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德国centrotherm CMI 中文版操作


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CMI
中央机器界面 软件说明书 版本 1.01.01
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CMI 文档信息

文档信息
类 型: 产 品变 量:

原版说明书译文 CMI sun Peter Fiesel 95003_SM_CMI_sun_V10101_ZH.doc 16.07.2009 23.04.2010 11:37

作者: 文档:
创 建日期:

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修正说 明
版本 日期 姓名 修正说 明

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CMI 目录

目录
1 1.1 1.2 1.3 1.4 2 2.1 2.2 2.3 2.4 3 3.1 3.2 3.3 4 4.1 4.1.1 4.1.2 4.1.3 4.2 4.2.1 4.2.2 4.2.3 4.2.4 4.2.5 4.2.6 4.3 4.4 4.4.1 4.4.2 4.4.3 4.4.4 4.4.5 4.4.6 4.4.7 4.4.8 4.5 4.6 4.7 5 5.1 5.1.1 5.1.2 5.2 5.2.1 本手册说明 ...................................................................................................................................13 概述 ..............................................................................................................................................13 标志与提示含义 ............................................................................................................................13 定义 ..............................................................................................................................................14 版权 ..............................................................................................................................................15 入门指南 .......................................................................................................................................17 安装 ..............................................................................................................................................17 投入运行 .......................................................................................................................................17 设置语言 .......................................................................................................................................17 冷启动...........................................................................................................................................19 用户界面 .......................................................................................................................................21 用户界面配置................................................................................................................................21 标题栏...........................................................................................................................................22 导航栏...........................................................................................................................................24 功能区...........................................................................................................................................27 工作 ..............................................................................................................................................27 “工艺炉管”区域 ........................................................................................................................27 “工作列表”区域 ........................................................................................................................29 命令栏 .....................................................................................................................................29 系统 ..............................................................................................................................................30 CESAR 选项卡组 ....................................................................................................................30 “舟”选项卡组............................................................................................................................34 “处理”选项卡组 ........................................................................................................................35 “CMS”选项卡组 .......................................................................................................................37 “设备状态”选项卡组 .................................................................................................................38 “终端服务”选项卡组(可选) ..................................................................................................38 数据日志 .......................................................................................................................................39 设置 ..............................................................................................................................................39 “舟”选项卡组............................................................................................................................39 “工艺程序”选项卡组 .................................................................................................................41 “总览”选项卡组 ........................................................................................................................43 “升降机”选项卡组.....................................................................................................................45 “WTS”选项卡组 .......................................................................................................................48 “预防性维护”选项卡组 .............................................................................................................50 “CMS”选项卡组 .......................................................................................................................51 “限制”选项卡组(可选)..........................................................................................................52 终端(可选)................................................................................................................................53 警报 ..............................................................................................................................................54 帮助 ..............................................................................................................................................55 操作 ..............................................................................................................................................57 概述 ..............................................................................................................................................57 选择域 .....................................................................................................................................57 修改设置..................................................................................................................................57 用户登录和注销 ............................................................................................................................58 登录 .........................................................................................................................................58

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5.2.2 5.3 5.3.1 5.3.2 5.3.3 5.3.4 5.4 5.5 5.5.1 5.5.2 5.6 5.6.1 5.6.2 5.7 5.7.1 5.7.2 5.7.3 5.8 5.8.1 5.8.2 5.9 5.10 5.10.1 5.10.2 5.10.3 5.10.4 5.10.5 5.10.6 5.11 5.11.1 5.11.2 5.12

注销 .........................................................................................................................................59 用户管理 .......................................................................................................................................60 概述 .........................................................................................................................................60 创建用户..................................................................................................................................63 编辑用户..................................................................................................................................64 删除用户..................................................................................................................................64 使用外部硅片机械手装料..............................................................................................................65 推车装料 .......................................................................................................................................66 新装料 .....................................................................................................................................66 工艺舟卸料 ..............................................................................................................................67 手动装载材料................................................................................................................................68 卸载已装料工艺舟 ...................................................................................................................68 新装料 .....................................................................................................................................69 使用硅片传送系统装载材料 ..........................................................................................................73 概述 .........................................................................................................................................73 卸载已装料工艺舟 ...................................................................................................................73 新装料 .....................................................................................................................................75 工艺炉管的锁定和解锁 .................................................................................................................79 锁定工艺炉管...........................................................................................................................79 解锁工艺炉管...........................................................................................................................79 工艺舟数据配置 ............................................................................................................................80 手动操作 .......................................................................................................................................85 升降机 .....................................................................................................................................87 滑动器 .....................................................................................................................................87 停泊口 .....................................................................................................................................88 硅片机械手 ..............................................................................................................................88 维修 .........................................................................................................................................89 教学 .........................................................................................................................................90 警报处理 .......................................................................................................................................92 CESAR 控制计算机警报消息 ..................................................................................................93 升降机警报消息 .......................................................................................................................93 信号灯测试 ...................................................................................................................................94

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CMI 插图目录

插图 目录
图 2-1: 图 2-2: 图 3-1: 图 3-2: 图 3-3: 图 4-1: 图 4-2: 图 4-3: 图 4-4: 图 4-5: 图 4-6: 图 4-7: 图 4-8: 图 4-9: 图 4-10: 图 4-11: 图 4-12: 图 4-13: 图 4-14: 图 4-15: 图 4-16: 图 4-17: 图 4-18: 图 4-19: 图 5-1: 图 5-2: 图 5-3: 图 5-4: 图 5-5: 图 5-6: 图 5-7: 图 5-8: 图 5-9: 图 5-10: 图 5-11:

CMI 属性 ..................................................................................................................18
带 冷启动 提示的启动 屏幕 .........................................................................................19

用户 界面配置 ...........................................................................................................21
标 题 栏 ......................................................................................................................22 导 航栏 ......................................................................................................................24

“工作“功能区 ............................................................................................................27 工艺 炉管和工艺 程序状态 .........................................................................................27 “系统 - CESAR"功能区..............................................................................................31 “系统 -舟"功能区 ......................................................................................................34 “系统 -操作"功能区...................................................................................................35 “系统 -CMS“功能区 ..................................................................................................37 “系统 -设 备 状态 "功能区............................................................................................38 “数据日志“功能区 ....................................................................................................39 “设 置 -舟"功能区 ......................................................................................................39 “设 置 -工艺 程序"功能区............................................................................................41 “设 置 -总 览 "功能区...................................................................................................43 “设 置 -升降机"功能区 ...............................................................................................45 “设 置 - WTS"功能区 .................................................................................................48 “设 置 -预 防性维 护 "功能区 ........................................................................................50 “设 置 -CMS"功能区 ..................................................................................................51 “设 置 -限制"功能区...................................................................................................52 “终 端“功能区 ............................................................................................................53 “警报 “功能区 ............................................................................................................54 在线 帮助 ..................................................................................................................55 “用户 登录 ” ................................................................................................................58 用户 列表 ..................................................................................................................60
编 辑 用户 账 户 ...........................................................................................................61

材料装载 ..................................................................................................................67 完全装满 的工艺 舟信息.............................................................................................68 部分装料的工艺 舟信息.............................................................................................69 材料装载 - 模式选 择 .................................................................................................69 材料装载 ..................................................................................................................70 材料装载 - 工艺 程序选 择 1 ......................................................................................71 材料装载 - 摘要 .........................................................................................................72 材料装载 - 卸料 .........................................................................................................74

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CMI 插图目录

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图 5-12: 图 5-13: 图 5-14: 图 5-15: 图 5-16: 图 5-17: 图 5-18: 图 5-19: 图 5-20: 图 5-21: 图 5-22: 图 5-23: 图 5-24: 图 5-25: 图 5-26:

材料装载 - 卸料 2 ......................................................................................................74 材料装载 - 更换 测 试 硅片隔板 ..................................................................................75 材料装载 - 模式选 择 .................................................................................................75 材料装载 - 舟至装料位置 ..........................................................................................76 材料装载 - 工艺 程序选 择 .........................................................................................77 材料装载 - 批次输 入..................................................................................................77 舟激活和装载 选 项 ....................................................................................................80
处 理信息 ..................................................................................................................81

工艺 炉管选 择 ...........................................................................................................82 工艺 舟信息...............................................................................................................82 舟运行计 数器 ...........................................................................................................83 工艺 信息 ..................................................................................................................84 摘要..........................................................................................................................84 升降机干扰 示例........................................................................................................92 警报 确认 ..................................................................................................................93

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CMI 索引

索引

A 管理员 ................................................................. 14 警报标志 .............................................................. 24 警报................................................................ 54, 92 B 舟 34 按钮 警报................................................................. 24 数据日志 ......................................................... 24 帮助................................................................. 25 工作................................................................. 24 信号灯测试...................................................... 94 设置................................................................. 24 系统........................................................... 24, 30 终端................................................................. 24 C CESAR控制计算机 .............................................. 30 CESAR控制系统 .................................................. 28 CMS ............................................................... 37, 51 命令栏 .................................................................. 29 连接状态 .............................................................. 24 版权...................................................................... 15 D 日期...................................................................... 22 E 设备状态 .............................................................. 38 F 功能键栏 .............................................................. 33 功能区 ............................................................ 24, 27 警报................................................................. 54 数据日志 ......................................................... 39 工作................................................................. 27 设置................................................................. 39 系统................................................................. 30 终端................................................................. 53 H 处理...................................................................... 35 帮助...................................................................... 55 警报器 .................................................................. 23 J 工作列表 ........................................................ 29, 29

L 信号灯测试 ...........................................................94 语言 ......................................................................17 升降机.................................................................. 45 插图目录 .................................................................7 M 手动操作 ...............................................................85 升降机..............................................................87 停泊口..............................................................88 滑动器..............................................................87 硅片机械手 ......................................................88 制造商...................................................................15 材料装载 外部硅片机械手 ...............................................65 手动 .................................................................68 WTS ................................................................73 推车装料 ...............................................................66 N 导航栏...................................................................24 说明 ................................................................13, 23 O 在线帮助 ...............................................................24 操作模式 ...............................................................24 自动 .................................................................24 手动操作..........................................................24 模拟 .................................................................24 操作员 ..................................................................14 P 预防性维护 ...........................................................50 工艺舟数据配置 ....................................................80 工艺工程师 ..........................................................14 工艺炉管 锁住 .................................................................79 解锁 .................................................................79 工艺炉管状态........................................................28 R 工艺程序 .........................................................32, 41 工艺程序组织........................................................32 限制 ......................................................................52 RFID .....................................................................59 S

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CMI 索引

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标志...................................................................... 13 系统信息 .............................................................. 22 系统模式 .............................................................. 24 系统名称 .............................................................. 22 系统状态 .............................................................. 23 T TAB键 .................................................................. 33 示教...................................................................... 90 终端...................................................................... 53 终端服务 .............................................................. 38 时间...................................................................... 22 标题栏 .................................................................. 22

U 用户 ......................................................................14 创建 .................................................................63 删除 .................................................................64 编辑 .................................................................64 登录 ...........................................................23, 58 注销 ...........................................................23, 59 用户管理 ...............................................................60 用户界面 .........................................................14, 21 W WTS .....................................................................48

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CMI 缩略语列表

缩 略语 列表
缩写

含义 美国信息交换 标 准码 工艺 舟 控制器局域网总 线 centrotherm 单 元控制器 centrotherm CESAR 自动 控制系统 中央机器安全系统 中央机器界面 centrotherm
输 入/输 出

ASCII Boat CAN bus CCC CESAR CMS CMI CT I/O EFM EWH OCR RAM RFID SECS/GEM SEMI SLS PLC USB WTS

装卸机 外部硅片机械手 光学字符识 别 随机存取存储 器 射频 识 别 半导 体设 备 通讯 标 准 / 通用设 备 模型 国际 半导 体设 备 及材料协 会
软 着陆 系统

可编 程逻 辑 控制器 通用串行总 线 硅片传 送系统

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CMI 1 本手册说明

1
1.1

本手册说 明
概述
本手册描述了称为 “CMI 软 件”(中央机器软 件)的 Centrotherm 的机器 界面程序。 本软 件图 形用户 界面操作,并且根据 SEMI E95-1101 标 准的建议 编 程。 本软 件用于控制设 备 。 本操作手册是设 备 技术 文档的组 成部分。请 将操作手册始终 置于靠近设
备 的地方。

本操作手册为 操作员 、工艺 工程师 和管理员 以及调 试 、操作和维 护 设 备 的经 过 培训 的有资 格人员 而撰写。

版本

中央机器界面版本 3.#.#

1.2

标 志与提示含义

该 标 志以及下文标 志用来表示提示信息或预 防措施。

不遵守这 些预 防措施可能会扰 乱并中断设 备 的正常运行。

该 标 志用来表示查 阅 更多延伸文献。

该 标 志用来表示文字包含了有关 重要功能的具体信息或有助于理解软 件 的所有功能的特殊应 用。

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CMI 1 本手册说明

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1.3
用户 界面 操作员

定义
用户 界面是显 示在系统 显 示器上的人机交互的图 形界面,可通过 键 盘 、 鼠标 或触摸屏打开 。 操作员 是现 场 操作软 件的客户 员 工。操作员 有权 启动 、取消和停止准备 的工艺 程序。
检 查 是否可执 行工艺 程序。 监 督工艺 程序的执 行。

在手动 操作中修改设 备 参数。
查 看系统 状态 并分析日志文件。

消除简 单 干扰 。 在用户 管理系统 中,操作员 的权限十分有限。

工艺 工程师

工艺 工程师 是客户 现 场 技术 支持组 织 的成员 。除了操作员 的操作外,还 允许 工艺 工程师 修改或创 建新的工艺 程序和库 。
检 查 系统 配置。

修改部分配置。 修改系统 的默认 、待机和预 防性维 护 值 。

管理员

管理员 是客户 特殊培训 的员 工,或相对 合格的 centrotherm 员 工。管理 员 具有使用本软 件的所有功能的权 限。除拥 有操作员 和工艺 工程师 权 限 外,管理员 还 可
创 建、删 除或阻止用户 。

修改系统 配置。
复 位连 接到系统 的设 备

启动 、停止和关 闭 系统 。

用户

任意一个操作本软 件的人称为 用户 。用户 可以是操作员 、工艺 工程师 或 管理员 。管理员 分配个体相应 的用户 权 。

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CMI 1 本手册说明

1.4

版权
本操作手册为 操作员 、工艺 工程师 和管理员 而撰写。制造商保留操作手 册的版权 。因此未经 制造商事先书 面允许 ,任何组 织 或个人不得翻印、 复 制、分发 手册的全部或部分内容或将其用于竞 争目的。即使拥 有书 面 许 可,文件副本仅 可在内部使用。 保留所有权 利。 centrotherm thermal solutions GmbH + Co.KG Johannes-Schmid-Str. 8 89143 Blaubeuren 德国
电 话 : +49 7344 9186-0 传 真: +49 7344 9186-3 88 电 邮 : info@centrotherm.de

制造商

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CMI 1 本手册说明

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CMI 2 入门指南

2
2.1

入门 指南
安装
CMI 软 件已安装在使用 Microsoft Windows XP?(下称"Windows")作 为 操作系统 的系统 计 算机上。

2.2

投入运行
默认 安装在 Windows XP 在“启动 ”文件夹 中创 建快捷方式,系统 启动 时 自动 启动 CMI 软 件。 CMI 软 件也可以像任何其它 Windows 程序那样 退出。这 样 会自动 停止 所有程序。所在在程序终 止前的有效数据将被储 存。 要重新启动 CMI 软 件,请 启动 “开 始”按钮 ,然后点击 CMI 软 件图 标 。 显 示带 有 CMI 徽标 和版本信息的开 始屏幕。 在软 件后续 初始化期间 ,会显 示相应 的短消息和初始化信息,然后显 示 用户 界面。

2.3

设 置语 言

CMI 软 件的语 言在程序连 接的属性中设 置。因此,必须 得终 止软 件运 行。

请 按以下步 骤 设 置语 言:

1. 请 确保已终 止 CMI 软 件运行。 2. 打开 Windows 任务 栏 中的“启动 ”菜单 。 3. 打开 “程序”文件夹 。 4. 右击 快捷方式打开 CMI 软 件。 5. 选 择 菜单 选 项 “属性”。 以下对 话 框被打开 :

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CMI 2 入门指南

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图 2-1:

CMI 属性

1

语 言变 量

6. 在“目标 ”输 入域中输 入期望的语 言替换 已有的语 言变 量。可设 置为 以下语 言:
语言 语 言变 量 语言 语 言变 量

英语 德语 意大利语

eng ger ita

法语 西班牙语 葡萄牙语

fra esp por

7. 按“OK”按钮 确认 。 下次 CMI 软 件重新启动 时 ,语 言设 置生效。

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CMI 2 入门指南

2.4

冷启动
CMI 软 件启动 期间 ,开 始冷启动 。 工艺 舟在冷启动 后被设 置为 非活动 。上次有效的程序状态 不被考虑 其 中: 冷启动 后,以下数据被保留: 工艺 舟名称 装载 工艺 运行次数 工艺 舟位置
请 按以下步 骤 开 始冷启动 :

1. 请 确保已终 止 CMI 软 件运行。

图 2-2:

带 冷启动 提示的启动 屏幕

2. 启动 CMI 软 件。当启动 屏出现 时 ,点击 CMI 徽标 。 出现 确认 提示。 3. 按“OK”按钮 确认 。 运行冷启动 。

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CMI 3 用户界面

3
3.1

用户 界面
用户 界面配置

图 3-1:

用户 界面配置
3
导 航栏

1 2

标题栏

功能区

软 件的图 形用户 界面用于控制设 备 。用户 界面划分为 多个独立区域。 标 题 栏 常用于显 示有关 系统 状态 的一般性信息。

功能区用于操作和控制设 备 。 启动 导 航栏 按钮 选 择 并显 示功能区。

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CMI 3 用户界面

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3.2

标题栏
标 题 栏 包含带 有当前执 行程序的一般信息以及状态 信息和“登录 /注销 ”按 钮 的显 示区。

图 3-2:

标题栏

1 2 3 4 5 6

系统 名称 日期和时 间 centrotherm 徽标 和系统 信 息按钮 当前功能区 系统 状态 “登录 /注销 ”按钮

7 8 9 10 11

“警报 器关 闭 ” 按钮
说明

警报 标 志 系统 模式 SECS/GEM 接口连 接状态

系统 名称 日期和时 间
centrotherm 徽标 和系统 信息按钮

WSL.INI 初始文件中设 定的系统 名称显 示为 系统 名称。 日期和时 间 从操作系统 软 件获 取。 centrotherm 徽标 是一个可用来调 用系统 信息的按钮 。按下该 按钮 ,可 打开 一个带 有软 件制造商和当前软 件版本信息的窗口。单 击 功能区的任 一位置即可关 闭 窗口。 右击 CMI 徽标 ,显 示有关 各个软 件组 件的版本信息。

当前功能区

该 区域显 示活动 着的功能区。

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CMI 3 用户界面

系统 状态

系统 状态 用彩色信号灯显 示,各种 颜 色所代表的含义 如下: 指示灯
颜色 开 红色 动作

含义 警报 /错 误 自动 操作警报 /错 误 警告

“旋转 灯” 黄色


绿色

开 闪烁

准备 好操作
暂停

蓝色



需要用户 交互

当系统 状态 为 “警报 /错 误 ”时 ,按红 色信号灯调 用“警报 ”功能区。

“登录 /注销 ”按钮

根据登录 状态 ,“登录 和注销 ”按钮 显 示以下图 标 : 按钮 没有用户 登录 。 点击 该 按钮 调 用“用户 登录 ”对 话 。 登录 后显 示用户 。 名称为 “操作员 ”的用户 已登录 。 点击 该 按钮 注销 当前用户 。图 标 切换 到登录 。 功能

“警报 器关 闭 ”按钮
说明

警报 器可使用“警报 器关 闭 ”按钮 以及标 题 栏 说 明、附加信息和系统 模式 来关 闭 。只要警报 器打开 ,“警报 器关 闭 ”按钮 就保持可见 。 有关 设 备 硬件状态 的说 明显 示在“信息”区,如: “滑门 打开 !”。

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CMI 3 用户界面

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警报 标 志 系统 模式

警报 消息在“警报 标 志”显 示区中显 示。根据配置,警报 消息将滚 动 或显 示最重要的活动 警报 消息。显 示区将显 示为 红 色背景。 “系统 模式”区显 示当前的系统 模式。可能有以下模式: 自动 操作 手动 操作 模拟 模式
该 区域被突出显 示为 蓝 色,指示因操作设 备 操作面板上的自动 /手动 开 关 或点击 命令栏 上的“运行”或“暂 停”按钮 而引起的状态 。

连 接状态

连 接状态 显 示半导 体设 备 通讯 标 准接口/通用设 备 类 型接口的通讯 状 态。

3.3

导 航栏

图 3-3:

导 航栏

点击 导 航栏 中的相应 按钮 可调 用各功能区和在线 帮助。 根据选 中的功能区,该 区域包括若干个使用 tab 键 选 取的选 项 卡组 。 用户 可调 用以下功能区:

工作 系统

包含监 控系统 的信息。屏幕显 示工艺 炉管的当前状态 、材料装载 数据输 入域和“工作列表”。 包括系统 组 件的状态 视 图 、显 示工艺 舟状态 和位置以及所使用工艺 程序 的工艺 舟预 览 图 、用于升降机(可选 )状态 显 示和手动 操作的命令栏 以 及中央机器安全系统 (CMS)的附加显 示。 包含记 录 的系统 数据。 包含设 置设 备 部件和工艺 程序的参数,以及确定一般配置数据、预 防性 维 护 数据和材料跟踪的参数。 包含操作员 与主机进 行通讯 的录 入和显 示区。 包含记 录 的系统 警报 。

数据日志
设置 终端

警报

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CMI 3 用户界面

帮助

包含 CMI 软 件的在线 帮助。 根据设 备 状态 ,用于调 用各功能区的按钮 带 有彩色边 框。颜 色代码 与系 统 状态 代码 一致。 指示灯
颜色 红色 绿色 蓝色 说明

警报 /错 误 待决,必须 立即采取措施 准备 好操作 需要用户 交互

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CMI 3 用户界面

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CMI 4 功能区

4
4.1
工作

功能区
工作

图 4-1:

“工作“功能区 3 命令栏

1 2

“工艺 炉管”区域 “工作列表”区域

“工作”功能区显 示自动 操作过 程中的系统 状态 。 4.1.1 “工艺 炉管”区域

图 4-2:

工艺 炉管和工艺 程序状态

本区域用于监 控工艺 炉管。其中炉管由升降机按自动 模式中的正确顺 序
进 行装载 。

工艺 炉管所使用的工艺 程序和工艺 能力将被显 示。工艺 能力的设 置信息 参见 章节 5.8 工艺炉管的锁定和解锁,页 码 79。 操作变 量以百分比的形式显 示每 个工艺 炉管中各个加热 区的电 流值 。

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工艺 炉管状态

工艺 炉管状态 用以下颜 色代码 表示: 指示灯
颜色 绿色 蓝色 说明

正在运行的工艺 程序,无错 误 准备 好卸料,无错 误 待机操作,工艺 炉管准备 好,无错 误 ,可 装载
错 误 ,观 察警报 列表,工艺 炉管未就绪 , 消除干扰

黄色
红色

黑色 灰色 白色

工艺 炉管无法选 定 工艺 炉管未定义 模拟 模式

彩色工艺 炉管图 标 是一个按钮 。按此按钮 可直接连 通相应 的 CESAR 控 制系统 。

工艺 产 能

按钮 管。

功能
显 示工艺 炉管可以使用。按该 按钮 可锁 住工艺 炉

显 示工艺 炉管被锁 住。按该 按钮 可解锁 工艺 炉

管。
显 示工艺 炉管不可用。

更多有关 工艺 炉管的锁 住和解锁 信息参见 章节 5.8 工艺炉管的锁定和解 锁,页 码 79。

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4.1.2

“工作列表”区域 ”工作列表“显 示以下信息: 区行 工作 舟 位置 至 MTN
类型 说明

生产 循环 (批次)的 ID 号 工艺 舟 ID 号 工艺 舟当前位置 至预 防性维 护 时 的生产 循环 数 生产 或预 防性维 护 硅片/假片/空运行 参见 “工艺 炉管”区域内的“名称/状态 ” 生产 时 间 + 冷却时 间 计 时 器(倒计 时 ) 当前工艺 炉管 当前工艺 程序 当前工艺 管的生产 运行计 数器 当前工艺 舟批次列表

装载 状态 就绪 于 工艺 管 工艺 程序 运行编 号 批

列有上述信息的列标 明可进 行装料的工艺 舟,并具有按钮 功能。点击 该 按钮 可调 用"装载 材料"功能,然后工艺 舟被装料。 4.1.3 命令栏 命令栏 显 示在信息区右侧 。命令栏 包含用于控制自动 操作的按钮 : 按钮 功能 按“运行”按钮 启动 自动 操作。 标 题 栏 的信号灯发 绿 光。 按“暂 停”按钮 中断自动 操作。 标 题 栏 的信号灯发 蓝 光。 外部硅片机械手选 项 按“运行”按钮 准备 延长 中断操作。 根据操作模式,在工艺 前或后该 进 程被暂 停。 外部硅片机械手选 项 按“卸载”按钮 ,自动 清空所有工艺 舟。

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按钮 外部硅片机械手选 项

功能

按“清洁 滑动 器”按钮 请 求对 滑动 器进 行清洁 处 理。 滑动 器移动 至需要进 行清洁 的外部硅片机械手 (EWH)。 再次按下该 按钮 退出清洁 模式。

4.2
4.2.1

系统
CESAR 选 项 卡组

下列章节 将简 介 CESAR 控制计 算机用户 界面的大概信息。至于操作信 息,请 阅 读 CESAR 手册。

CMI 软 件含有一个 CESAR 设 备 控制计 算机的界面。每 层 都有一台 CESAR 控制计 算机,通过 CMI 的相应 选 项 卡组 对 计 算机进 行操作。 CESAR 控制计 算机用于以下任务 : 修改或创 建工艺 程序, 定义 工艺 程序启动 所需的变 量(工艺 时 间 、温度、压 力、气体流 量), 启动 、停止和取消工艺 程序, 数字控制温度, 控制气体流量, 控制装卸机, 与装卸操作系统 通信,
监 视 警报 /中断级 别 (气体流量、温度、压 力),

通过 级 联 控制器控制温度, 通过 级 联 温度控制执 行自动 成型, 保存几乎无限数量的工艺 程序,
记 录 用户 定义 的工艺 数据,直至达到存储 媒体上(硬盘 、服务 器计

算机)的容量极限,
进 行广泛的运行过 程测 试 (各个工艺 步 骤 的执 行、变 量修改、设 置/ 重设 断点等)。

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系统 <工艺 炉管- X>

图 4-3:

“系统 - CESAR"功能区 4 5
输 入键

1 2 3

状态 栏
输 入/输 出区域

功能键 栏

命令栏

状态 栏

状态 栏 包含以下信息: 系统 状态 工艺 程序名称 工艺 炉管名称 登录 用户 名称 登录 用户 权 限级 别

输 入/输 出区域

输 入/输 出区域显 示工艺 的相关 信息。屏幕上的区域可以滚 动 。鼠标 移 动 至空白区时 ,光标 变 成一个可根据位置而改变 方向的箭头 。

按住箭头 标 志以期望的方向滚 动 输 入/输 出区。

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命令栏

命令栏 包含用于控制工艺 程序的按钮 。在右侧 ,显 示激活的系统 状态 。 按钮 具有以下功能: 按钮
开始

功能
开 始一个工艺 程序管理中提供的工艺 程序或取消暂 停已停止的工艺 程序。

停止

停止一个正在运行的工艺 程序。通过 启动 “开 始”按 钮 可随时 继 续 执 行工艺 程序。 如果之前按下“停止”按钮 ,等候的工艺 程序将被终 止。如果当前激活的工艺 程序中配置了终 止,则 按 此按钮 将导 致自动 终 止。如果没有激活的工艺 程 序,则 所有设 备 参数被设 定为 默认 /待机值 。 列出所有激活的警报 。 列出当前系统 状态 。 启动 特别 为 此目的而配置的手动 模式。

待机

警报 状态
选项

输 入键

输 入键 按钮 位于命令栏 下方。按钮 具有以下功能:

按钮 ENTER TAB ESC INS

功能 用来选 择 屏幕上的列表项 或标 记 备 选 内容。每 个屏 幕条目必须 通过 “ENTER”按钮 完成操作后才能生 效。
执 行一次跳格,用于菜单 树 导 航。

用于终 止或退出一个对 话 框或菜单 选 项 。 在插入和改写模式之间 切换 。 启用预 防性维 护 功能的复 选 框。在正常模拟 期间 , 可操作当前的 CESAR 控制电 脑 。选 择 “远 程服务 ” 选 项 ,即便在关 闭 CESAR 软 件后也能对 操作系统 进 行操作。

远程服务

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功能键 栏

功能键 栏 包含可分配至键 盘 功能键 上的其它命令。功能键 的分配由当前 所选 择 的各个菜单 决定。 如果多于 8 个键 分配可用时 ,功能键 栏 底端的显 示标 志'?' 出现 。通过 使用 TAB 键 滚 动 ,这 些功能可在功能键 栏 内显 示。 功能键 在开 始菜单 中的分配如下: 按钮 F1 状态 F2 手动 F3 停止 F4 工艺 程序 F5
记录

功能 系统 状态 可视 化。显 示工艺 参数。用光标 键 滚 动 。 手动 操作中子部件参数、气体、加热 箱内外温度设 置、控制器设 置、时 间 改变 、装卸机移动 。
终 止运行的工艺 程序,设 定待机值 。 调 用工艺 程序列表。用于选 择 、启动 和修改工艺 程

序。
错 误 和警报 信息的记 录 数据。

F6 用户 F7
维修

用于修改密码 和用户 权 限。 用于配置和测 试 系统 。此菜单 只供经 授权 的人员 使 用,受高级 密码 等级 保护 。 用户 注销 ,重新登录 和输 入密码 。

F8 注销

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4.2.2
系统 舟

“舟”选 项 卡组

图 4-4:

“系统 -舟"功能区

“舟”选 项 卡组 显 示了所使用工艺 舟状态 和位置的所有相关 信息列表。 列 舟, 批
实 际 位置 说明

工艺 舟标 识 , 在工艺 舟中的批次 工艺 舟所处 的当前位置。 在其中处 理工艺 舟或装料的工艺 炉管。 使用的工艺 程序 直到工艺 结 束的剩余时 间 剩余冷却时 间 工艺 的运行状态 工艺 舟装载 类 型 手动 装载 工艺 舟 (不使用机械手) 装载 工艺 舟一次并按设 定的工艺 顺 序运行 工艺 舟完成处 理并且在下次清空(清空)后不 再被装料

工艺 管 工艺 程序 剩余 工艺 时 间 剩余 冷却时 间 控制状态 装载

错误

"故障修理“按钮 出现 ,指示发 生了一个错 误 。

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4.2.3
系统
处理

“处 理”选 项 卡组

图 4-5:

“系统 -操作"功能区 5 6 7 8 命令栏 “停止”按钮 “外部机械手”区域 “炉管就绪 ”区域

1 2 3 4

“桨 ”区域 “升降机”区域 ”储 存架”区域 “滑动 器”区域

"处 理"选 项 卡组 中提供了所有处 理组 件的手动 操作和示教信息,如升降 机、机械爪、滑动 器等。 “桨 ”、“升降机”、“储 存架”、“滑动 器”和“外部机械手”和”炉管就绪 “区域显 示了相应 的操作状态 。 “桨 ”区域 区行
桨 位置 桨 X 说明 显 示升降机所处 的桨 位置。

各个桨 的状态

“升降机”区域

区行 升降机位置 机械臂运动 机械臂 机械爪
夹子

说明

升降机位置
释 放机械臂以让 其运动 。

机械臂位置。 机械爪状态 。 机械爪夹 子的状态 。

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”储 存架”区域

区行
储 存架位置 储 存架 X

说明 显 示升降机所处 于的储 存架位置。

各储 存架的状态 。

“滑动 器”区域

区行 滑动 器 滑动 器位置
倾翻

说明

滑动 器状态 。 滑动 器的位置。 工艺 舟的倾 翻位置。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

舟高错 误 碎硅片

显 示有关 工艺 舟高度的错 误 。当工艺 舟在滑动 器内 的位置不正确时 ,会发 生该 错 误 。 显 示碎硅片错 误 。当在工艺 舟内检 测 出碎硅片时 会 发 生该 错 误 。

命令栏
“停止”按钮 “外部机械手”区域

在基本显 示中,命令栏 包含启用手动 操作的按钮 ,参见 章节 5.10 手动 操作,页 码 85。 上料箱中的所有机械动 作均关 闭 。气动 驱 动 的动 作完成。 区行 机械手 准备 接收舟
说明

外部硅片机械手状态 。 外部硅片机械手准备 抓住工艺 舟。

“炉管就绪 ”区域 炉管 X

区行

说明

“炉管就绪 ”= SLS 顶 端位置和装卸机传 感器位 于位置 0

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4.2.4
系统 CMS

“CMS”选 项 卡组

图 4-6:

“系统 -CMS“功能区

“CMS”选 项 卡组 显 示所有配置的模拟 输 入的实 际 值 。同时 显 示所有相应 模拟 通道的监 控限制。

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4.2.5

“设 备 状态 ”选 项 卡组

下列章节 将介绍 “设 备 状态 ”选 项 卡组 功能的简 要信息。至于操作信息, 请 阅 读 “RAM - 设 备 可靠性、可用性和维 护 性(centrotherm 扩 散系 统 )”。

系统
设 备 状态

图 4-7:

“系统 -设 备 状态 "功能区

“设 备 状态 ”选 项 卡组 显 示以下信息: “非计 划时 间 ”和“工程时 间 ”中的工艺 路径状态 设 置
显 示机器状态 。

在 WSL.INI 配置文件中,该 选 项 卡组 与[CMI 属性]组 中的 SemiE10Mode=x 项 被集成入 CMI 中。 有以下选 项 可供选 择 : SemiE10Mode =0 不可显 示 SemiE10Mode =1 可显 示 4.2.6
系统
终 端服务

“终 端服务 ”选 项 卡组 (可选 ) 有关 “终 端服务 ”选 项 卡组 的更多信息,参见 章节 4.5 终端(可选),页 码 53。

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4.3
数据日志

数据日志

图 4-8:

“数据日志“功能区

"数据日志"功能区含有记 录 系统 运行程序的列表。

分类 列表

单 击 列标 题 ,按照字母顺 序、日期、层 、类 型或消息文本进 行分类 排 序。点击 列标 题 可按递 增或递 减顺 序排列该 列内容。

4.4
4.4.1
设置

设置
“舟”选 项 卡组



图 4-9:

“设 置 -舟"功能区

“舟”选 项 卡组 用于为 显 示在“舟列表”中的工艺 舟定义 参数。其中的表格 可向左或向右滚 动 。表格列具有以下功能:

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区列 Idx 号 配置工艺 舟数据 激活 舟实 际 位置 舟类 型
传 送模式

说明

工艺 舟标 识 编 号。 可通过 按钮 打开 设 置模式处 理工艺 舟,参见 章 节 5.9 工艺舟数据配置,页 码 80。
显 示工艺 舟是否激活。

工艺 舟所处 的当前位置。 工艺 舟类 型。 使用硅片传 送系统 装载 时 ,硅片在工艺 舟内单 间 距或双间 距排列。
进 料类 型

装料类 型

可能设 置: 清空、假片、硅片 手动 装载
仅 一次循环

工艺 舟被手动 装载 。 工艺 舟被装载 一次,按设 定的工艺 流运行并被 再次卸载 。 工艺 舟完成工艺 并且在下次清空(清空)后不 再被装料。 工艺 完成后工艺 舟冷却的位置。 在其中处 理工艺 舟的工艺 炉管。 被用于处 理的工艺 程序。 工艺 程序结 束后的处 理状态 。
该 工艺 舟完成的工艺 循环 总 量。

卸载 后不活动 冷却储 存架 工艺 炉管 工艺 程序 工艺 程序错 误 舟运行合计 数 自 MTN 后的运行数 MTN 运行合计 舟状态

自上次预 防性维 护 后该 工艺 舟完成的循环 数 量。
该 工艺 舟完成的预 防性循环 总 量。 显 示工艺 舟状态 。

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4.4.2
设置

“工艺 程序”选 项 卡组

工艺 程序

图 4-10:

“设 置 -工艺 程序"功能区 3 修改按钮

1 2

选 择 工艺 程序类 型 输 入区域

“工艺 程序”选 项 卡组 用来设 定工艺 程序顺 序以及待机工艺 程序。 根据所选 择 的工艺 程序类 型,可在该 输 入区中输 入多种 工艺 程序信息或 预 防性维 护 步 骤 。
该 设 置可使用修改按钮 进 行修改,参见 章节 5.1.2 修改设置,页 码 57。
设置

在“工艺 顺 序”级 别 上,可定义 生产 和预 防性维 护 的工艺 程序。 区行
远 程计 算机能选 择 工 艺 程序 说明

工艺 程序 工艺 程序顺 序

允许 通过 远 程访 问 选 择 工艺 程序。 启用选 择 用于单 独工艺 炉管的生产 的多个工艺 程序。

使用特定炉管生产 工 艺 程序

设置

当工艺 舟处 于“生产 ”模式时 ,生产 工艺 程序用于生产 硅片。

工艺 程序 工艺 程序顺 序 生产

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设置

这 些设 置用于定义 用于单 独工艺 炉管的多个生产 工艺 程序。

工艺 程序 工艺 程序顺 序 生产 工艺 炉管 X
设置

区行 工艺 程序 使用工艺 程序

说明 为 相应 的工艺 炉管选 择 生产 工艺 程序。

启动 相应 工艺 炉管的所选 生产 工艺 程序。

这 些设 置用于定义 至多三个工艺 舟预 防性维 护 步 骤 。

工艺 程序 工艺 程序顺 序
预 防性维 护 步 骤

如果在“预 防性维 护 ”选 项 卡组 中定义 工艺 舟预 防维 护 ,参见 章节 4.4.6 “预防性维护”选项卡组,页 码 50 ;如果工艺 舟满 足预 防性维 护 条件, 则 工艺 舟将运行所有定义 的预 防性维 护 步 骤 。 完成所有预 防性维 护 步 骤 后,工艺 舟运行计 数器将被重新设 置至“0”并 重新切换 至“生产 ”模式。
这 些设 置用于定义 用于单 独工艺 炉管的多个待机工艺 程序。

设置

工艺 程序 待机工艺 程 序 工艺 炉管 X

区行 工艺 程序
开始

说明 为 相应 的工艺 炉管选 择 待机工艺 程序。

初始待机工艺 程序启动 启用装料时 间 计 作闲 置时 间 。 定义 工艺 炉管在待机工艺 程序启动 前,必须 处 于闲 置模式中的时 间 期限。
显 示待机工艺 程序启动 前的剩余时 间 。

装载 时 激活
闲 置时 间 (分)

开 始于 (分钟 )

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4.4.3
设置

“总 览 ”选 项 卡组

概述

图 4-11:

“设 置 -总 览 "功能区 6 7 8 9 10 “舟装载 顺 序”区域 修改按钮 “扩 展选 项 ”区域 “滑动 器清洁 ”区域 其它区域(可选 )

1 2 3 4 5

“用户 ”区域 “文件”区域 “备 份配置数据”区域 “软 键 盘 ”区域 “工作列表”区域

该 设 置可使用修改按钮 进 行修改,参见 章节 5.1.2 修改设置,页 码 57。

“用户 ”区域 “文件”区域

按“用户 管理器”按钮 打开 “用户 列表”对 话 框,在该 对 话 框中可以对 用户 进 行管理并定义 用户 权 限,参见 章节 5.3 用户管理,页 码 60。 “文件”区域中含有“编 辑 WSL.INI”和“编 辑 LIFTCONFIG.CFG”两个按 钮 ,通过 这 两个按钮 可打开 相应 的配置文件,同时 在编 辑 器中对 配置文 件进 行更改。

修改这 些文件可能会影响系统 。不正确输 入会造成无法预 见 的系统 反 应 、财 产 损 坏或数据丢 失。 只有管理员 可更改这 些参数。

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文件 WSL.INI LIFTCONFIG.CFG

说明 该 文件于软 件安装期间 在 Windows 文件夹 中创 建,并且在 CMI 软 件的系统 启动 期间 读 取。 该 文件于软 件安装期间 在 CMI 软 件的配置文件 夹 中创 建,并在 CMI 软 件系统 启动 期间 读 取。 该 文件含有升降机操作配置参数。

“备 份配置数据”区域

启动 “保存到 CCC”按钮 将所有配置文件写入 CCC 主计 算机上备 份目 录。 系统 所有相关 数据均可归 档到 CCC 主计 算机上。

“软 键 盘 ”区域

勾选 “使用软 键 盘 ”复 选 框,在触摸屏上显 示键 盘 。可直接在触摸屏上进 行键 盘 输 入。
该 功能与按触摸屏底部的“ABC”按钮 具有相同作用。

“工作列表”区域 “舟装载 顺 序”区域 “扩 展选 项 ”区域

使用鼠标 勾选 “固定排序次序”对 “工作”功能区中的“工作列表”禁用排序 选项。 勾选 “先进 先出”复 选 框,确定舟卸料顺 序与装料顺 序一致。
该 区域含有设 定升降机停放位置或冷却时 间 的附加选 项 。

区行 允许 停放 位置 延迟 时 间 默认 冷却时 间

说明

用于启用自动 移向停放位置的复 选 框。 停放位置说 明。 抵达停放位置前的延迟 时 间 。 当在工艺 程序中没有设 置其它值 时 所使用的冷却时 间。

“滑动 器清洁 ”区域(可选 )

当滑动 器安装在系统 内时 ,该 区域可用。“激活清洁 ”复 选 框启用“清洁 滑 动 器”按钮 ,参见 章节 4.1.3 命令栏,页 码 29。此外,可设 定滑动 器在 “清洁 ”模式中的时 长 。 根据系统 配置,系统 设 置的其它区域可以位于该 区域。对 于这 些区域的 操作说 明,参见 相应 区域的说 明文本。

其它区域(可选 )

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4.4.4
设置

“升降机”选 项 卡组

升降机

图 4-12:

“设 置 -升降机"功能区 4 5 6 “滑动 器”区域(可选 ) 示意图 修改按钮

1 2 3

“仓 ”区域 “桨 ”区域 “升降机总 览 ”区域

此选 项 卡组 用于设 置每 个升降机组 件的位置/校准值 (偏移)。示意图 描述单 独的校准位置。
该 设 置可使用修改按钮 进 行修改,参见 章节 5.1.2 修改设置,页 码 57。

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“仓 ”区域

区行
储 存架 X

说明 仓 中落点位置(储 存架 1 到 8)的校准值 。

滑动 器舟
仓 方向机械爪 终 点位置 仓 中舟上方机

工艺 舟在滑动 器内的位置。 定义 升降机机械臂必须 向仓 方向外移多远 ,机械爪 才能处 于正确位置。 机械爪在仓 中工艺 舟上方的位置公差,设 置的公差 必须 能使机械爪精确地从上方抓住工艺 舟。
图 3) 是指选 项 卡组 上的图 表 3)。

械爪偏移 3)
仓 中舟上抓偏

仓 中工艺 舟的提升公差,设 置的公差必须 能使工艺

移 2) 机械爪舟传 感 器偏移 1) 盖上抓偏移( 可选 ) 盖抓取偏移( 可选 )

舟被提升至底座上方。
图 2) 是指选 项 卡组 上的图 表 2)。

机械爪中的工艺 舟的检 测 公差,设 置的公差必须 能 机械爪可检 测 到工艺 舟并将之提起。 图 1) 是指选 项 卡组 上的图 表 1)。
带 盖工艺 舟的偏移值 ,以抓住工艺 舟盖。

带 盖工艺 舟偏移值 ,以抓住提升的工艺 舟盖。

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“桨 ”区域

区行
桨 X,

说明

各自桨 上落点位置的校准值 。 机械爪在该 位置上必须 能够 移入移出。 可在该 区域为 每 只桨 设 置机械爪的移出位置。 当工艺 舟位于滑动 器上时 ,升降机提升或降低工艺 舟盖的所保存的垂直数值 。 盖顶 端位置=盖位置+盖顶 端位置偏移

左列
桨 X,

右列 盖位置

桨 舟上方机械

爪偏移 3)
桨 上舟上夹 偏

机械爪置于桨 工艺 舟上方位置公差。设 置的公差必 须 能让 机械爪从上方可以将工艺 舟准确地抓起。
图 3) 是指选 项 卡组 上的图 表 3)。

移 2) 机械爪舟传 感 器偏移 1)

将舟从桨 提升的公差。设 置的公差必须 能将工艺 舟 提升。
图 2) 是指选 项 卡组 上的图 表 2)。

机械爪中工艺 舟的检 测 公差。设 置的公差必须 能让 机械爪检 测 出工艺 并将之提升。
图 1)是指选 项 卡组 上的图 表 1)。

“升降机总 览 ”区域

区行 制动 器距离/ 切换 驱 动 速度 距离 位置允差 碎片检 测 (可 选)
检 查 舟高度

说明 缓 速时 的制动 距离速/切换 驱 动 速度距离。

必须 抵达的位置的公差。 启用碎硅片检 测 的复 选 框。 启用工艺 舟高度控制的复 选 框。该 复 选 款用于检 测 工艺 舟在滑动 器上的位置是否正确。当检 测 到舟高 度错 误 ,会触发 警报 。

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“滑动 器”区域(可选 )

区行 升降机滑动 器 校准值 停泊口滑动 器 的校准值 位置允差

说明

指示升降机位置的滑动 器轴 的实 际 值 。 指示停泊口位置的滑动 器轴 的实 际 值 。 必须 抵达的位置的公差。

4.4.5

“WTS”选 项 卡组

有关 硅片传 送系统 (WTS)的信息参见 系统 的操作规 程。

设置

WTS

图 4-13:

“设 置 - WTS"功能区 4 5 “硅片传 感器偏移”区域 修改按钮

1 2 3

“滑动 器校准”区域 “WTS 校准”区域 “硅片传 感器角”区域

该 设 置可使用修改按钮 进 行修改,参见 章节 5.1.2 修改设置,页 码 57。

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CMI 4 功能区

“滑动 器校准”区域

区行 升降机滑动 器 停泊口滑动 器 滑动 器舟定中 心 位置允差

说明

滑动 器位于升降机的绝 对 位置。 滑动 器位于停泊口的绝 对 位置。 工艺 舟在滑动 器上的升降机侧 定中心的校正值 。 与设 定位置的允许 偏差。

“WTS 校准”区域

区行 停泊口偏移 舟偏移 停泊口顶 端 停泊口底端
捡 拾升运器顶 端 捡 拾升运器底端

说明

硅片机械手位于停泊口的绝 对 位置。 硅片机械手位于工艺 舟第一位置的绝 对 位置。 承载 器支架停泊口的绝 对 顶 端位置。 停泊口绝 对 底端位置。
捡 拾升运器的绝 对 顶 端位置。 顶 端捡 拾升运器的绝 对 底端位置。

停泊口捡 拾升运 器顶 端 停泊口捡 拾升运 器2 停泊口 2 顶 端
捡 拾升运器 2 顶

停泊口旁捡 拾升运器的绝 对 顶 端位置。 停泊口旁捡 拾升运器的绝 对 位置。 承载 器支架旁停泊口的绝 对 顶 端位置。 外部捡 拾升运器的绝 对 顶 端位置。 外捡 拾升运器的绝 对 底端位置。


捡 拾升运器 2 底

端 “硅片传 感器角”区域 “硅片传 感器偏移”区域
该 区域显 示两块 硅片的距离与硅片厚度之间 的百分比值 。该 值 必须 在 45 % 至 55 % 之间 。

区行 舟类 型 硅片传 感器偏 移 工艺 舟类 型。

说明

距工艺 舟第一块 硅片的绝 对 位置。

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4.4.6
设置 预 防性维 护

“预 防性维 护 ”选 项 卡组

图 4-14:

“设 置 -预 防性维 护 "功能区 2 修改按钮

1

“舟”区域

该 设 置可使用修改按钮 进 行修改,参见 章节 5.1.2 修改设置,页 码 57。

“舟”区域

在“预 防性维 护 ”选 项 卡组 “舟”区域中显 示/定义 舟的预 防性维 护 间 隔。 区行
预 防性维 护 之 说明

后... 运行
报 警极限 ... 运

定义 为 工艺 舟安排预 防性维 护 之后的生产 运行次 数,以及如何进 行在“工艺 程序顺 序”区域中设 置->工 艺 程序所定义 的预 防性维 护 。 定义 工艺 舟在任务 列表中被标 记 为 黄色并通知用户 将要进 行预 防性维 护 的生产 运行次数。 定义 无论 生产 运行次数如何,当下一个工艺 舟进 行 过 预 防性维 护 时 ,所有工艺 舟都要进 行维 修。 定义 在设 备 外对 工艺 舟进 行预 防性维 护 。在这 种 情 况下,不能自动 执 行设 定的预 防性维 护 工步 。

行 所有舟的下次 预 防性维 护 移除舟进 行预 防性维 护

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区行 卸载 工艺 舟

说明

“移除舟进 行预 防性维 护 ”选 项 : 当工艺 舟满 足预 防性维 护 要求时 ,舟将在外部硅片 机械手处 被卸载 ,然后移至储 存架。

4.4.7
设置

“CMS”选 项 卡组

CMS

图 4-15:

“设 置 -CMS"功能区 3 修改按钮

1 2

复选框 “CMS 调 试 可见 ” 输 入区域

CMS 模拟 警报 极限在“CMS”选 项 卡组 上设 定。它们 作为 模拟 监 测 参数 在“系统 ”功能区内的“CMS”选 项 卡组 上显 示,参见 章节 4.2.4 “CMS”选 项卡组,页 码 37。
复选框

“CMS 调 试 可见 ”

仅 具备 “管理员 ”权 限时 才可使用。 勾选 该 复 选 框,打开 一个对 话 框,对 话 框中显 示有助于分析故障的 CMS 通讯 信息。

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4.4.8
设置

“限制”选 项 卡组 (可选 )

限制

图 4-16:

“设 置 -限制"功能区 3 修改按钮

1 2

选 择 限制类 型 输 入区域

如果多个工艺 在系统 内同时 运行,则 使用限制,因此,工艺 舟仅 可在相 应 的层 上使用。 所以储 存位置和桨 要设 定在工艺 舟可以移动 、避免与其它工艺 物质 相接 触的位置。所有工艺 炉管都能到达该 装料位置。
该 设 置可使用修改按钮 进 行修改,参见 章节 5.1.2 修改设置,页 码 57。

设置

区行 使用预 定位置 舟类 型传 感器
概述

说明

限制

启用不同工艺 的规 定区域分配。 两只安装在升降机机械爪用于检 测 工艺 舟的类 型。 当使用升降机机械爪进 行提升时 ,启用自动 检 测 工 艺 舟类 型功能。

舟传 感器 1 舟传 感器 2

定义 舟传 感器 1 将检 测 哪种 类 型的工艺 舟。 定义 舟传 感器 2 将检 测 哪种 类 型的工艺 舟。

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设置

区行
储 存架 X


说明

限制

定义 哪种 类 型的工艺 舟可以在储 存架 X 上使用。当 设 定为 “所有”时 ,所有类 型的工艺 舟都可使用储 存 架。

设置

区行 炉管 X
工艺 管

说明

限制

定义 哪种 类 型的工艺 舟可以在工艺 炉管 X 内使用。 当设 定为 “所有”时 ,所有类 型的工艺 舟都可使用工艺 炉管。

4.5
终端

终 端(可选 )

图 4-17:

“终 端“功能区

1 2

“收到的消息”区域 “发 送消息”区域

仅 当主机与 SECS/GEM 接口相连 接时 ,”终 端“功能区才可使用。

“收到的消息”区域

”收到的消息“区域显 示从 CCC 主机收到的消息。 按钮 确认 确认 操作员 收到消息。 功能

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“发 送消息”区域

操作员 可使用”发 送消息“区域将消息发 送至 CCC 主机。可在下方输 入 区键 入消息。 按钮 清除
发送

功能
删 除输 入区中的输 入内容。 发 送输 入区键 入消息至 CCC 主机。

4.6
警报

警报

图 4-18:

“警报 “功能区

”警报 ”功能区 可浏 览 所有已发 生的警报 信息。当警报 未决时 ,标 题 栏 上 的红 色指示灯闪 动 ,同时 导 航栏 上的“警报 ”按钮 上标 有红 色边 框,参见 章节 3.3导航栏,页 码 24。
这 些按钮 具有以下功能:

按钮 重置所有警报 重新读 取所有 警报 。 确认 确认 所有
仅 显 示错 误

功能
现 有的所有警报 将被删 除。 仅 管理员 可使用该 功能。 现 有的所有警报 将被重新读 取。

确认 所选 警报 。
现 有的所有警报 将被确认 。

当勾选 该 复 选 框时 ,仅 显 示当前警报 。当未勾选 该 复 选 框时 ,过 期的警报 也被列出。

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行颜 色

警报 行的背景颜 色的含义 如下: 行颜 色
颜色 红色 说明 错 误 未排除,错 误 消息未确认 错 误 未排除,错 误 消息已确认 错 误 已排除,错 误 消息未确认 错 误 已排除,错 误 消息已确认

黄色 灰色 白色

有关 警报 处 理的更多信息,参见 章节 5.11 警报处理,页 码 92。

4.7
帮助

帮助

图 4-19:

在线 帮助

“帮助”按钮 用于调 用操作手册概况的网站。

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CMI 5 操作

5
5.1

操作
概述
此外,注意各对 话 框和用户 界面区域的说 明文字。

5.1.1

选择域

按钮 ...

功能 打开 一个包含所有可用选 项 的选 择 域。

5.1.2

修改设 置 以下用于修改设 置的按钮 在某些功能区中可以使用: 按钮 修改
应用

功能 切换 至密码 保护 修改模式。“应 用”按钮 激活,“修改” 按钮 变 为 “取消“。
设 置或修改生效。 设 置或修改被放弃。

放弃修改

按照以下方式修改相应 功能区或选 项 卡组 设 置: 1. 按“修改”按钮 。 按钮 变 为 “取消"同时 “应 用”按钮 启用。 2. 修改功能区或选 项 的设 置。 3. 按“应 用”按钮 保存设 置。 或 按“取消”撤销 设 置。

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5.2
5.2.1 “用户 登录 ”对 话 框

用户 登录 和注销
登录

图 5-1:

“用户 登录 ”

1 2 3 4

“RFID 连 接状态 ”显 示组 件(可选 )
带 选 择 框的“用户 名”输 入域

“密码 ”输 入域 密码 输 入数字键 盘

手动 登录

作为 用户 手动 登录 入用户 界面,请 按照以下步 骤 处 理: 1. 点击 “登录 /注销 ”按钮 。 “用户 登录 ”对 话 框被打开 。 2. 点击 “...”按钮 打开 选 择 框,然后选 择 用户 名。 3. 使用数字小键 盘 或键 盘 输 入密码 。 4. 点击 “OK”按钮 确认 输 入。
软 件检 测 输 入内容的正确性。成功登录 后,“登录 和注销 ”按钮 显 示用户 名和注销 标 志。

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RFID 登录 (可选 )

作为 RFID 用户 登入用户 界面,请 按照以下步 骤 处 理:
让 RFID 发 射机应 答器与 RFID 阅 读 器相对 。 软 件检 测 输 入内容的正确性。成功登录 后,“登录 和注销 ”按钮 显 示用户 名和注销 标 志。

如果不能再用户 界面上作为 RFID 用户 登录 ,检 查 “用户 登录 ”左下角的 RFID 连 接状态 。 可能显 示以下内容: RFID 连 接状态 显 示: RFID 阅 读 器相对 已连 接。如果依然不能作为 RFID 用户 登录 ,请 按照以下步 骤 处 理: 1. 点击 显 示单 元“RFID 连 接状态 ” 。

2. 等候约 五秒钟 。重新初始化与 RFID 通讯 。 3. 保持 RFID 发 射机应 答器与 RFID 阅 读 器相对 ,重新登录 。 RFID 连 接状态 显 示存在干扰 。RFID 阅 读 器和设 备 计 算机未连 接 。系 统 尝 试 重新连 接。
检 查 RFID 阅 读 器和设 备 计 算机之间 的 USB 连 接。

5.2.2

注销

完成工作之后要始终 从用户 界面上注销 。 注销 可防止系统 受到未经 授权 的操作,因此可防止不当操作而产 生的错 误 和损 坏。

手动 注销

在用户 界面上注销 ,请 按照以下步 骤 处 理: 点击 “登录 /注销 ”按钮 。 通过 用户 界面注销 。

自动 注销

如果系统 没有注册任何用户 录 入或鼠标 运动 ,则 用户 在管理员 定义 的某 个时 间 后注销 。 自动 注销 不会影响正在运行工艺 的执 行。 自动 注销 前的 30 秒在在“登录 和注销 ”按钮 中显 示并倒计 时 (“T –n 秒”)。 如果“倒计 时 ”期间 进 行输 入或鼠标 移动 ,定义 的注销 时 间 会再次从开 始 倒计 时 。

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5.3

用户 管理
只有拥 有“管理员 ”权 的用户 才可编 辑 用户 管理。

5.3.1
设置

概述

概述 用户 管理

图 5-2:

用户 列表

所有设 定用户 显 示在“用户 ”区域。选 定用户 的所有访 问 权 限显 示在“权 限”区域。 点击 这 些按钮 执 行以下操作: 按钮
编 辑 ... 说明

更改现 有用户 。 点击 该 按钮 ,打开 “编 辑 用户 账 户 ”对 话 框。

新建...

创 建新用户 。

点击 该 按钮 ,打开 “编 辑 用户 账 户 ”对 话 框。
删 除... 删 除现 有用户 。

点击 该 按钮 ,打开 确认 提示对 话 框。 OK 取消
关 闭 对 话 框。 关 闭 对 话 框。

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编 辑 用户 账 户

图 5-3:

编 辑 用户 账 户

当创 建或编 辑 用户 时 ,“编 辑 用户 账 户 ”对 话 框出现 。 在顶 部区域的输 入域包含:
输 入域 说明

用户 密码 注销 时 间 [秒] RFID (可选 )

指定用户 名
设 定密码

在一定时 间 不活动 后,用户 自动 登出的时 限(单 位:秒)。 RFID 发 射机应 答器代码

在“可获 得的权 限”区中显 示所有允许 分配的权 限。在“已分配权 限”区域 中列出已分配给 用户 的访 问 权 限。

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用户 权 限设 定如下: 用户 权 限 管理员 手动 操作
设 置运行状态 说明

管理员 拥 有全部权 限,并可以将这 些权 限分派 给 其他用户 。
为 所有处 理组 件提供手动 操作,如装料机、升 降机、硅片传 送系统 等。

允许 为 工艺 舟设 置新的运行状态 。 允许 在没有安全监 控的情况下移动 装置。 允许 确认 错 误 并执 行移动 ,它会再次造成错 误。 允许 更改 CESAR 控制计 算机的工艺 能力。 允许 在操作系统 层 控制 CESAR 控制计 算机。
仅 经 过 培训 的工人才能使用!

教学模式 故障修理 更改工艺 产 能
远 程服务 设 置个别 运行状态

使用(原先)的工艺 舟设 置时 , 可单 独设 置工艺 舟的运行状态 。 本地工艺 程序 如果不能通过 网络 驱 动 器启动 CESAR 控制计 算机上的工艺 程序,允许 使用从本地驱 动 器复 制的工艺 程序启动 工艺 运行。 确认 警报 显 示中的警报 。 允许 通过 材料跟踪功能(可选 )管理操作。 允许 在 CMS 操作期间 管理 CMS 配置参数。 允许 在批跟踪操作期间 忽略批次跟踪错 误 。 允许 在“设 置-舟”功能区定义 工艺 舟。 允许 终 止并最小化 CMI 软 件。

确认 警报 材料跟踪 机器安全 批次检 查 期间 确认 错 误。 配置工艺 舟数据
关 闭 程序

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点击 这 些按钮 执 行以下操作: 按钮 添加→ ← 移除 OK 取消
说明

将“已分配权 限”区域中标 记 的条目移动 至“可获 得权 限”区域中。 将“已分配权 限”区域中标 记 的条目移动 至“可获 得权 限”区域中。 接受更改并关 闭 对 话 框。 放弃更改并关 闭 对 话 框。

5.3.2

创 建用户 继 续 以下操作创 建一个新用户 :

1. 打开 “用户 列表” 对 话 框,参见 章节 5.3.1 概述,页 码 60。 2. 点击 “新建...”按钮 “编 辑 用户 账 户 ”对 话 框被打开 。 3. 指定用户 名、密码 和注销 时 间 。 4. 保持 RFID 发 射机应 答器(可选 )与 RFID 阅 读 器相对 。 RFID 代码 被写入“RFID”输 入域中并分派给 该 用户 。 5. 指定用户 和所需权 限:
选 择 “可获 得的权 限”区域中要分配的权 限。

点击 “添加→” 按钮 。 所选 权 限被添加入“已分配权 限”区域。 6. 移除用户 的错 误 权 限。
选 择 “已分配权 限”区域中要移除的权 限。

点击 “移除→” 按钮 。 所选 权 限从“已分配权 限”区域移除。 7. 点击 “OK”按钮 保存输 入。

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5.3.3

编 辑 用户 继 续 以下操作编 辑 现 有用户 :

1. 打开 “用户 列表” 对 话 框,参见 章节 5.3.1 概述,页 码 60。 2. 标 记 “用户 ”区域中待更改的用户 。 3. 点击 “编 辑 ...”按钮 “编 辑 用户 账 户 ”对 话 框被打开 。 4. 标 记 各项 更改。 5. 点击 “OK”按钮 保存输 入。 5.3.4
删 除用户 继 续 以下操作删 除现 有用户 :

1. 打开 “用户 列表” 对 话 框,参见 章节 5.3.1 概述,页 码 60。 2. 标 记 “用户 ”区域中待删 除的用户 。 3. 点击 “删 除...”按钮 含有确认 提示的对 话 框被打开 。 4. 点击 “OK”按钮 确认 删 除。

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5.4

使用外部硅片机械手装料
设 备 通过 外部硅片机械手(EWH)进 行装料。 仅 确定工艺 舟的配置和工艺 程序,参见 章节 5.9 工艺舟数据配置,页 码

80 及章节 4.4.2 “工艺程序”选项卡组,页 码 41。

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5.5

推车 装料
使用推车 进 行半自动 装料和卸料操作。工艺 舟在设 备 外部进 行装料,然 后使用推车 运进 或运出设 备 。

带 警报 器的推车 信号灯

带 有警报 器的推车 信号灯安装在操作面板上。信号灯配备 了红 色和绿 色 灯光。灯光颜 色显 示系统 是否准备 好通过 推车 进 行装料/卸料。

指示灯

颜色

动作

含义

发光 无工艺 舟进 入设 备 。 警报 器: 关 红色

警报 /错 误 。即使当红 灯闪 烁 发光 时 ,仍尝 试 将工艺 舟推进 设 备 警报 器: 开 中。
发光 设 备 使用推车 装料准备 完毕 。 警报 器: 关

绿色

闪烁 警报 器: 短 设 备 使用推车 卸料准备 完毕 。 暂 响起

5.5.1

新装料
请 按以下步 骤 使用推车 给 工艺 炉管装料:

1. 将已装料工艺 舟放在推车 上。 2. 观 察信号灯。当绿 灯闪 烁 时 ,将拖车 移至装料箱内。 设 备 接收推车 并将之拖进 装料箱中。 “材料装载 ”对 话 框在用户 界面上显 示。

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图 5-4:

材料装载

3. 进 行期望的设 置: 区行 批X 舟 工艺 程序 工艺 管 批名称 工艺 舟名称
选 择 工艺 舟运行所使用的工艺 程序 选 择 工艺 舟运行所使用的工艺 炉管或自动 选 择 工艺 炉管的‘自动 ’值 说明

按钮 OK 取消 完成装料程序。

说明

终 止装料进 程。推车 被装料箱退出。

4. 检 查 配置的设 定,必要时 予以纠 正。点击 “OK”按钮 结 束装料进 程。 5.5.2 工艺 舟卸料
请 按以下步 骤 给 经 过 处 理的工艺 舟卸料:

1. 观 察信号灯。当绿 灯闪 烁 时 ,按操作面板上的发 光按钮 “推车 解 锁 ”。 装料箱将推车 退出。 2. 将推车 从装料箱中移除。 已处 理工艺 舟现 在可以卸料。

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5.6
5.6.1

手动 装载 材料
卸载 已装料工艺 舟

如果想首先卸载 已装料的工艺 舟,然后再使用该 舟进 行装料,则 必须 遵 守这 些步 骤 。 如果要直接装载 空工艺 舟,请 按照章节 5.6.2 新装料,页 码 69 所述内 容进 行处 理。

请 按以下步 骤 装载 已经 装料的工艺 舟:

1. 前至“工作"功能区。 2. 点击 “工作列表”区域内的相应 按钮 。 “舟信息”对 话 框被打开 。 3. 等待,直至工艺 舟处 于装料/卸料位置。 根据工艺 舟装满 或部分装满 ,将显 示以下对 话 框。

完全装满 的工艺 舟

图 5-5:

完全装满 的工艺 舟信息

4. 按照以下指示卸载 工艺 舟,然后按“卸料完成”按钮 。 5. 继 续 装载 工艺 舟,参见 章节 5.6.2 新装料,页 码 69。

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部分装料的工艺 舟

图 5-6:

部分装料的工艺 舟信息

6. 要将硅片添加至装料中,点击 “添加装料”按钮 并添加相应 的硅片。 7. 要卸载 未进 行处 理的硅片,点击 “卸料”按钮 卸载 相应 的硅片。 8. 继 续 装载 工艺 舟,参见 章节 5.6.2 新装料,页 码 69。 5.6.2 新装料
请 按以下步 骤 装载 工艺 舟:

1. 前至“工作"功能区。 2. 点击 “工作列表”区域内的相应 按钮 。 以下对 话 框被打开 :

图 5-7:

材料装载 - 模式选 择

3. 选 择 硅片类 型并点击 “OK”按钮 确认 。

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图 5-8:

材料装载

4. 进 行期望的设 置: 区行 模式 舟首行 舟次行
现 运行 说明 显 示装载 的材料,如硅片。

定义 工艺 舟名称
显 示工艺 舟类 型 显 示工艺 运行的次数 显 示执 行预 防性维 护 之前的剩余工艺 数量。

剩余运行 运行备 注 批次

工艺 运行备 注信息输 入域。 已装载 工艺 舟的批次编 号输 入域

如果要跳过 某一批次,在“批次”输 入域中的批次编 号前加上“-”。

5. 按“装料完成”按钮 确认 输 入。

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图 5-9:

材料装载 - 工艺 程序选 择 1

6. 在左侧 区域选 择 期望的工艺 程序。所选 工艺 程序信息在右侧 区域内 显 示。 区行
选 择 工艺 程序 说明

定义 用于处 理已装料工艺 舟的工艺 程序。 工艺 程序的说 明 定义 工艺 舟中要加工的最大硅片数。 工艺 程序、‘池’或‘本地’的存储 位置 工艺 程序运行时 间

工艺 程序备 注 最多硅片 工艺 程序源 工艺 程序运行时 间

7. 点击 “OK”按钮 确认 输 入。

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图 5-10:

材料装载 - 摘要

8. 检 查 配置的设 定,必要时 予以纠 正。然后点击 “装料完毕 ”按钮 确 认。 工艺 舟现 在可手动 装载 相应 硅片。

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5.7
5.7.1

使用硅片传 送系统 装载 材料
概述

以下说 明信息包含通过 硅片传 送系统 (WTS)装载 设 备 的典型方法。 在用户 培训 期间 ,将提供有关 使用硅片传 送系统 的更多信息。

“批”名称

“批”是指某一硅片的总 数,常常是承载 器中的硅片总 数。 双手控制发 光按钮 显 示以下状态 :
发 光按钮 发光 闪烁 关 说明

双手控制 发 光按钮

需要操作,如插入或移除承载 器。 承载 器插入错 误 。 不需要操作。

5.7.2

卸载 已装料工艺 舟

如果想首先卸载 已装料的工艺 舟,然后再使用该 舟进 行装料,则 必须 遵 守这 些步 骤 。 如果要直接装载 空工艺 舟,请 按照章节 5.7.3 新装料,页 码 75 所述内 容进 行处 理。

请 按以下步 骤 装载 已装料工艺 舟:

1. 前至“工作"功能区。 2. 点击 “工作列表”区域内的相应 按钮 。 以下对 话 框被打开 :

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CMI 5 操作

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图 5-11:

材料装载 - 卸料

“舟信息”区域显 示工艺 舟的相关 信息。右侧 “批”区域显 示工艺 舟的批 次。 3. 点击 “卸料”按钮 开 始卸料程序,并按照对 话 框内显 示的说 明操作。 卸料进 程结 束后,以下对 话 框打开 。

图 5-12:

材料装载 - 卸料 2

4. 如果要卸载 测 试 硅片而不装载 工艺 舟,勾选 “不装料,仅 卸载 测 试 硅 片”复 选 框。 5. 点击 “卸料完毕 ”按钮 。

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不装料, 仅 卸载 测 试 硅片

图 5-13:

材料装载 - 更换 测 试 硅片隔板

6. 如果选 定了“不装料,仅 卸载 测 试 硅片”复 选 框,显 示“更换 测 试 硅片 隔板”对 话 框。 遵守对 话 框中的说 明信息。
结 束卸料处 理,工艺 舟被重新装料,参见 章节 5.7.3 新装料,页 码 75。

5.7.3

新装料
请 按以下步 骤 装载 工艺 舟:

1. 前至“工作"功能区。 2. 点击 “工作列表”区域内的相应 按钮 。 以下对 话 框被打开 :

图 5-14:

材料装载 - 模式选 择

3. 进 行期望的设 置:

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区行 硅片(主机确认 的生产 硅 片)

说明

装载 生产 硅片的单 选 按钮 。 通过 材料跟踪功能确定工艺 程序批 准。 装载 测 试 硅片的单 选 按钮 。
测 试 硅片不通过 材料跟踪功能进 行工 艺 程序批准。

测 试 硅片(无主机确认 )

更换 隔板 “装料区侧 边 ”更换 测 试 硅 片隔板

确定在装料前更换 隔板的复 选 框。 确定在装料区更换 测 试 硅片隔板的复 选 框。
仅 当为 勾选 “更换 隔板”复 选 框时 选 择 。

“气体区侧 边 ”更换 测 试 硅 片隔板

确定在气体区更换 测 试 硅片隔板的复 选 框。
仅 当为 勾选 “更换 隔板”复 选 框时 选 择 。

4. 点击 “下一个”按钮 打开 下一对 话 框。

更换 隔板

图 5-15:

材料装载 - 舟至装料位置

5. 如果选 定了“更换 隔板”复 选 框,系统 立即更换 隔板。 遵守对 话 框中的说 明信息。 更换 隔板后,“选 择 工艺 程序”对 话 框出现 。

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图 5-16:

材料装载 - 工艺 程序选 择

6. 选 择 期望的工艺 程序。 区行
选 择 工艺 程序 说明

定义 用于处 理已装料工艺 舟的工艺 程序。 工艺 程序说 明信息。 定义 工艺 舟中要加工的最大硅片数。 工艺 程序、‘池’或‘本地’的存储 位置。 工艺 程序的运行时 间 。

工艺 程序备 注 最多硅片 工艺 程序源 工艺 程序运行时 间

7. 点击 “下一个”按钮 打开 下一对 话 框。

图 5-17:

材料装载 - 批次输 入

8. 检 查 显 示的信息。如果需要,输 入有关 工艺 程序的备 注信息。

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区行 模式 舟
现 运行

说明

装料类 型,硅片或测 试 片。 工艺 舟名称。 工艺 运行的总 次数。
执 行预 防性维 护 之前的剩余运行。

剩余运行 运行备 注 批X 工艺 程序 工艺 管 工艺 程序备 注 最多硅片 工艺 程序源 工艺 程序运行时 间 冷却时 间

工艺 舟运行备 注信息。 批的名称。
选 定的用于工艺 舟运行的工艺 程序。

用于工艺 舟运行的工艺 炉管。 有关 工艺 程序的备 注信息。 工艺 程序中设 定的最大硅片数量。 CCC 主计 算机上的工艺 程序池位置或 本地 CESAR 工艺 程序。 所选 工艺 程序运行时 间 。 所选 工艺 程序冷却时 间 。

按钮 停止 OCR 卸载 舟 卸载 批次料 装料完成 取消

说明

停止 OCR 处 理。
仅 当安装硅片阅 读 设 备 时 才能选 择 。

工艺 舟中的所有批次料被卸载 。 最后装载 的批次料被卸载 。 完成装料程序。 工艺 被取消。
仅 当在工艺 舟中不存在任何批次料时 才可选 择 。

9. 按“装料完成”按钮 结 束装料处 理。

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5.8

工艺 炉管的锁 定和解锁
锁 定的工艺 舟不可进 行自动 操作:

如果工艺 炉管被解锁 ,可在下次循环 中用于自动 操作,同时 将被装料。

5.8.1

锁 定工艺 炉管 请 按照以下方式锁 定工艺 炉管:

1. 前至“工作"功能区。 2. 点击 “工艺 炉管”区中每 层 中的绿 色“奔跑人”按钮 。 出现 确认 提示: 3. 点击 “是”按钮 确认 锁 定。
红 色“静立人”表示工艺 炉管被锁 定。

5.8.2

解锁 工艺 炉管
请 按照以下方式解锁 工艺 炉管:

1. 前至“工作"功能区。 2. 点击 “工艺 炉管”区中每 层 中的红 色“静立人”按钮 。 出现 确认 提示: 3. 点击 “是”按钮 确认 解锁 。
绿 色“奔跑人”表示工艺 炉管已解锁 。

有关 工艺 能力按钮 的更多信息,参见 章节 4.1.1 “工艺炉管”区域,页 码 27。

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5.9
设置

工艺 舟数据配置
请 按以下步 骤 配置工艺 舟数据:

舟 配置工艺 舟 数据

1. 前至“设 置-舟"功能区。 2. 从列表中选 择 要配置的工艺 舟。点击 “配置舟数据”列内的相应 按 钮。 以下对 话 框被打开 :

图 5-18:

舟激活和装载 选 项

3. 进 行期望的设 置: 区行 激活舟处 理
删 除该 舟的装料信息 说明

工艺 舟可在“自动 ”模式中进 行处 理。 工艺 舟信息被删 除。 仅 当"Activate" = "0" 才 能选 择 。 如当在储 存架上进 行手动 装料时 ,工 艺 舟不能被自动 装料。 工艺 舟仅 用于一次工艺 运行。常用于 在运行生产 之间 测 试 禁用的工艺 炉 管。 工艺 舟在下次卸料处 理后被设 置为 “不活动 ”。 工艺 舟在下次卸料处 理后被移除至机 械手旁。 工艺 舟处 理准备 完毕 。

材料手动 装载
仅 使用舟进 行一次循环

卸料后设 置舟为 “不活动 ” 卸料后将舟移除至机械手
设 置舟 ‘准备 处 理’

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区行 舟将被移除以进 行卸料 舟必须 完全装满 以进 行工 艺 运行

说明

工艺 舟将被滑动 器移除以进 行卸料。 工艺 舟必须 完全装满 以进 行工艺 运 行。

4. 点击 “下一个”按钮 打开 下一对 话 框。

具备 “配置舟数据”权 限

以下对 话 框被打开 :

图 5-19:

处 理信息

5. 仅 具备 “配置舟数据”权 限时 可用: 进 行期望的设 置: 区行 舟 ID 冷却储 存架 舟类 型 装料位置 工艺 炉管 工艺 舟名称。 工艺 完成后工艺 舟冷却的位置。 工艺 舟类 型。 工艺 舟的装料位置。
进 行工艺 处 理的炉管。 说明

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6. 点击 “下一个”按钮 打开 下一对 话 框。

具备 “配置舟数据”权 限

以下对 话 框被打开 :

图 5-20:

工艺 炉管选 择

7. 仅 具备 “配置舟数据”权 限时 可用: 选 择 期望的工艺 炉管。 8. 点击 “下一个”按钮 打开 下一对 话 框。 以下对 话 框被打开 :

图 5-21:

工艺 舟信息

9. 进 行期望的设 置:

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区行 舟实 际 位置 模式

说明

工艺 舟所处 的当前位置。
显 示模式

‘硅片’ - 主机已确认 ‘测 试 硅片’ - 无主机确认 舟装载 舟状态 “舟计 数器 ...” 按钮 工艺 舟装载 的硅片类 型。 工艺 舟的当前控制状态 。 打开 “舟运行计 数器”对 话 框。

10. 点击 “舟计 数器 ...”按钮 调 出“舟运行计 数器” 对 话 框。 以下对 话 框被打开 :

图 5-22:

舟运行计 数器

11. 进 行期望的设 置: 区行
该 舟的运行合计 数 说明

工艺 舟所有工艺 循环 总 数量。 工艺 舟自上次预 防性维 护 后完成的所 有工艺 循环 总 数。 工艺 舟预 防性维 护 工作的数量。 定义 是否在卸料后实 施章节 4.4.2 “工 艺程序”选项卡组页 码 41 中所列的预 防性维 护 措施。

自上次预 防性维 护 之后的 运行
预 防性维 护 总 运行

卸料后开 始预 防性维 护

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12. 点击 “下一个”按钮 打开 下一对 话 框。 以下对 话 框被打开 :

图 5-23:

工艺 信息

13. 进 行期望的设 置: 区行 工艺 程序 舟 X 批次 14. 点击 “结 束”按钮 打开 摘要。 以下对 话 框被打开 : 工艺 程序名称。 工艺 舟 X 中的硅片名称。
说明

图 5-24:

摘要

该 对 话 框显 示所有输 入内容的总 览 情况。

15. 点击 “OK”按钮 接受设 置。

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CMI 5 操作

5.10
系统
处理

手动 操作
在手动 操作中,可手动 启动 处 理系统 的安装部件。"处 理"选 项 卡组 中提 供有关 桨 、工艺 管、升降机、仓 、机械爪、滑动 器的全部手动 操作信 息。 通过 带 有不同按钮 的几个命令栏 执 行手动 操作,以调 用下一水平和“ 后 退”按钮 ,它用于返回下一更高水平。 以下概述内容显 示了手动 操作和菜单 结 构的所有可能按钮 。根据系统 的 配置,按钮 数量有所差别 。

手动 操作

括号()中按钮 功能

如果按钮 显 示位于命令栏 的括号中,只有点击 按钮 ,安装部件才能移
动。

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后退 后退
储 存架 桨

后退
储 存架 8

...
储 存架 1

至储 存架 升降机 至桨 打开 夹 子
关闭夹子

后退
桨 4

...
桨 1

向上 向下

后退 后退 至升降机 滑动 器 至停泊口 持平倾 翻
倾 翻至桨 倾 翻至仓

位置 1 位置 2 位置 3 位置 4 位置 5 位置 6 位置 7 位置 8 隔板 后退 停泊口 升降机

重置舟高度错 误 重置破碎硅片错 误

后退 打开 停泊口 手动 操作 停泊口
关 闭 停泊口

提升停泊口 降下停泊口

后退 循环 0 循环 部分

后退 提升捡 拾升运器 降下捡 拾升运器 至舟 硅片机械 至停泊口
夹住 0 夹 住部分 夹 住所有

循环 所有

后退 慢上 慢下

循环 取消

后退 参考运行 至中间 位置

后退
维修

至储 存架 至桨 打开 夹 子

信号灯测 试

后退 升降机 教学 机械臂 滑动 器 保存

关闭夹子 缓 慢至中间 位置 缓 慢至储 存架 缓 慢至桨

后退 至升降机 至停泊口 持平倾 翻
倾 翻至桨 倾 翻至仓

后退 机械臂 1/2
储 存架位置 桨 位置

滑动 器位置

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CMI 5 操作

5.10.1
系统
处理

升降机 根据当前升降机和升降机机械臂位置,可实 现 不同的运动 ,因此显 示各 自启用的不同按钮 。 按钮 后退
储 存架 桨 说明

手动 操作 升降机

返回“手动 操作”命令栏 。 分支扩 展到“储 存架”命令栏 。 分支扩 展到“桨 ”命令栏 。 移动 升降机机械臂至储 存架位置。 移动 升降机机械臂至桨 位置。 打开 机械爪。
关 闭 机械爪。

至储 存架 至桨 打开 夹 子
关闭夹子

向上 向下
储 存架

升起升降机或机械爪。 降低升降机或机械爪。

按钮 后退
储 存架 X

说明

返回“升降机”命令栏 。
选 择 要接近的储 存架。



按钮 后退
桨 X

说明

返回“升降机”命令栏 。
选 择 要接近的桨 。

5.10.2
系统
处理

滑动 器 按钮 后退 至升降机 至停泊口 持平倾 翻
说明

返回“手动 操作”命令栏 。 移动 滑动 器至升降机。 移动 滑动 器至装料停泊口。 滑动 器位于停泊口时 ,工艺 舟被移动 至垂直位置。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

手动 操作 滑动 器

倾 翻至桨

滑动 器位于停泊口时 ,工艺 舟被倾 翻至桨 。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

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按钮
倾 翻至仓

说明

滑动 器位于停泊口时 ,工艺 舟被倾 翻至仓 。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

重置舟高度错


重置“舟高度错 误 ”显 示屏。 重置“破碎滑动 器错 误 ”显 示屏至“0x0”。

重置破碎硅片
错误

5.10.3
系统
处理

停泊口 按钮 后退 打开 停泊口
关 闭 停泊口 说明

返回“手动 操作”命令栏 。 打开 停泊口。
关 闭 停泊口。

手动 操作 停泊口

提升停泊口 降下停泊口

向上提起停泊口。 降下停泊口。

5.10.4
系统
处理

硅片机械手 按钮 后退
说明

返回“手动 操作”命令栏 。 提升捡 拾升运器。 降下捡 拾升运器。 分支扩 展到“至舟”命令栏 。 移动 升降机机械手至停泊口位置。
设 定顶 层 夹 具至“夹 住 0 硅片”位置。未捡 拾任何硅片

手动 操作 硅片机械手

提升捡 拾升运 器 降下捡 拾升运 器 至舟 至停泊口
夹住 0 夹 住部分


设 定顶 层 夹 具至“夹 住部分硅片”位置。装置将隔一层 捡 拾硅片。 设 定顶 层 夹 具至“夹 住所有硅片”位置。捡 拾所有硅片

夹 住所有

。 循环 取消 分支扩 展到“循环 ”命令栏 。 取消处 理。

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至舟
后退

按钮

说明

返回“硅片机械手”命令栏 。 移动 至工艺 舟位置 X。 分支扩 展到“隔板”命令栏 。

位置 X 隔板

隔板
后退

按钮 返回“至舟”命令栏 。

说明

停泊口 升降机

移动 硅片机械手至停泊口的“隔板位置”。 移动 硅片机械手至升降机旁的“隔板位置”。

循环
后退

按钮

说明

返回“硅片机械手”命令栏 。 降下硅片的循环 。 接收工艺 舟内双间 隔硅片的循环 。 接收所有硅片的循环 。

循环 0 循环 部分 循环 所有

5.10.5
系统 处理 手动操作 维修

维修 按钮 后退 信号灯测试 说明 返回“手动操作”命令栏。 执行信号灯测试工作。点亮所有信号灯 4 秒,以检 测出损坏的灯。

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5.10.6
系统
处理

教学 可使用“教学”命令栏 在教学模式操作系统 。 在教学模式下,可将升降机以及安装组 件手动 移至随后将被分类 排序的 期望位置,所以不需要在“设 置”功能区中的“升降机”选 项 卡组 内直接输 入值 。

手动 操作 教学

在教学模式中,大部分运动 在未监 控的状态 下进 行。这 些运动 仅 可当按 下相应 的按钮 时 才能执 行。
执 行运动 需要精确了解系统 以及运动 顺 序和结 果。

按钮 后退 升降机 机械臂 滑动 器 保存

说明

返回“手动 操作”命令栏 。 分支扩 展到“教学升降机”命令栏 ,在上面可对 教学模 式中的升降机进 行设 置。 分支扩 展到“教学机械臂”命令栏 ,在上面可对 教学模 式中的升降机机械臂进 行设 置。 分支扩 展到“教学升滑动 器”命令栏 ,在上面可对 教学 模式中的滑动 器进 行设 置。 分支扩 展到“位置”命令栏 ,在上面可有选 择 地保存教 学模式中所学的设 置。

教学升降机
后退 慢上 慢下

按钮 返回“教学”命令栏 。
缓 慢地升起升降机。 缓 慢地降下升降机。

说明

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CMI 5 操作

教学机械臂
后退

按钮 返回“教学”命令栏 。

说明

参考运行

启动 升降机机械臂的参考运行。 CMI 软 件启动 后,自动 进 行参考运行。它用于将升 降机机械臂移动 到参考点(主位置)。如果需要, 可在此按钮 的帮助下重复 参考运行。 移动 升降机机械臂至中间 位置。 运行在定义 位置自动 停止。 移动 升降机机械臂至储 存架位置。 运行在定义 位置自动 停止。 移动 升降机机械臂至桨 位置。 运行在定义 位置自动 停止。 打开 机械爪。
关 闭 机械爪。 缓 慢移动 升降机机械臂至中心位置。

至中间 位置 至储 存架 至桨 打开 夹 子
关闭夹子 缓 慢至中间 位


缓 慢至储 存架 缓 慢至桨 缓 慢移动 升降机机械臂至储 存架位置。 缓 慢移动 升降机机械臂至桨 位置。

教学滑动 器
后退

按钮 返回“教学”命令栏 。 移动 滑动 器至升降机。

说明

至升降机 至停泊口 持平倾 翻

移动 滑动 器至装料停泊口。 滑动 器位于停泊口时 ,工艺 舟被移动 至垂直位置。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

倾 翻至桨

滑动 器位于停泊口时 ,工艺 舟被倾 翻至桨 。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

倾 翻至仓

滑动 器位于停泊口时 ,工艺 舟被倾 翻至仓 。
仅 适用于带 有倾 翻装置的滑动 器。

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保存教学/ 保存位置

按钮 后退 机械臂 1/2
储 存架位置 桨 位置

说明

返回“教学”命令栏 。 1 - 朝桨 方向保存机械臂教学位置。 2 - 朝仓 方向保存机械臂教学位置。 保存教学储 存架位置。 保存教学桨 位置。 保存教学滑动 器位置。

滑动 器位置

5.11

警报 处 理

图 5-25:

升降机干扰 示例

当设 备 软 件检 测 到干扰 ,CMI 软 件在标 题 栏 上闪 烁 红 色信号灯,同时 导 航栏 上的“警报 ”按钮 标 有红 色边 框。

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CMI 5 操作

5.11.1

CESAR 控制计 算机警报 消息
请 按以下步 骤 处 理警报 :

1. 按标 题 栏 上带 红 色信号灯的按钮 。 或 点击 导 航栏 上的“警报 ”按钮 。 2. 读 取警报 消息。 3. 选 择 相应 的警报 消息并点击 “确认 ” / “确认 所有"按钮 确认 。 4. 请 通知技术 支持部门 并等候下一步 指示。 5.11.2 升降机警报 消息

如果确认 警报 不能立即排除干扰 ,带 红 色背景的错 误 消息再次出现 。 在这 种 情况下,请 通知技术 支持部门 并等候下一步 指示。

请 按以下步 骤 处 理警报 :

1. 按标 题 栏 上带 红 色信号灯的按钮 。 “系统 - 舟“功能区出现 。如果仅 存在一个干扰 ,则 “警报 确认 ”对 话 框 被直接调 出。 2. 在相应 错 误 消息的“错 误 ”列中按“故障修复 ”按钮 。 “警报 确认 ”对 话 框打开 。

图 5-26:

警报 确认

干扰 类 型以及消除干扰 的方案在“通知”区域内显 示。 3. 认 真阅 读 通知并执 行建议 措施。

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5.12
系统
处理

信号灯测 试
定期检 查 信号灯功能。
请 按以下步 骤 进 行信号灯检 测 :

手动 操作
维修

1. 前至“系统 "功能区。 2. 前至“处 理"选 项 卡组 。
信号灯测 试

3. 前至“手动 操作-维 修”菜单 。 4. 按“信号灯测 试 ”按钮 。 5. 检 查 所有信号灯是否正常发 光,如果需要按照制造商规 程要求进 行 更换 。

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