复测量模式。 ??? ? 检查应用情况。 ? 最佳化时间。 最大讯号已移出质量范围的调整限值。 ? 通过服务菜单检查阳极电压的基本设定值。 ? 检查校准漏孔。 校准漏孔打开与关闭,放大器电压变化小于 10 毫伏。 校准漏孔未关好。 校准漏孔的漏率太小或未打开。前置放大器电压<10 毫伏。 不管调校过程,继续校准过程。

E73 W76

发射 Off PV>> 抽空停止

W77

峰值未在量程中

W78

差值太小

W79

讯号太小

W80 W81

校准因素太低

<0.1 计算的校准因素超出有效范围。保留老的因素。 可能原因: ? 未维持校准条件。 ? 输入的校准漏孔漏率值太高或太低。 >10 计算的校准因素超出有效范围。保留老的因素。 可能原因: ? 未维持校准条件。 ? 输入的校准漏孔漏率值太高或太低。

W82

校准因素太高

W83 W85

8-5
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UL1000Fab 技术手册

第 92 页 共 109 页

9

接口说明
提供 ASCII 模式和二进制模式。电源 ON 后 UL1000Fab 为 ASCII 模 式(缺省) 。 接口参数为:19000 频段,8 位,1 停止位,无奇偶位。

9.1

ASCII-模式
? ? ? ? ? ? ? ? 每个指令用 CR 键确认。 传输可用 ESC, ^C 或 ^X 键终止。 大写与小写无区别。 指令与相应的参数用空格分开,不允许更多的空格。 每个指令有长式和短式。仅这些必须使用两个方式。 指令文字用冒号分开。 小数点用点表示(如用逗号,只转换数字的整数部分)。 问号用“?”表示。

9.1.1

误差信息
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 ERR_OK ERR_CMD_START ERR_ERR_BLANK ERR_CMD_WORD_1 ERR_CMD_WORD_2 ERR_CMD_WORD_3 ERR_DISABLED ERR_ARGUMENT ERR_NO_DATA ERR_INVALID ERR_NO_QUERY ERR_QUERY ERR_NOT_IMPLEMENTED 指令完整 错误的指令开始 (无"*"号) 不合理的空格 指令文字 1 不合理 指令文字 2 不合理 指令文字 3 不合理 RS232 控制未启用 变元故障 无数据可用 指令无效 不允许查询 只允许查询 尚未执行

9-1
92

UL1000Fab 技术手册

第 93 页 共 109 页

9.1.2

参数
<b> <NRf> 布尔逻辑: 数值表示方式: 分别为0 / OFF 或 1/ ON 整数, 实数 (15.6) 或指数(4.5E-7)

[space] [sign] [ddd] [.] [ddd] [e|E[sign]ddd]

9.1.3

实例
指令 应答 *stat? (CR) MEAS (CR) *status? (CR) MEAS (CR) *read? (CR) 2.876E-7 (CR) *read:pa*m3/s? (CR) 2.876E-6 (CR) *start (CR) OK (CR) *conf:trig1? (CR) 1.0E-9 *conf:trig1 2.0E-9 (CR) OK 模式 模式 编程单位的漏率 不同单位的漏率 开始测量 检索触发值1 设定触发值 1

9.1.4
*CLS *IDN

指令清单
清除误差 标识号 校验和 仪器名称 (UL1000, UL1000Fab, UL5000) 软件版号 序列号 TC600软件版号 MC68硬件标识号 IO-卡硬件标识号 控制屏硬件标识号 主板硬件标识号 MC68 Dip开关1 MC68 Dip开关2

:CRC :DEVice :VERsion :SERial :TURBO :MC68 :IOversion :GBversion :VDversion :DIP1 :DIP2

9-2

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UL1000Fab 技术手册

第 94 页 共 109 页

*STATus

[:CAL]

[:CALHist] [:CALMode] [:ERRor] [:ERRorHist] [:ZERO] [:RANGE] *READ [:<unit>] *STArt *STOp *VENt *CAL *ZERO [:OFF] *MEAS :P1 :P2 :P3 :OFFset :IMess :IFilter :UNV :UVV :MIAP :MIKP :MISP :MIAKP :VALVE

仪器模式 INIT, ACCL, STBY, VENT, WAIT_EVAC, EVAC, MEAS, CAL, ERROR 校准模式 IDLE, EVAC, OPEN, TUNE, TUNE_RES, CLOSE,STABLE_CLOSE, WAIT_OK CAL历史 (1…12) 校准类型 INT_AUTO, INT_MAN,EXT 误差 误差历史(1…12) 抑零 测量模式 GROSS, FINE, ULTRA 漏率

启动 停止 放空 校准 抑零 抑零 off

进气口压强 前级压强 进气口压强(UL5000) 偏离电流 [A] 电流原始值 [A] 电流过滤值[A] 放大器电压 [V] 前置放大器电压 [V] 阳极电位[V] 阴极电位[V] 抑制极电位 [V] 阳极-/阴极间 电位[V] 阀门电压[V]

9-3
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UL1000Fab 技术手册

第 95 页 共 109 页

:U24EXT :U24FB :U24FAN :TEMPeratur :Amplifier :Electronic :TURBO :Frequency :Volt :Current :Power *CONFig

外加电压[V] 遥控电压[V] 风扇电压 [V] 前置放大器温度 电子学温度 TMP TMP TMP TMP 频率 [Hz] 电压 [Hz] 电流[A] 功率[W]

音响报警类型(PIN, SET, TRIG, PROP) 本底显示 笛音 CAL 查访 测试漏孔的漏率 内部测试漏孔 外部i测试漏孔在真空模式中 外部测试漏孔在吸入器模式中 校准请求 阴极 控制位置 (LOCAL, RS232, PLC, LOCAL/RS232, LOCAL/PLC) :FREQuenz 电源频率 (50/60Hz) :TRIGger1 触发值1 :TRIGger2 触发值2 :ICAL <b> 过滤器型式 :LANGuage 语言 (英语, 德语) :MASS 质量 :MFAE: 阳极参考电位 :M2 质量 2 :M3 质量 3 :M4 质量 4 :MODE 模式 (VAC, SNIFF, GROSS) :PROTection 保护功能 :PARTicle <b> 微粒保护 :CONTamination <b> 污染保护 :CONTLimit 污染保护限值 :EVACtime 最大抽空时间 (0 – 无穷大) :AUDio :BACKGround <b> :BEEP <b> :CALAccess <b> :CALleak :INT :EXTVAC :EXTSNIFF :CALREQ <b> :CATHode :CONTrol

9-4
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UL1000Fab 技术手册

第 96 页 共 109 页

:PMAX :PMIN :RECorder :RS232 :UNIT :LR :Pressure :VENTdelay :ZERO :ZEROTime *HOUR :DATE :DEVICE :SERVice :涡轮分子 :FORE :FILTER :TIME :TURBO :TC *FACtor :RESistor :VACuum :M2 :M3 :M4 :SNIFf :M2 :M3 :M4 :MACHine :CORrection :ULFI :50 :60 :FIGR :50 :60 :FREQ

最大吸入压强 最小吸入压强 记录仪 (OFF, P1/2, LR/P1, LR) 模式(Ascii, Binary) 漏率单位 压强单位 放空延时 (0, 1, 1.5, 2, NO) 抑零 (OFF, ON, ULTRA) 抑零时间 (0.5…5) 日期 工作小时数 涡轮分子泵维护 前级泵维护 过滤器维护 时间 TMP工作小时数 频率变换器工作小时数

电阻器因素 500 G / 15 G 真空校准因素

吸入器校准因素

FINE / GROSS 因素

50 Hz / 60 Hz 因素

9-5
96

UL1000Fab 技术手册

第 97 页 共 109 页

9.2
9.2.1

二进制模式
实例

SET_CAL_CONTROL
HOST ? MC68: 5 5 3 0 13 0x05 0x05 0x03 0x00 0x0d 启动 Len 完成指令 参数超出 检验和
范围

MC68? HOST 3 3 6 0x03 0x03 0x06 Len 完成指令 检验和

GET_CAL_CONTROL
HOST? MC68: 5 4 0x05 0x04 启动 Len 4 0x04 13 0x0d MC68?HOST 4 4 1 0x04 0x04 0x01 Len 完成指令
参数超出 范围

9 0x09
检验和

完成指令 检验和

9.2.2

数据格式
float: unsigned long int: unsigned short int: signed short int: unsigned uchar: unsigned uchar: 4 Bytes,按照IEEE754 (±10± 38), 3 Byte 数值, 1 Byte 指数/符号 4 Bytes,无符号整数MSB … LSB (0…4294967295) 2 Bytes,无符号整数MSB, LSB (0…65535) 2 Bytes,带符号整数MSB, LSB (-32768…32767) 1 Byte,无符号整数 (0…255) 1 Byte, ASCII 码 (0…255)

9.2.3

误差信息
230 231 232 233 234 235 RS232Host RS232Fb RS232Invalid RS232PW1disable RS232PW2disable RS232CmdFailed 当前无效 (主控) 当前无效 (遥控) 当前无效 (例如CAL在起转过程中) 口令1 禁用 (菜单功能) 口令2 禁用 (服务功能) 完成指令失败

9-6
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UL1000Fab 技术手册

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240 241 242 243 244 252 253 254 255

RS232Cmd RS232FbChecksum RS232FbTimeout RS232Len RS232Para RS232Start RS232Checksum RS232Timeout RS232Buffer

指令不存在 遥控l: 检验和有误 遥控: 超时 参数的长度或字数有误 参数超出范围 第一个符号有误 (非0x05) 传输的检验和与计算的检验和不等 超时(指令传送在500毫秒内未完成) 缓存超限

9.2.4

指令
每个发出的指令用一个(指令完成号)确认。如出现故障将提高一个误差字节 (>=230) 。

编号 0 1 2 3 4 5 6 7

名称 SetASCII GetP1 GetP2 GetP3

说明,参数 更改为 ASCII 压强P1 (进气口阀-阻塞) [float] Byte 0: 实体 (0-mbar, 1-Pa, 2-Torr) 压强P2 (前级真空阀-阻塞) [float] Byte 0: 实体 (0-mbar, 1-Pa, 2-Torr) 压强P3 (UL5000进气口-阻塞) [float] Byte 0: 实体 (0-mbar, 1-Pa, 2-Torr)

GetScroll SetScroll

涡旋泵 Byte 0: 0-off, 1-on

9-7
98

UL1000Fab 技术手册

第 99 页 共 109 页

10 11

GetValve Set Valve

阀控制 UL1000 Fab V4b 0 x 0001 V4a 0 x 0002 V2 0 x 0004 V1a 0 x 0008 0 x 0010 0 x 0020 0 x 0040 V7 0 x 0080 V6 0 x 0100 V1b 0 x 0200 0 x 0400 V5 0 x 0800 减小阀电源 [uchar] 0-decreased, 1- high, 2-auto SPS-引入条件 Bit0 启动 Bit1 打印 Bit2 抑零 SPS Bit3 校准 Bit4 清除 Bit5 停止 Bit6 吸入器/真空 Bit7 气镇 Bit8 近程开关 Bit9 吸入器抑零 手动设定继电器出口 Bit0 Cal 工作 Bit1 Cal 请求 Bit2 误差 Bit3 警告 Bit4 气镇工作 Bit5 漏率<触发值1 Bit6 漏率<触发值2 Bit7 漏率<触发值3 Bit8 抑零工作 Bit9 作好准备 Bit10 测量 Bit11 GOOD (ample light 和吸入器) Bit12 BAD (ample light 和吸入器) Bit13 记录仪选通 对于 值 < 16384转换至常规模式.

12 13 14

GetValveCtrl SetValveCtrl GetSpsInput

15

SetRelais

9-8
99

UL1000Fab 技术手册

第 100 页 共 109 页

16

SetRecorder

17 18 20

SetLimit SetAutomatik GetTurboCtrl

21

SetTurboCtrl

22

GetTurboF

23

GetTurboI

24

GetTuboP

25

GetTurboH

26

GetTCH

30 31

GetRangeVV SetRangeVV

记录仪输出手动设定值 Byte 0: 输出 (0: 通道1, 1: 通道2) Byte 1 和 Byte 2: 输出 电压(10000=10V) 对于 值 > 10000 转换至常规模式. 自动换挡限值设定 0 – GROSS, 1 – FINE, 2 - ULTRA 0 – 自动off, 1 – 自动on 涡轮分子泵状态 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte 0: 标称条件 (0-off, 1-reduced, 2Normal) Byte 1: 工作条件 (0-off, 1-reduced, 2-normal, 3-up, 4-down, 5-Err) 涡轮分子泵状态 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte 1: 标称条件 (0-off, 1-reduced, 2normal) 涡轮分子泵频率 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte ?: 频率 [usint, Hz] 涡轮分子泵电流 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte ?:频率 [usint, Hz] 涡轮分子泵电源 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte 1: 电源 [uchar, W] 涡轮分子泵工作小时数 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte 1..4: 小时 [ulint, h] 频率变换器工作小时数 Byte 0: 0- MS的涡轮分子泵; 1-升压泵 Byte 1..4: 小时[ulint, h] 前置放大器 [uchar] 自动: 0-13M; 1-470M; 2-15G; 3-500G 手动: 4-13M; 5-470M; 6-15G; 7-500G 8- 启用自动换挡

9-9
100

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32 33

GetRangeNV SetRangeNV

34 35 36 37 39 40 41 42

GetR43 SetR43 GetCalFac SetCalFac GetZustArange GetMass SetMass GetMFAE

放大器 自动: 0-0.4; 1-1.6; 2-6.4; 3-25.6 手动: 4-0.4; 5-1.6; 6-6.4; 7-25.6 8- 启用自动换挡 因素 500G => 15G [float] 校准因素 [x] [float] Byte 0: 指数(质量, 模式) Byte 1..4: 因素 [float] 自动换挡状态 质量[uchar, 0/1/2 对 质量2/3/4] 阳极电位读值 质量 [uchar, 0/1/2 对 质量2/3/4] 电压 [usint, V] 阳极电位设定值 Byte 0:质量 [uchar, 0/1/2 对 质量2/3/4] Byte 1..2:电压 [usint, V] MSV状态 Byte 0: 标称状态 (0-off, 1-经济模式, 2-常规模式) Byte 1: 工作状态 (0-off, 1-经济模式, 2-常规模式) MSV状态 Byte 0: 标称状态 (0-off, 1-经济模式, 2-常规模式) 阴极(灯丝) [uchar, 0/1 对 阴极1/2] MS-配置 Byte 0: MFAE阳极电位参考值 外接 Byte 1: METS抑制极测试功能 序列号读值 16 Bytes 16.0

43

SetMFAE

44

GetMSCtrl

45 46 47 48 49

SetMSCtrl GetMSKat SetMSKat GetMSConfig SetMSConfig

70 80 81 82 83

GetSerialNr GetFacUltraFin e50 SetFacUltraFin e50 GetFacUltraFin e60 SetFacUltraFin e60

16.0

9-10
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84 85 86 87 88 89 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 119

GetFacFineGr oss50 SetFacFineGro ss50 GetFacFineGr oss60 SetFacFineGro ss60 GetFacNetz SetFacNetz GetIOffset GetIFilter GetImess GetLr GetUNV GetUVV GetUP1 GetUP2 GetUP3 GetElTa GetEvsTa GetMiap GetMikp GetMisp GetMiakp GetUValve GetU24Out GetU24FB GetUNT2 ParaReset

600.0

600.0

0.926 偏离-电流 [float, A] 过滤器电流 [float, A] roh 电流 [float, A] 漏率 Byte 0:单位(0-mbar*l/s, 1-Pa*m?/s, …) 放大器电压 [float, mV] 前置放大器电压 [float, V] 压强P1 (MS进气口) [float, mV] 压强P2 (MS前级真空) [float, mV] 压强P3 (UL5000进气口-堵住) [float, mV] 电子学温度[float, ° C] 前置放大器温度[float, ° C] 阳极电位[float, V] 阴极电位[float, V] 抑制极电位[float, V] 阳极-/阴极间电位 [float, V] 阀门电压[float, V] 外电压 [float, V] 遥控电压 [float, V] 电源2 电压 [float, V] 复位参数 功能 [uchar]: 1-加载工厂设定值

9-11

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10
10.1

维护
INFICON 服务
如将设备返回 INFICON,请标明设备无危害健康的物质或设备已污染。如已 污染,前请标明危害的性质。为此您必须填写图 1-1 中的污染申报表,这个表 格我们准备根据您的要求随时提供,或您可从本手册封底前页上复印。 请随设备附上这个表格或与设备一起放在包装箱内。 按照德国的法律, 为保护我们的人员污染申报表是必须的。 无污染申报表的任 何设备 INFICON 将按发送地址退回。

10.2

维护计划
UL1000 Fab产品的维护计划: ? 每1500工作小时(最小维护), 至少一年两次, ? 每4000工作小时(标准维护), 至少每年一次, ? 每8000工作小时(高级维护), 至少两年一次. 高级维护必须每两年执行一次即使未达到每年标定的工作小时数。 高级维护也包含 最小和标准维护。 注意 如不按照上述要求的周期维护,UL1000 Fab将失去保修期。

建议签订维护合同。

10.2.1 最小维护
每1500工作小时(最小维护), 至少一年两次的最小维护可由操作人员或维护人员执行。 风扇前面的过滤器过滤筛网应每两月检查一次(恶劣条件下每月一次),如脏即更换。 维护工作 检查和/或更换过滤器 需用材料 ? 备用过滤筛网 ? 排气消音器 P/N 200000685 20099183

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10.2.2 标准维护
标准维护应由INFICON维修人员或其它权威人员每4000工作小时, 至少每年执行一 次。 维护工作 更换涡轮分子泵TMH 071的润滑 剂储槽 更换过滤器 需用材料 ? TMH 071的润滑剂储槽 ? 备用过滤筛网 ? 放空与冲洗管路的备用过滤器 ? 排气消音器 功能性检查与调整 P/N 200000577 200000685 200000683 20099183

10.2.3 高级维护
高级维护应由INFICON维修人员或其它权威人员每8000工作小时, 至少每两年执行 一次。 维护工作 更换涡旋模件 更换涡轮分子泵TMH 071的润滑 剂储槽和阀门密封件 更换过滤器 需用材料 ? IWATA ISP-500B的涡旋模件 ? TMH 071的润滑剂储槽 ? 成套阀门密封件 ? 备用过滤筛网 ? 放空与冲洗管路的备用过滤器 ? 排气消音器 功能性检查与调整 建议整新内部氦标准漏孔。氦标准漏孔的整新必须在科隆的INFICON公司进行。 P/N 200000217R 200000577 200000594 200000685 200000683 20099183

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10.3

维护步骤

10.3.1 更换排气消音器
? ? ? 关断UL1000 Fab的电源。 从排气口上拧下排气消音器 图. 10-36. 在排气口螺纹上拧上新的排气消音器,将它拧紧。

图. 10-36:

更换排气消音器

10-3
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10.3.2 打开UL1000 Fab
? 关断UL1000 Fab的电源。 警告 在打开侧面的盖板前,从 UL1000 Fab 上拔下电源电缆。 ? ? 将UL1000 Fab与进气口 图.3-3/2上的其它真空元件分开。 用侧板拆卸器 图. 10-37往下压,松开并卸下侧面的盖板。

使用侧板拆卸器的位置用两个圆点标记标志在侧板的顶端(见 图10-37的箭头)。

图10-37: 打开UL1000 Fab

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10.3.3 检查/更换过滤筛网
风扇前面的过滤筛网应每两月检查一次(恶劣条件下每月一次),如脏即更换。 ? ? 参阅10.3.2节打开UL1000 Fab 打开仪器。 用两个小型六角板手或胶带取下过滤筛网 图 10-38。

图 10-38:更换过滤筛网 ? 检查过滤筛网,如脏即更换。 过滤筛网的白色表面必须向着风扇。

注意 ? ?

将过滤筛网推入导板。 关上UL1000 Fab。

10.4

涡轮分子泵
PFEIFFER 涡轮分子拖曳泵 TMH 071-010-005 要求每年或每 4000 工作小时维护。 更详细的信息请参阅 PFEIFFER 操作说明书 PM 800 504 BN/F 和 PT 0017 BN/B, 或与当地的 INFICON 维修中心联系。 提示 标准和高级维护也包含维护涡轮分子拖曳泵TMH 071-010-005 (参阅 10.2.2节标准维护)。

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10.5

涡旋泵
IWATA 涡旋泵 ISP-500B 要求两种不同的维护: ? 小维护 每年或每 8000 小时。 ? 大维护 每两年或每 16000 小时。 更详细的信息请参阅IWATA涡旋泵使用说明书OCX-793B,或与当地的INFICON维 修中心联系。 提示 高级维护也包含维护涡旋泵ISP-500B (参阅10.2.3节高级维护)

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附录
A 图

图 A-1

A-1
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